公开(公告)号：CN103915353B

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201310671468.9

申请日：2013-12-11

Applicant: 新科金朋有限公司

Inventor： 韩丙濬 ,  沈一权 ,  林耀剑 ,  P.C.马里穆图

IPC: H01L21/56

Abstract: 本发明涉及半导体器件以及使用标准化载体形成嵌入式晶片级芯片尺寸封装的方法。一种半导体器件包括标准化载体。半导体晶片包括多个半导体管芯和基底半导体材料。通过基底半导体材料的第一部分单切半导体晶片以分离半导体管芯。将半导体管芯设置在标准化载体上。标准化载体的尺寸与半导体管芯的尺寸无关。将密封剂沉积在标准化载体上且在半导体管芯周围。在半导体管芯上形成互连结构，同时使得密封剂没有互连结构。通过密封剂单切半导体器件。密封剂保持设置在半导体管芯的侧面上。可替换地，通过基底半导体的第二部分且通过密封剂来单切半导体器件以从半导体管芯的侧面去除基底半导体的第二部分和密封剂。

公开(公告)号：CN104701195A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201410858205.3

申请日：2014-10-31

Applicant: 新科金朋有限公司

Inventor： 林耀剑 ,  P·C·马里穆图 ,  沈一权 ,  韩丙濬

IPC: H01L21/56 ,  H01L21/768 ,  H01L23/28 ,  H01L23/525

Abstract: 半导体器件及形成嵌入式晶片级芯片规模封装的方法。半导体器件包括半导体管芯和沉积在半导体管芯上方和周围的密封剂。半导体晶片包括多个半导体管芯和基体半导体材料。凹槽被形成在基体半导体材料中。半导体晶片被穿过凹槽分割以分离半导体管芯。半导体管芯被设置在载体上方，半导体管芯之间具有500微米(μm)或更小的距离。密封剂覆盖半导体管芯的侧壁。扇入互连结构被形成在半导体管芯上方，同时密封剂保持不具有扇入互连结构。从半导体管芯的非有源表面移除密封剂的一部分。器件被穿过密封剂分割，同时留下设置为覆盖半导体管芯的侧壁的密封剂。覆盖侧壁的密封剂包括50μm或更小的厚度。

公开(公告)号：CN104701195B

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201410858205.3

申请日：2014-10-31

Applicant: 新科金朋有限公司

Inventor： 林耀剑 ,  P·C·马里穆图 ,  沈一权 ,  韩丙濬

IPC: H01L21/56 ,  H01L21/768 ,  H01L23/28 ,  H01L23/525

Abstract: 半导体器件及形成嵌入式晶片级芯片规模封装的方法。半导体器件包括半导体管芯和沉积在半导体管芯上方和周围的密封剂。半导体晶片包括多个半导体管芯和基体半导体材料。凹槽被形成在基体半导体材料中。半导体晶片被穿过凹槽分割以分离半导体管芯。半导体管芯被设置在载体上方，半导体管芯之间具有500微米(μm)或更小的距离。密封剂覆盖半导体管芯的侧壁。扇入互连结构被形成在半导体管芯上方，同时密封剂保持不具有扇入互连结构。从半导体管芯的非有源表面移除密封剂的一部分。器件被穿过密封剂分割，同时留下设置为覆盖半导体管芯的侧壁的密封剂。覆盖侧壁的密封剂包括50μm或更小的厚度。

公开(公告)号：CN110085557A

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201910163351.7

申请日：2013-12-11

Applicant: 新科金朋有限公司

Inventor： 韩丙濬 ,  沈一权 ,  林耀剑 ,  P.C.马里穆图

IPC: H01L23/28 ,  H01L21/56 ,  H01L23/00 ,  H01L25/065 ,  H01L21/78 ,  H01L23/485 ,  H01L23/31

Abstract: 本发明涉及半导体器件以及使用标准化载体形成嵌入式晶片级芯片尺寸封装的方法。一种半导体器件包括标准化载体。半导体晶片包括多个半导体管芯和基底半导体材料。通过基底半导体材料的第一部分单切半导体晶片以分离半导体管芯。将半导体管芯设置在标准化载体上。标准化载体的尺寸与半导体管芯的尺寸无关。将密封剂沉积在标准化载体上且在半导体管芯周围。在半导体管芯上形成互连结构，同时使得密封剂没有互连结构。通过密封剂单切半导体器件。密封剂保持设置在半导体管芯的侧面上。可替换地，通过基底半导体的第二部分且通过密封剂来单切半导体器件以从半导体管芯的侧面去除基底半导体的第二部分和密封剂。

公开(公告)号：CN103915353A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201310671468.9

申请日：2013-12-11

Applicant: 新科金朋有限公司

Inventor： 韩丙濬 ,  沈一权 ,  林耀剑 ,  P.C.马里穆图

IPC: H01L21/56

CPC classification number: H01L24/96 ,  H01L21/561 ,  H01L21/568 ,  H01L21/78 ,  H01L23/3114 ,  H01L24/19 ,  H01L24/94 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/02166 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/13022 ,  H01L2224/94 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/1306 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/05552 ,  H01L2224/03 ,  H01L24/03

Abstract: 本发明涉及半导体器件以及使用标准化载体形成嵌入式晶片级芯片尺寸封装的方法。一种半导体器件包括标准化载体。半导体晶片包括多个半导体管芯和基底半导体材料。通过基底半导体材料的第一部分单切半导体晶片以分离半导体管芯。将半导体管芯设置在标准化载体上。标准化载体的尺寸与半导体管芯的尺寸无关。将密封剂沉积在标准化载体上且在半导体管芯周围。在半导体管芯上形成互连结构，同时使得密封剂没有互连结构。通过密封剂单切半导体器件。密封剂保持设置在半导体管芯的侧面上。可替换地，通过基底半导体的第二部分且通过密封剂来单切半导体器件以从半导体管芯的侧面去除基底半导体的第二部分和密封剂。