公开(公告)号：CN102448704B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201080024945.7

申请日：2010-06-03

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 古谷一之 ,  铃木胜

IPC: B29C59/04 ,  B29C33/38

CPC classification number: B29C33/38 ,  B29C33/424 ,  B29C59/04 ,  B29K2995/0018 ,  B29K2995/0031 ,  B29K2995/0072 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 提供一种能转印微细图案，也能应对大面积转印的转印用塑模及转印用塑模的制造方法。本发明的转印用塑模的特征在于，具备形成为略圆柱状的辊筒体、于辊筒体外周面上形成的表面层(3)、形成于表面层(3)上的微细结构层，表面层(3)由405nm的波长中的折射率n在1.3以上2.0以下，且消光系数k在0.3以下的材料构成。

公开(公告)号：CN104076600A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410290520.0

申请日：2009-01-23

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 铃木胜 ,  三田村哲理 ,  前田雅俊

IPC: G03F7/00

CPC classification number: B29C33/424 ,  B29C33/3842 ,  B29C33/56 ,  B29K2833/04 ,  B29K2905/00 ,  B41C1/05 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/3407 ,  G03F7/0002 ,  H01J2237/281

Abstract: 本发明的无缝塑模的制造方法具备在套筒形状的塑模上形成热反应型抗蚀剂层的工序和通过使用激光对所述热反应型抗蚀剂层进行曝光显影形成微细的塑模图样的工序，其特征是，所述热反应型抗蚀剂层由在上述激光点径的光强度分布中，具有在规定的光强度以上进行反应的特性的热反应型抗蚀剂所构成。