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公开(公告)号：CN107068592B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201710111198.4
申请日：2017-02-28
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开一种静电吸附拾取夹具系统，包括可对微薄片进行筛选的筛选平台、可对筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具、可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台。具体地，筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台，以及位于负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板；静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板，电容板可在时间周期为4T内依次通入正电荷和负电荷。相对于现有技术，本发明能够有效解决纳米级成品进行准确搬移的技术问题，能够有效筛选成品、有效吸附成品以及缓降定位等优点，能够提高生产效率以及保证成品完整性。
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公开(公告)号：CN107063078B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201710048714.3
申请日：2017-01-20
Applicant: 广东工业大学
IPC: G01B7/31
Abstract: 本发明公开了一种水平直线度测量装置，包括支座、导轨、气浮上滑台、固定组件、平面平晶、第一电位传感器、第二电位传感器、调节装置和探头，所述气浮上滑台可滑动安装于所述导轨上，所述导轨固定安装于所述支座上；所述平面平晶固定安装于所述固定组件上，所述平面平晶的工作面与固定组件的侧面平行；所述固定组件设于所述气浮上滑台上，所述第一电位传感器和第二电位传感器分别正对于所述固定组件侧面的首、尾端设置；所述调节装置顶压所述固定组件滑动而调节固定组件侧面的首端或尾端；所述探头与所述平面平晶的工作面相接触。本发明还提供一种水平直线度测量方法，具有测量方便、快速和精度高的有益效果。
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公开(公告)号：CN107053037A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201611122761.X
申请日：2016-12-08
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及一种基于模糊控制自适应电磁式真空吸盘，通过装置内的真空发生器产生真空，在外界大气压的作用下，将待加工工件夹持，完成切削、压印；特别涉及一种可通过可调电磁吸附装置，根据零件的几何形状，自适应的调节各个模块的面积，使其与零件完全吸附，保证装夹准确稳定；待加工零件即使未放置好，电磁式也可以自适应的使真空吸盘开闭活动口达到装夹效果，使薄片零件完全加持。
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公开(公告)号：CN106002682A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610393088.7
申请日：2016-06-03
Applicant: 广东工业大学
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明公开了一种五金件通用夹具，主要包括固定设置的底座、用于卡紧工件的卡爪、与底座连接的夹具本体、用于驱动夹具本体合拢收缩夹紧工件的拉杆、以及驱动拉杆上下运动的气缸。所述气缸驱动拉杆向下运动，通过拉杆的凹锥形结构与支座的凸锥形结构配合使用，使每一瓣铁瓣都往中间合拢，固定在铁瓣上的卡爪将工件夹紧；松开工件时，只需驱动拉杆向上运动，每块铁瓣就会在弹簧的作用下从中间向外张开。本发明具有结构简单紧凑、操作方便快捷、夹紧和释放动作安全可靠、实用性强等优点。
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公开(公告)号：CN106862958A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710090226.9
申请日：2017-02-20
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23Q3/06
Abstract: 本发明公开了一种微结构切割机床的自动夹紧装置，包括底座、下固件、上固件、顶压装置和控制器，所述底座上固定安装有套杯，所述下固件上套设有工件，所述上固件盖合于所述下固件上而将工件顶压于下固件上；所述下固件和上固件设于所述套杯内，所述套杯的壁上开有通孔，所述顶压装置的输出轴通过所述通孔顶压于所述上固件上；所述控制器与所述顶压装置电连接。本发明控制器控制顶压装置停止运动，则此时上固件受到顶压装置的顶压力作用下而将工作紧压在下固件上，从而使得机床能顺利地下刀对工件进行切割。由于工件被紧压于下固件和上固件之间，工件不会发生夹紧变形的情况，保证了机床刀具切割的精度，提高了加工的产品质量和成品率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106683330A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201710131176.4
