形成沉积膜的方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN86107141A

    公开(公告)日:1987-06-10

    申请号:CN86107141

    申请日:1986-10-22

    CPC classification number: C23C16/452 H01L21/0242 H01L21/02532 H01L21/0262

    Abstract: 本发明涉及功能性膜的形成方法,特别是对半导体器件,电光摄象的光敏器件诸如光学成像输入装置的入射光感光器件之类电子元件等有用的功能性沉积膜的形成方法。它包括向反应区通入形成沉积膜的原料气和对所述原料有氧化性的气态卤素氧化剂以使它们之间化学接触,以形成含有大量处于激发态初级粒子的多种初级粒子;至少使用这些初级粒子中的一种作为沉积膜组成元素的料源在成膜区中的基体上形成沉积膜。本发明还披露了其它形成沉积膜的方法。

    薄膜多晶太阳能电池及其形成方法

    公开(公告)号:CN1201408C

    公开(公告)日:2005-05-11

    申请号:CN02121537.5

    申请日:2002-03-15

    Inventor: 石原俊一

    CPC classification number: H01L31/03682 H01L31/182 Y02E10/546 Y02P70/521

    Abstract: 为了同时保证优异的短路电流和占空因数性能,提供一种薄膜多晶太阳能电池,该电池包括基材;设置在基材上并且由用控制导电类型的杂质重掺杂的硅构成的第一半导体层;设置在第一半导体层上并且由用与第一半导体层同样导电类型的控制导电类型的杂质轻掺杂的多晶硅构成的第二半导体层;和设置在第二半导体层上且用导电类型与第一半导体层和第二半导体层掺杂的杂质相反的控制导电类型的杂质重掺杂的第三半导体层,其中从产生在第一半导体层内的晶核生长的晶粒连续地生长以形成第一和第二半导体层,该晶粒也水平生长以接触相邻的晶粒,且垂直生长与第三半导体层形成接触面。

    形成沉积膜的方法
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1015008B

    公开(公告)日:1991-12-04

    申请号:CN86107141

    申请日:1986-10-22

    CPC classification number: C23C16/452 H01L21/0242 H01L21/02532 H01L21/0262

    Abstract: 本发明涉及功能性膜的形成方法,特别是对半导体器件,电光摄象的光敏器件诸如光学成像输入装置的入射光感光器件之类电子元件等有用的功能性沉积膜的形成方法。它包括向反应区通入形成沉积膜的原料气和对所述原料有氧化性的气态卤素氧化剂以使它们之间化学接触,以形成含有大量处于激发态初级粒子的多种初级粒子,至少使用这些初级粒子中的一种作为沉积膜组成元素的料源在成膜区中的基体上形成沉积膜。本发明还披露了其它形成沉积膜的方法。

    薄膜多晶太阳能电池及其形成方法

    公开(公告)号:CN1384551A

    公开(公告)日:2002-12-11

    申请号:CN02121537.5

    申请日:2002-03-15

    Inventor: 石原俊一

    CPC classification number: H01L31/03682 H01L31/182 Y02E10/546 Y02P70/521

    Abstract: 为了同时保证优异的短路电流和占空因数性能,提供一种薄膜多晶太阳能电池,该电池包括基材;设置在基材上并且由用控制导电类型的杂质重掺杂的硅构成的第一半导体层;设置在第一半导体层上并且由用与第一半导体层同样导电类型的控制导电类型的杂质轻掺杂的多晶硅构成的第二半导体层;和设置在第二半导体层上且用导电类型与第一半导体层和第二半导体层掺杂的杂质相反的控制导电类型的杂质重掺杂的第三半导体层,其中从产生在第一半导体层内的晶核生长的晶粒连续地生长以形成第一和第二半导体层,该晶粒也水平生长以接触相邻的晶粒,且垂直生长与第三半导体层形成接触面。

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