用于制造约瑟夫森结的光刻
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116058113A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202180057416.5

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 提供了用于制造约瑟夫森结的光刻过程和结构,其包括沉积在第二抗蚀剂层(102)上的第一抗蚀剂层(104),该第一抗蚀剂层包括限定用于形成约瑟夫森结的开口(114)的桥部分(116)。在桥部分上沉积第三抗蚀剂层(106)以形成在约瑟夫森结的制造期间将开口与超导材料(902)的成角度沉积(D1)遮蔽开的部分(118)。

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