申请日：2017-03-07
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种可视化报警装置，包括用于采集监测信号的信号采集模块、用于处理所述监测信号，得到相应诊断信号的信号处理模块和用于根据所述诊断信号显示相应警报信号的警报显示模块。可见，安装在需要进行数据监测位置的信号采集模块将采集的监测信号传输给信号处理模块，信号处理模块对进行处理后，形成诊断信号，警报显示模块根据该诊断信号显示相应的警报信号，工作人员根据不同的警报信号即可对发生的故障位置做出判断，从而显著提高了工作人员的故障识别率。本发明还公开了一种可视化报警系统，具有与上述方法相同的技术效果。此外，本发明还公开了一种液压站可视化系统，具有与上述系统相同的技术效果。
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公开(公告)号：CN105972080A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610392848.2
申请日：2016-06-03
Applicant: 广东工业大学
IPC: F16C32/06
CPC classification number: F16C32/064 , F16C32/0644 , F16C32/0655
Abstract: 本发明给出了一种电液伺服轴承，其目的在于克服目前轴承承载小、转速相对较慢，以及寿命不长等缺点；本发明外轴套设计中加入了电液伺服阀的原理，通过输入电信号来控制阀的开度，进而来调节液压油的压力；第一级液压圈高压油液产生的压力用于平衡轴的重物负载；第二级液压圈内的高压油液直接与轴承接触用来产生液体摩擦。并且电液伺服控制模块采用智能模糊控制，如神经网络算法等，其经过训练后可以实现自适应调整，控制简便且精确；同时本轴承一级内圈与轴承二级内圈中通过毛细管传送油液，其结构更紧凑，并且通过毛细管可以平衡油液压力，并起到一定保压作用。
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公开(公告)号：CN105773178A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610249730.4
申请日：2016-04-21
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明是一种立式静压导轨及回油装置。包括Z轴滑台、接油盘、前导轨、侧导轨、后导轨、Y轴基座、油封、滑台、支撑块，其中支撑块安装在Z轴滑台的一端，Y轴基座安装在支撑块上，接油盘安装在Z轴滑台的另一端，托住由导轨溢回的油流回油箱，两块前导轨安装在接油盘的两侧，两块后导轨也安装在接油盘上、且与Y轴基座的端面接触，两块侧导轨装设在前导轨与后导轨之间，滑台也装设在前导轨与后导轨之间、且位于两块侧导轨之间，形成封闭式结构静压导轨，两个油封安装在滑台的上端，实现给滑台每个油腔配油。本发明摩擦力小、高刚度、高导向精度，承载能力大。
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公开(公告)号：CN105773299B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610249729.1
申请日：2016-04-21
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明是一种立式超精密静压导轨油腔油压便测油封装置。包括滑台、油封、进油口接头、节流器等，连接件把油封与滑台连接在一起；密封圈装设在油封与滑台之间，油压测量孔密封堵头所连接的孔贯穿油封，分别与滑台的6个油腔连通，第二连通孔密封堵头所连接的孔分别连通油压测量孔密封堵头所连接的孔和毛细管安装孔密封堵头所连接的孔，第一连通孔密封堵头所连接的孔使其中5个毛细管安装孔相互连通；第三连通孔密封堵头连通另一个毛细管安装孔密封堵头所连接的孔并与第一连通孔密封堵头所连接的孔连通，6个毛细管安装孔相互连通；进油口接头所连接的孔连通第三连通孔密封堵头所连接的孔。本发明可实时读取油腔的压力实数，油压检测方便，实现实时在线测量。
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公开(公告)号：CN106895773A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201710173538.6
申请日：2017-03-22
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密测量平台，包括机架组件、锁死螺母、地脚调节螺钉、支架、电位器式传感器、磁悬浮组件、花岗岩平台、X轴气浮导轨组件、第一立柱、第二立柱、横梁、Y轴气浮导轨组件、高精度传感器、磁吸装置、调节杆、测微仪和中央处理器，其中，所述地脚调节螺钉设置在所述机架组件底部，所述锁死螺母设置在地脚调节螺钉上且靠近机架组件底部；本发明第二立柱底部的气浮块直接和花岗岩平台接触，并且采用黄铜塞红宝石节流，气浮面设置均压卸荷槽，有效防止气震的发生，较易实现高精度运动和测量。
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