一种柔性自支撑垂直光波导阵列及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN119310676A

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202411747211.1

    申请日:2024-12-02

    Abstract: 本发明涉及微电子器件技术领域,提供了一种柔性自支撑垂直光波导阵列及其制备方法和应用。本发明采用可紫外固化的SU‑8聚合物作为光波导材料,利用简单的涂覆、光刻和ICP刻蚀工艺,在衬底上制备出垂直光波导阵列,之后制备柔性支撑层并将衬底去除,即得到柔性自支撑垂直光波导阵列。本发明提供的柔性自支撑垂直光波导阵列能够解决图像传感器的光电串扰问题,提高弱光环境中的探测灵敏度,还具有极佳的柔性,能够与图像传感器表面实现共形贴合;并且,本发明的柔性自支撑垂直光波导阵列不依赖图像传感器的像素尺寸,制备过程独立于图像传感器的制备过程,通用性强,灵活性好。

    一种二维硫化钼-硫化铌范德华异质结光突触器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN115241307B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202210884909.2

    申请日:2022-07-26

    Abstract: 本发明涉及光电子学和神经形态器件技术领域,提供了一种二维硫化钼‑硫化铌范德华异质结光突触器件及其制备方法。本发明提供的光突触器件包括依次层叠设置的衬底层、介电层、二维硫化钼/硫化铌垂直异质结和电极层,该器件在底栅压和激光脉冲的共同调控下具备较好的光响应行为,还表现出良好的可持续光电导现象,能够有效实现双脉冲易化、多组态光写入和电擦除等突触行为,有望在图像传感器、神经形态器件和光响应储存设备上应用。本发明采用前驱体旋涂辅助化学气相沉积法或熔盐辅助化学气相沉积法制备二硫化钼纳米片,采用熔盐辅助化学气相沉积法制备二硫化铌纳米片,整个生长过程可控、工艺稳定,容易获得结晶质量较好的二维垂直异质结材料。

    一种基于二维三硒化铌纳米带的阻变式随机存储器件及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN116322290A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310257072.3

    申请日:2023-03-17

    Abstract: 本发明涉及存储器件技术领域,尤其涉及一种基于二维三硒化铌纳米带的阻变式随机存储器件及其制备方法和应用。本发明提供的制备方法,包括:在硅衬底的表面制备二维三硒化铌纳米带,得到表面有二维三硒化铌纳米带的硅衬底;在所述表面含有二维三硒化铌纳米带的硅衬底的表面涂覆光刻胶后,在所述二维三硒化铌纳米带的两端分别刻蚀出电极位点,制备电极,去胶后,进行锂化,得到所述基于二维三硒化铌纳米带的阻变式随机存储器件。所述制备方法制备得到的二维三硒化铌纳米带的阻变式随机存储器件具有良好的高低阻切换行为和优良的保持特性。

    多孔氮掺杂碳基过渡金属单原子催化剂及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113351236A

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN202110635844.3

    申请日:2021-06-08

    Abstract: 本发明公开了一种多孔氮掺杂碳基过渡金属单原子催化剂的制备方法;该制备方法包括:将氯化钠、柠檬酸、尿素、水和过渡金属氯盐混合均匀,制得混合溶液;而后将其依次进行冷冻处理和冷冻干燥,制得盐模板前驱体粉末;再将盐模板前驱体粉末在惰性气氛保护下进行热解处理。以上制备方法采用原料廉价,且氯化钠可回收,绿色无污染,生产成本低;操作简单,通用性强,适合工业化应用;所制得多孔氮掺杂碳基过渡金属单原子催化剂上过渡金属单原子具有良好分散性,无团簇或纳米粒子出现;产品多孔氮掺杂碳基过渡金属单原子催化剂具有较正的半坡电位、良好的抗甲醇性能和稳定性,电催化氧还原性能优异。

    一种脱硝催化剂及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN116174027A

    公开(公告)日:2023-05-30

    申请号:CN202310227803.X

    申请日:2023-02-28

    Abstract: 本发明公开了一种脱硝催化剂及其制备方法和应用,本发明的脱硝催化剂包括铟、H‑Beta分子筛和镍锰复合氧化物,铟、镍锰复合氧化物均负载在H‑Beta分子筛的表面;该脱硝催化剂的制备方法包括以下步骤:1)将高锰酸盐、H‑Beta分子筛、镍盐混合后,再加入二价锰盐,经水热反应、第一次焙烧,得到镍锰改性的H‑Beta分子筛;2)将镍锰改性的H‑Beta分子筛和铟盐混合,经离子交换、第二次焙烧,得到脱硝催化剂。本发明的脱硝催化剂不仅在低温条件下具备起活快、CH4转化率高、NOx去除率高的优势,而且还具备制备简单、可控、成本低、节能的效果,特别适合应用于CH4‑SCR脱硝设备或工艺中。

    一种二维硫化钼-硫化铌范德华异质结光突触器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN115241307A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202210884909.2

    申请日:2022-07-26

    Abstract: 本发明涉及光电子学和神经形态器件技术领域,提供了一种二维硫化钼‑硫化铌范德华异质结光突触器件及其制备方法。本发明提供的光突触器件包括依次层叠设置的衬底层、介电层、二维硫化钼/硫化铌垂直异质结和电极层,该器件在底栅压和激光脉冲的共同调控下具备较好的光响应行为,还表现出良好的可持续光电导现象,能够有效实现双脉冲易化、多组态光写入和电擦除等突触行为,有望在图像传感器、神经形态器件和光响应储存设备上应用。本发明采用前驱体旋涂辅助化学气相沉积法或熔盐辅助化学气相沉积法制备二硫化钼纳米片,采用熔盐辅助化学气相沉积法制备二硫化铌纳米片,整个生长过程可控、工艺稳定,容易获得结晶质量较好的二维垂直异质结材料。

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