公开(公告)号：CN111051278B

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN201880055768.5

申请日：2018-07-25

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 冈田卓也 ,  佐佐木真太朗

IPC: C07C303/38 ,  C07C311/48 ,  C07C303/44

Abstract: 提供有效地制造全氟烷基磺酰亚胺酸金属盐的方法。通过如下工序来制造全氟烷基磺酰亚胺酸金属盐：使全氟烷基磺酰卤与有机碱及氨或卤化铵反应，由此得到包含“由全氟烷基磺酰亚胺酸与有机碱形成的盐或络合物”的混合物(第1工序)；接着通过向混合物中添加水，而使该“由全氟烷基磺酰亚胺酸与有机碱形成的盐或络合物”以晶体形式析出，接着进行过滤(第2工序)；接着使该“由全氟烷基磺酰亚胺酸与有机碱形成的盐或络合物”在溶剂中与碱金属或碱土金属的氢氧化物等反应后，从得到的混合液中过滤不溶物质后，进行浓缩(第3工序)。

公开(公告)号：CN113272471A

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN202080008453.2

申请日：2020-01-07

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 新免益隆 ,  冈田卓也 ,  山本纯基 ,  滩野亮 ,  宫崎达夫

IPC: C23C16/04 ,  C23C28/00 ,  H01L21/285 ,  H01L21/312

Abstract: 本公开的实施方式的选择性膜沉积方法的特征在于，对于具有包含金属及金属氧化物中的至少1种的第一表面区域和包含非金属无机材料的第二表面区域这两者均露出的结构的基板，使通式(1)所示的有机物的膜选择性地沉积于第一表面区域而非第二表面区域。(通式(1)中，N为氮原子。R1为碳数1～30的任选具有杂原子、卤原子的烃基，R2、R3、R4及R5各自独立地为氢原子或碳数1～10的任选具有杂原子、卤原子的烃基。其中，该烃基的碳数为3以上时，也包括支链或环状结构的烃基。)

公开(公告)号：CN113272471B

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202080008453.2

申请日：2020-01-07

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 新免益隆 ,  冈田卓也 ,  山本纯基 ,  滩野亮 ,  宫崎达夫

IPC: C23C16/04 ,  C23C28/00 ,  H01L21/285 ,  H01L21/312

Abstract: 本公开的实施方式的选择性膜沉积方法的特征在于，对于具有包含金属及金属氧化物中的至少1种的第一表面区域和包含非金属无机材料的第二表面区域这两者均露出的结构的基板，使通式(1)所示的有机物的膜选择性地沉积于第一表面区域而非第二表面区域。(通式(1)中，N为氮原子。R1为碳数1～30的任选具有杂原子、卤原子的烃基，R2、R3、R4及R5各自独立地为氢原子或碳数1～10的任选具有杂原子、卤原子的烃基。其中，该烃基的碳数为3以上时，也包括支链或环状结构的烃基。)

公开(公告)号：CN107074753B

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201580058448.1

申请日：2015-11-17

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 柏叶崇 ,  原田悠万 ,  冈田卓也 ,  佐佐木真太朗 ,  南明勉

IPC: C07C303/36 ,  C07C311/48

Abstract: (氟磺酰)全氟烷烃磺酰亚胺盐的制造方法，在溶剂中使全氟烷烃磺酰卤与氨反应，由此得到包含全氟烷烃磺酰胺铵盐和卤化铵的溶液(第1工序)；对得到的溶液进行滤除，由此将该溶液中所含的卤化铵分离去除(第2工序)；对得到的包含全氟烷烃磺酰胺铵盐的溶液添加有机碱，从而得到包含“全氟烷烃磺酰胺与有机碱的盐”和氨的溶液(第3工序)；向得到的溶液中加入硫酰氟(第4工序)。

公开(公告)号：CN107074753A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580058448.1

申请日：2015-11-17

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 柏叶崇 ,  原田悠万 ,  冈田卓也 ,  佐佐木真太朗 ,  南明勉

