-
公开(公告)号：CN107068592B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201710111198.4
申请日：2017-02-28
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开一种静电吸附拾取夹具系统，包括可对微薄片进行筛选的筛选平台、可对筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具、可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台。具体地，筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台，以及位于负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板；静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板，电容板可在时间周期为4T内依次通入正电荷和负电荷。相对于现有技术，本发明能够有效解决纳米级成品进行准确搬移的技术问题，能够有效筛选成品、有效吸附成品以及缓降定位等优点，能够提高生产效率以及保证成品完整性。
-
公开(公告)号：CN112780679A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110130334.0
申请日：2021-01-29
Applicant: 广东工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本申请公开了一种真空腔非均匀分布的预压式多孔质气浮轴承，包括：轴承板、第一轴承座与第二轴承座；轴承板固定于第一轴承座上，且与第一轴承座之间形成第一压力腔；第一轴承座固定于第二轴承座上，且与第二轴承座之间形成第二压力腔；第一压力腔与第二压力腔相互隔断；轴承板上设置有多个贯穿轴承板且连通第二压力腔的真空腔；多个真空腔非均匀分布，使得轴承板的接触面积沿纵向方向一端至另一端递减。通过设置多个非均匀分布的真空腔，使得轴承板表面接触面积沿一端至另一端递减，接触面积大的一侧安装于靠近转轴处，接触面积小的一侧安装于远离转轴处，可以减小轴承远离转轴处的弯曲变形，极大的改善轴承的承载力和刚度特性。
-
公开(公告)号：CN107063078B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201710048714.3
申请日：2017-01-20
Applicant: 广东工业大学
IPC: G01B7/31
Abstract: 本发明公开了一种水平直线度测量装置，包括支座、导轨、气浮上滑台、固定组件、平面平晶、第一电位传感器、第二电位传感器、调节装置和探头，所述气浮上滑台可滑动安装于所述导轨上，所述导轨固定安装于所述支座上；所述平面平晶固定安装于所述固定组件上，所述平面平晶的工作面与固定组件的侧面平行；所述固定组件设于所述气浮上滑台上，所述第一电位传感器和第二电位传感器分别正对于所述固定组件侧面的首、尾端设置；所述调节装置顶压所述固定组件滑动而调节固定组件侧面的首端或尾端；所述探头与所述平面平晶的工作面相接触。本发明还提供一种水平直线度测量方法，具有测量方便、快速和精度高的有益效果。
-
公开(公告)号：CN108466173B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201810258380.7
申请日：2018-03-27
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气浮精密运动平台，真空吸附平台安装在底座的运动轨道上；真空吸附平台通过第一过渡板与直线电机固定连接；直线电机安装在底座上；内置真空发生器设置在真空吸附平台内部；气浮轴承镶嵌在真空吸附平台的底部与两侧；外接真空发生器与真空吸附平台可拆卸连接；真空吸附平台内部设置有第一气路和第二气路，第一气路与内置真空发生器连通，用于吸附工件；第二气路分别与外接真空发生器和气浮轴承连通，用于在真空吸附平台与底座之间产生气膜。解决了现有的超精密磨削机床容易因机械导轨与平台之间存在摩擦和热变形而导致定位和运动精度降低，从而影响工件加工精度的技术问题。
-
公开(公告)号：CN107053037A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201611122761.X
申请日：2016-12-08
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及一种基于模糊控制自适应电磁式真空吸盘，通过装置内的真空发生器产生真空，在外界大气压的作用下，将待加工工件夹持，完成切削、压印；特别涉及一种可通过可调电磁吸附装置，根据零件的几何形状，自适应的调节各个模块的面积，使其与零件完全吸附，保证装夹准确稳定；待加工零件即使未放置好，电磁式也可以自适应的使真空吸盘开闭活动口达到装夹效果，使薄片零件完全加持。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112780679B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202110130334.0
