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公开(公告)号：CN116324036A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180070131.5
申请日：2021-10-11
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C23F1/10
Abstract: 本公开中提出的湿式蚀刻方法，其为利用表面改质液对基板上的含金属膜进行预处理，接着使用蚀刻液进行蚀刻的湿式蚀刻方法，前述蚀刻液为包含键合有三氟甲基及羰基的β‑二酮和有机溶剂的溶液，前述含金属膜包含能够与前述β‑二酮形成络合物的金属元素，前述表面改质液包含对前述金属元素的氧化性物质，前述湿式蚀刻方法包括：第一工序，使前述表面改质液与前述含金属膜接触而在前述含金属膜的表面形成前述金属元素的氧化膜；和第二工序，使前述蚀刻液与具有前述氧化膜的前述含金属膜接触。
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公开(公告)号：CN116685715A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202280009700.X
申请日：2022-01-28
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C23C26/00
Abstract: 本发明涉及一种选择性膜沉积方法，其特征在于，将具有露出了含有金属元素的第一表面区域与含有非金属无机材料的第二表面区域这两者的结构的基板暴露于含有下述通式(1)所表示的有机物与溶剂的溶液中，使所述有机物的膜较之所述第二表面区域选择性地沉积于所述第一表面区域，R1(X)m (1)在通式(1)中，R1为碳原子数为4～100的任选具有杂原子或卤素原子的烃基，所述烃基的m个氢原子被X取代。X为‑PO3(R2)2、‑O‑PO3(R2)2、‑CO2R2、‑SR2或‑SSR1。R2各自为氢原子或碳原子数为1～6的烷基。m为正整数，当将该烃基的碳原子数设为r时，m/r为0.01～0.25。
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公开(公告)号：CN119278504A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202380043184.7
申请日：2023-05-31
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/312 , H01L21/316
Abstract: 本发明的基材的处理方法具有下述工序：准备工序，准备在表面具有第1表面及第2表面的基材，所述第1表面含有Si，所述第2表面与第1表面化学组成不同且含有Si；表面改性工序，在施加使硅烷基化剂接触第1表面及第2表面的硅烷基化处理后，施加相对于第1表面而言将第2表面的拒水性选择性地降低的拒水性调整处理；以及加工工序，在表面改性工序之后，对于第2表面选择性施加加工处理。
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公开(公告)号：CN115803313A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202180048843.7
申请日：2021-08-04
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C209/84
Abstract: 本公开的目的在于，提供一种使粗三烷基胺中的二甲胺、二乙胺、乙基丙基胺、乙基异丙基胺的浓度降低的新型的方法。本公开为一种三烷基胺的纯化方法，其特征在于，使包含选自由二甲胺、二乙胺、乙基丙基胺和乙基异丙基胺组成的组中的至少一种作为杂质的粗三烷基胺与沸石接触，使上述粗三烷基胺中的选自由二甲胺、二乙胺、乙基丙基胺和乙基异丙基胺组成的组中的至少一种的浓度比上述沸石接触前降低。
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公开(公告)号：CN115461843A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202180031263.7
申请日：2021-04-27
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/302 , C07C211/04 , C07C211/08
Abstract: 提供一种以固定组成稳定供给包含单甲胺或二甲胺作为微量杂质的三甲胺的方法。本发明为一种组合物的供给方法，其特征在于，将封入有组合物的保存容器在10℃以上的固定温度下进行保温，然后将上述组合物的气体供给至规定装置，上述组合物的气相中包含：三甲胺；二甲基乙基胺；以及、二甲胺和单甲胺中的至少1种。
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