公开(公告)号：CN1499290A

公开(公告)日：2004-05-26

申请号：CN03152547.4

申请日：2003-08-01

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： M·E·卡尔伯恩 ,  S·M·盖茨 ,  J·C·赫德里克 ,  S·尼塔 ,  S·波卢索萨曼 ,  E·黄 ,  M·桑卡拉潘迪恩

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/16 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027

CPC classification number: H05K3/0079 ,  H01L21/0331 ,  H01L21/76849 ,  H05K3/282 ,  H05K2203/1173 ,  Y10T428/24802

Abstract: 一种在衬底现有图案上形成自对准图案的方法，该方法包括涂敷溶液涂料，溶液包含在载体中的掩模材料，掩模材料对于该现有图案一部分具有亲合力；和允许至少一部分掩模材料优先装配到现有图案的一部分。图案可以由衬底的第一组区域和衬底的第二组区域组成，衬底的第一组区域具有第一原子组成和衬底的第二组区域具有不同于第一组成的第二原子组成。第一组区域可以包括一种或多种金属元素和第二组区域可以包括电介质。可以处理第一和第二区域以具有不同的性能。根据该方法的结构。用于实施该方法的组合物。

公开(公告)号：CN1305111C

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN03152547.4

申请日：2003-08-01

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： M·E·卡尔伯恩 ,  S·M·盖茨 ,  J·C·赫德里克 ,  S·尼塔 ,  S·波卢索萨曼 ,  E·黄 ,  M·桑卡拉潘迪恩

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/00 ,  G03F7/16 ,  G03F7/26

CPC classification number: H05K3/0079 ,  H01L21/0331 ,  H01L21/76849 ,  H05K3/282 ,  H05K2203/1173 ,  Y10T428/24802

Abstract: 一种在衬底现有图案上形成自对准图案的方法，该方法包括涂敷溶液涂料，溶液包含在载体中的掩模材料，掩模材料对于该现有图案一部分具有亲合力；和允许至少一部分掩模材料优先装配到现有图案的一部分。图案可以由衬底的第一组区域和衬底的第二组区域组成，衬底的第一组区域具有第一原子组成和衬底的第二组区域具有不同于第一组成的第二原子组成。第一组区域可以包括一种或多种金属元素和第二组区域可以包括电介质。可以处理第一和第二区域以具有不同的性能。根据该方法的结构。用于实施该方法的组合物。