申请日：2021-01-29
Applicant: 广东工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本申请公开了一种真空腔非均匀分布的预压式多孔质气浮轴承，包括：轴承板、第一轴承座与第二轴承座；轴承板固定于第一轴承座上，且与第一轴承座之间形成第一压力腔；第一轴承座固定于第二轴承座上，且与第二轴承座之间形成第二压力腔；第一压力腔与第二压力腔相互隔断；轴承板上设置有多个贯穿轴承板且连通第二压力腔的真空腔；多个真空腔非均匀分布，使得轴承板的接触面积沿纵向方向一端至另一端递减。通过设置多个非均匀分布的真空腔，使得轴承板表面接触面积沿一端至另一端递减，接触面积大的一侧安装于靠近转轴处，接触面积小的一侧安装于远离转轴处，可以减小轴承远离转轴处的弯曲变形，极大的改善轴承的承载力和刚度特性。
-
公开(公告)号：CN106895773A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201710173538.6
申请日：2017-03-22
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密测量平台，包括机架组件、锁死螺母、地脚调节螺钉、支架、电位器式传感器、磁悬浮组件、花岗岩平台、X轴气浮导轨组件、第一立柱、第二立柱、横梁、Y轴气浮导轨组件、高精度传感器、磁吸装置、调节杆、测微仪和中央处理器，其中，所述地脚调节螺钉设置在所述机架组件底部，所述锁死螺母设置在地脚调节螺钉上且靠近机架组件底部；本发明第二立柱底部的气浮块直接和花岗岩平台接触，并且采用黄铜塞红宝石节流，气浮面设置均压卸荷槽，有效防止气震的发生，较易实现高精度运动和测量。
-
公开(公告)号：CN106666983A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201710036120.0
申请日：2017-01-17
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种自动追踪的五轴吹风筒，包括支架，可沿支架的纵向方向滑动的纵向驱动装置，可沿支架的横向方向滑动且安装于所述纵向驱动装置上的动力输出端上的横向驱动装置，安装于所述横向驱动装置的动力输出端上的机械手，固定安装于所述机械手上的风筒，可沿支架的纵向和横向方向滑动的传感装置，以及与所述纵向驱动装置、横向驱动装置、机械手、风筒和传感装置与所述控制装置电连接的控制装置。本发明具有自动追踪控制、使用方便和安全可靠的有益效果。
-
公开(公告)号：CN106425589A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201611146874.3
申请日：2016-12-13
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23Q3/06
CPC classification number: B23Q3/065
Abstract: 本发明公开了一种超薄片夹紧工装，包括基座、下固定件、上固定帽、垫板与水平移动部；所述基座包括底座以及位于所述底座上表面用以容纳所述上固定帽和所述下固定件的容纳壁；所述水平移动部具有能够穿过所述容纳壁且与所述上固定帽接触的楔形端；所述下固定件的顶部设置用以供所述垫板定位的定位槽；所述上固定帽位于所述下固定件的顶部；所述上固定帽具有用以在竖直方向上夹持位于所述垫板上的超薄片工件的夹持端口，还具有能够与所述楔形端接触用以在水平力作用下实现竖直方向运动的楔形侧壁。上述超薄片夹紧工装，在夹紧超薄片工件之后，能够有效避免超薄片工件振动，且超薄片夹紧工装的结构相对简单，经济成本显著下降。
-
公开(公告)号：CN105773595A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610259233.2
申请日：2016-04-25
Applicant: 广东工业大学
IPC: B25J9/06
CPC classification number: B25J9/065
Abstract: 本发明是一种磁力驱动的蛇形机器人。该蛇形机器人的最小基本运动单元包括有两个基本运动模块，相邻的两个最小基本运动单元构成一个关节，每个基本运动模块包括有龙脊骨、转向运动高导磁线圈、伸缩运动高导磁线圈、腹部肢节，转向运动高导磁线圈及伸缩运动高导磁线圈均是卡槽式结构，转向运动高导磁线圈及伸缩运动高导磁线圈直接嵌入腹部肢节，或向运动高导磁线圈及伸缩运动高导磁线圈采用胶水与腹部肢节粘接；龙脊骨与腹部肢节之间过盈配合。本发明自身体积小，适应性高，柔性高，爬行运动方便快捷。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
56
records
(took 0.044 seconds)
