一种超高纯铝靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN106282945B

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201610846416.4

    申请日:2016-09-26

    Abstract: 本发明涉及一种超高纯铝靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)将纯度大于99.999wt%的超高纯铝铸锭进行表面铣削,去除表面的氧化层;(2)将铸锭加热至230~400℃;(3)将加热后的铸锭进行10~20道次的热轧,单道次压下量控制在20~60mm,控制最后道次的终轧温度在350℃以下;(4)对完成热轧的铝板进行温度为200~300℃,保温时间为1~2h的退火处理;(5)对板材矫平后进行铣削加工,获得平均晶粒在80~150um的超高纯铝靶材。本发明可制备出纯度高,晶粒细小且均匀的靶材,织构取向一致,满足PVD的使用要求;同时工艺简单,易于操作,便于大规模工业化生产,有效的减小了能耗,降低了成本。

    一种检测热轧轧辊粘铝层厚度的方法

    公开(公告)号:CN103736746B

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201410010614.8

    申请日:2014-01-10

    Abstract: 本发明公开了一种检测热轧轧辊粘铝层厚度的方法,通过测定取样面积内的粘铝层中氧化物的重量,来计算粘铝层的厚度。粘铝层中氧化物的重量的测定方法为将取样面积内的粘铝层焚烧、将焚烧后的残留物用稀盐酸溶解、蒸馏水稀释后,用电感耦合等离子光谱发生仪进行定量检测,测出其中Al、Fe、Mg的离子含量,然后换算成三者氧化物的重量。本发明方法原理科学,测定方法简单易行,测定结果准确。

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