IPC: C07C303/36 ,  C07C311/48

Abstract: [课题]以高选择率并且高收率提供(氟磺酰)全氟烷烃磺酰亚胺盐。[解决方案]通过如下来制造(氟磺酰)全氟烷烃磺酰亚胺盐：在溶剂中使全氟烷烃磺酰卤与氨反应，由此得到包含全氟烷烃磺酰胺铵盐和卤化铵的溶液(第1工序)；对得到的溶液进行滤除，由此将该溶液中所含的卤化铵分离去除(第2工序)；对得到的包含全氟烷烃磺酰胺铵盐的溶液添加有机碱，从而得到包含“全氟烷烃磺酰胺与有机碱的盐”和氨的溶液(第3工序)；向得到的溶液中加入硫酰氟(第4工序)。

公开(公告)号：CN116685715A

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202280009700.X

申请日：2022-01-28

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 冈田卓也 ,  山本纯基 ,  谷口敬寿 ,  吉浦一基 ,  近藤克哉 ,  公文创一 ,  宫崎达夫

IPC: C23C26/00

Abstract: 本发明涉及一种选择性膜沉积方法，其特征在于，将具有露出了含有金属元素的第一表面区域与含有非金属无机材料的第二表面区域这两者的结构的基板暴露于含有下述通式(1)所表示的有机物与溶剂的溶液中，使所述有机物的膜较之所述第二表面区域选择性地沉积于所述第一表面区域，R1(X)m (1)在通式(1)中，R1为碳原子数为4～100的任选具有杂原子或卤素原子的烃基，所述烃基的m个氢原子被X取代。X为‑PO3(R2)2、‑O‑PO3(R2)2、‑CO2R2、‑SR2或‑SSR1。R2各自为氢原子或碳原子数为1～6的烷基。m为正整数，当将该烃基的碳原子数设为r时，m/r为0.01～0.25。

公开(公告)号：CN111051278A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201880055768.5

申请日：2018-07-25

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 冈田卓也 ,  佐佐木真太朗

IPC: C07C303/38 ,  C07C311/48 ,  C07C303/44

Abstract: 提供有效地制造全氟烷基磺酰亚胺酸金属盐的方法。通过如下工序来制造全氟烷基磺酰亚胺酸金属盐：使全氟烷基磺酰卤与有机碱及氨或卤化铵反应，由此得到包含“由全氟烷基磺酰亚胺酸与有机碱形成的盐或络合物”的混合物(第1工序)；接着通过向混合物中添加水，而使该“由全氟烷基磺酰亚胺酸与有机碱形成的盐或络合物”以晶体形式析出，接着进行过滤(第2工序)；接着使该“由全氟烷基磺酰亚胺酸与有机碱形成的盐或络合物”在溶剂中与碱金属或碱土金属的氢氧化物等反应后，从得到的混合液中过滤不溶物质后，进行浓缩(第3工序)。

公开(公告)号：CN116324036A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202180070131.5

申请日：2021-10-11

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 吉浦一基 ,  冈田卓也 ,  渡边谦太 ,  公文创一 ,  中村阳介 ,  谷口敬寿

IPC: C23F1/10

Abstract: 本公开中提出的湿式蚀刻方法，其为利用表面改质液对基板上的含金属膜进行预处理，接着使用蚀刻液进行蚀刻的湿式蚀刻方法，前述蚀刻液为包含键合有三氟甲基及羰基的β‑二酮和有机溶剂的溶液，前述含金属膜包含能够与前述β‑二酮形成络合物的金属元素，前述表面改质液包含对前述金属元素的氧化性物质，前述湿式蚀刻方法包括：第一工序，使前述表面改质液与前述含金属膜接触而在前述含金属膜的表面形成前述金属元素的氧化膜；和第二工序，使前述蚀刻液与具有前述氧化膜的前述含金属膜接触。