封装件及其形成方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116525558A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310206280.0

    申请日:2023-03-06

    Abstract: 一种封装件包括具有第一侧和与第一侧相对的第二侧的密封剂、嵌入密封剂中的第一集成电路管芯和第二集成电路管芯,以及位于密封剂的第一侧上的第一中介层。第一中介层机械耦接且电耦接至第一集成电路管芯和第二集成电路管芯。封装件还包括位于密封剂的第二侧上的第二中介层。第二中介层机械耦接且电耦接至第一集成电路管芯和第二集成电路管芯。第二中介层将第一集成电路管芯光耦接或电耦接至第二集成电路管芯。本发明的实施例还提供了形成封装件的方法。

    形成管芯堆叠件的方法及集成电路结构

    公开(公告)号:CN111799228B

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202010250523.7

    申请日:2020-04-01

    Abstract: 方法包括减薄器件管芯的半导体衬底,以露出延伸至半导体衬底中的衬底通孔;以及形成第一再分布结构,形成第一再分布结构包括在半导体衬底上方形成第一多个介电层,以及在第一多个介电层中形成第一多个再分布线。第一多个再分布线电连接至衬底通孔。该方法还包括将第一存储器管芯放置在第一再分布结构上方,以及在第一再分布结构上方形成第一多个金属柱。第一多个金属柱电连接至第一多个再分布线。将第一存储器管芯密封在第一密封剂中。在第一多个金属柱和第一存储器管芯上方形成电连接至第一多个金属柱和第一存储器管芯的第二多个再分布线。本发明的实施例还涉及形成管芯堆叠件的方法及集成电路结构。

    形成光子半导体器件的方法和光子系统

    公开(公告)号:CN110646898B

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN201910558565.4

    申请日:2019-06-26

    Abstract: 方法包括在半导体晶圆中形成多个光子器件,在半导体晶圆的第一侧中形成v形槽,形成延伸穿过半导体晶圆的开口,在开口内形成多个导电部件,其中,导电部件从半导体晶圆的第一侧延伸至半导体晶圆的第二侧,在v形槽上方形成聚合物材料,在开口内沉积模塑材料,其中,多个导电部件的导电部件通过模塑材料分隔开,在沉积模塑材料之后,去除聚合物材料以暴露V形槽,并且将光纤放置在V形凹槽内。本发明的实施例还涉及形成光子半导体器件的方法和光子系统。

    具有用于减少串扰的屏蔽结构的半导体器件

    公开(公告)号:CN109216324B

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN201810693005.5

    申请日:2018-06-29

    Abstract: 方法包括将管芯嵌入在模制材料内;在模制材料和管芯上方形成第一介电层;在第一介电层的远离管芯的上表面上方形成导线;以及在第一介电层和导线上方形成第二介电层。该方法还包括形成穿过第一介电层或第二介电层延伸的第一沟槽开口,其中,第一沟槽开口的纵向轴线与导线的纵向轴线平行,并且其中,没有导电部件在第一沟槽开口的底部处暴露;以及用导电材料填充第一沟槽开口以形成第一接地沟槽。本发明的实施例还涉及具有用于减少串扰的屏蔽结构的半导体器件。

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