一种多管芯堆叠式射频器件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118826690A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202411106255.6

    申请日:2024-08-13

    Abstract: 本发明提供一种多管芯堆叠式射频器件,属于压电复合材料领域,包括第一裸片和多颗滤波器裸片,所述滤波器裸片与第一裸片的正面耦合,在第一裸片与耦合面相对的反面制作信号引出,所述第一裸片包括多层异质键合衬底、功能化金属孔、晶圆级封装以及至少一个制作于第一裸片正反面的声表面波滤波器,所述功能化金属孔包含贯穿式导通孔和/或介质阻隔式射频导通孔中的至少一种,所述声表面波滤波器通过功能化金属孔进行射频信号联通。所述功能化金属孔能够实现多颗滤波器裸片、裸片两面多个薄膜型声表面波滤波器三者的电容电感串并联匹配以及性能耦合提升或隔离共存,滤波器集成度更高,损耗更小。

    一种多信器网络合成方法

    公开(公告)号:CN111817837B

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202010596035.1

    申请日:2020-06-28

    Abstract: 本发明涉及多信器技术领域,尤其是一种多信器网络合成方法,其步骤为:(1)定义滤波器任意频段阻抗分析,设定频段有n个,则频段输入阻抗为Zin;(2)定义固有损耗FIL(dB);(3)定义泄露损耗LIL(dB);(4)根据固有损耗和泄露损耗,计算低泄漏损耗区;(5)通过移相把频段输入阻抗Zin移动到低泄漏损耗区内;(6)设定多信器ANT端每个频段滤波器等效为一个输入阻抗;(7)选取各频段的中心频率作为分析点,设导纳为:Ynm=Gnm+jBnm,其中,n为滤波器频段,m为频段频率;(8)在多信器ANT端并联一个匹配元件;(9)通过移相,频段滤波器阻抗满足导纳约束方程,则使得ANT端各频段滤波器能够共用同一个匹配网络,本发明解决信号泄漏和共用阻抗匹配网络。

    具有防碰撞功能的声表面波延迟反射型无线传感器系统

    公开(公告)号:CN105180982B

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201510535984.8

    申请日:2015-08-27

    Abstract: 本发明提供一种具有防碰撞功能的声表面波延迟反射型无线传感器系统。应答器传感芯片采用编码叉指换能器(相关换能器),其编码为属于同一相容码组的相容码,采用同一相容码编码芯片的应答器,称为同类应答器。应答器传感芯片上,至少有两个沿声道排列的同频短反射栅。同类应答器芯片,第一个反射栅与相关换能器的起始延迟距离,各芯片彼此不同;各反射栅间的距离一致;设计上述各距离时,应使在标称传感量测试范围内,同类应答器同时产生的电磁回波叠加后,所有回波峰都应能被阅读器分辨,获知其来源和传感信息。阅读器具有相容码的编码部件和反射回波相关接收部件。本系统的防碰撞功能等于不同类应答器种类数目乘以时序容量。

    采用一个掩膜版的声表面波标签结构及其编码识别方法

    公开(公告)号:CN115688848A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211376163.0

    申请日:2022-11-04

    Abstract: 本发明公开了一种采用一个掩膜版的声表面波标签结构及其编码识别方法,所有编码的标签都采用同一个掩膜版制作,通过外接电容的不同来对标签进行编码。声表面波标签包括多个反射栅对,每个反射栅对由一个参考反射栅和一个外接负载电容的负载反射栅构成,并且负载电容的容值有多个可选项,对应于每个反射栅对可能出现的编码。鉴于负载反射栅的反射率随外接电容的变化而变化,通过与负载反射栅、参考反射栅对应的两个回波脉冲信号的幅值比来获取反射栅对的编码值,并最终识别出声表面波标签的编码。本发明的特点是仅需一个掩膜版,并且可以对编码容量进行动态扩充,其识别方法不仅消除了距离的影响,还避免了不同反射栅对之间编码的耦合影响。

    一种多信器网络合成方法

    公开(公告)号:CN111817837A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN202010596035.1

    申请日:2020-06-28

    Abstract: 本发明涉及多信器技术领域,尤其是一种多信器网络合成方法,其步骤为:(1)定义滤波器任意频段阻抗分析,设定频段有n个,则频段输入阻抗为Zin;(2)定义固有损耗FIL(dB);(3)定义泄露损耗LIL(dB);(4)根据固有损耗和泄露损耗,计算低泄漏损耗区;(5)通过移相把频段输入阻抗Zin移动到低泄漏损耗区内;(6)设定多信器ANT端每个频段滤波器等效为一个输入阻抗;(7)选取各频段的中心频率作为分析点,设导纳为:Ynm=Gnm+jBnm,其中,n为滤波器频段,m为频段频率;(8)在多信器ANT端并联一个匹配元件;(9)通过移相,频段滤波器阻抗满足导纳约束方程,则使得ANT端各频段滤波器能够共用同一个匹配网络,本发明解决信号泄漏和共用阻抗匹配网络。

    具有防碰撞功能的声表面波延迟反射型无线传感器系统

    公开(公告)号:CN105180982A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201510535984.8

    申请日:2015-08-27

    Abstract: 本发明提供一种具有防碰撞功能的声表面波延迟反射型无线传感器系统。应答器传感芯片采用编码叉指换能器(相关换能器),其编码为属于同一相容码组的相容码,采用同一相容码编码芯片的应答器,称为同类应答器。应答器传感芯片上,至少有两个沿声道排列的同频短反射栅。同类应答器芯片,第一个反射栅与相关换能器的起始延迟距离,各芯片彼此不同;各反射栅间的距离一致;设计上述各距离时,应使在标称传感量测试范围内,同类应答器同时产生的电磁回波叠加后,所有回波峰都应能被阅读器分辨,获知其来源和传感信息。阅读器具有相容码的编码部件和反射回波相关接收部件。本系统的防碰撞功能等于不同类应答器种类数目乘以时序容量。

    一种超薄压电单晶箔的制作方法及其应用

    公开(公告)号:CN111755594B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN201910236324.8

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明属于微电子器件技术领域,是为了解决现有技术中很难获得数微米且晶体性能良好的单晶箔的不足,而提供一种采用机械减薄加上化学腐蚀减薄的方式,尤其是利用了畴极性面的化学腐蚀速率的差异,使得压电层可以达到更薄的厚度的制作超薄压电单晶箔的方法以及其作为有源器件在光波导器件和高频声表面波器件中的应用。本发明采用机械减薄工艺将压电单晶箔减薄至几十微米,然后再利用压电单晶畴极性面的化学腐蚀速率的差异,形成化学减薄的自阻挡层,将压电单晶箔层减薄至数微米。本发明方案弥补了机械减薄只能减薄至几十微米的缺陷,同时也避免了离子切片技术对晶体性能的劣化,并且可以获得表面均匀性较好的超薄单晶箔。

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