公开(公告)号：CN116324036A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202180070131.5

申请日：2021-10-11

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 吉浦一基 ,  冈田卓也 ,  渡边谦太 ,  公文创一 ,  中村阳介 ,  谷口敬寿

IPC: C23F1/10

Abstract: 本公开中提出的湿式蚀刻方法，其为利用表面改质液对基板上的含金属膜进行预处理，接着使用蚀刻液进行蚀刻的湿式蚀刻方法，前述蚀刻液为包含键合有三氟甲基及羰基的β‑二酮和有机溶剂的溶液，前述含金属膜包含能够与前述β‑二酮形成络合物的金属元素，前述表面改质液包含对前述金属元素的氧化性物质，前述湿式蚀刻方法包括：第一工序，使前述表面改质液与前述含金属膜接触而在前述含金属膜的表面形成前述金属元素的氧化膜；和第二工序，使前述蚀刻液与具有前述氧化膜的前述含金属膜接触。

公开(公告)号：CN115697964A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180040150.3

申请日：2021-06-23

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 新免益隆 ,  渡边谦太 ,  三宅梓

IPC: C07C209/90 ,  C07C211/07

Abstract: 本公开的烷基胺组合物的特征在于，包含99.5体积％以上的下述通式(1)所示的烷基胺，且包含10质量ppm以上且100质量ppm以下的水分。(通式(1)中N为氮原子。R1为任选具有环、杂原子或卤素原子的碳数1～10的烃基。R2和R3各自独立地为氢原子，或者为任选具有环、杂原子或卤素原子的碳数1～10的烃基。其中，烃基的碳数为3以上的情况下，任选形成支链结构或者环状结构。烃基的杂原子为氮原子、氧原子、硫原子或磷原子。进而，R1与R2均为碳数1以上的烃基的情况下，R1与R2任选直接键合而形成环状结构。进而，R1或R2由双键直接键合而形成环状结构的情况下，任选形成芳香环而R3不存在。另外，R1、R2和R3任选为相同的烃基或不同的烃基。另外，R1在与氮原子键合的α位的碳上具有一个以上的氢原子。)。

公开(公告)号：CN113795431B

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202080033952.7

申请日：2020-04-22

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 渡边谦太 ,  增田隆司 ,  田中一树

IPC: B65D23/02 ,  B65D85/84 ,  C23C16/448

Abstract: 本公开提供β‑二酮保存容器，其特征在于，其为用于将液态的β‑二酮填充于内部的金属制的保存容器，上述金属为铝原材料，上述保存容器的内表面具有包含选自由二氧化硅、碳氮化硅、碳化硅、氮化硅、金刚石和类金刚石碳组成的组中的至少1种材料的无机覆膜。

公开(公告)号：CN113795431A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202080033952.7

申请日：2020-04-22

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 渡边谦太 ,  增田隆司 ,  田中一树

IPC: B65D23/02 ,  B65D85/84 ,  C23C16/448

Abstract: 本公开提供β‑二酮保存容器，其特征在于，其为用于将液态的β‑二酮填充于内部的金属制的保存容器，上述金属为铝原材料，上述保存容器的内表面具有包含选自由二氧化硅、碳氮化硅、碳化硅、氮化硅、金刚石和类金刚石碳组成的组中的至少1种材料的无机覆膜。