公开(公告)号：CN101416295A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200780011762.X

申请日：2007-04-03

Applicant: 电子线技术院株式会社

Inventor： 金浩燮

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01R31/307 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/0635 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/244 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/281 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/317 ,  H01L22/12 ,  H01L22/14

Abstract: 本发明公开了一种用于利用电子束检查半导体器件的通孔的装置和方法。该装置包括电子束辐射装置、电流测量装置和电流测量装置和数据处理装置。电子束辐射装置照射相应的电子束以检查多个检查对象孔。电流测量装置通过位于孔下面的导电层或通过导电层和单独的检测仪测量电流，该电流通过辐射从电子束辐射装置照射的电子束而产生。数据处理装置处理通过电流测量装置的测量而获得的数据。

公开(公告)号：CN101952093A

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200980103169.7

申请日：2009-01-23

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 铃木胜 ,  三田村哲理 ,  前田雅俊

IPC: B29C33/38

CPC classification number: B29C33/424 ,  B29C33/3842 ,  B29C33/56 ,  B29K2833/04 ,  B29K2905/00 ,  B41C1/05 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/3407 ,  G03F7/0002 ,  H01J2237/281

Abstract: 本发明的无缝塑模的制造方法具备在套筒形状的塑模上形成热反应型抗蚀剂层的工序和通过使用激光对所述热反应型抗蚀剂层进行曝光显影形成微细的塑模图样的工序，其特征是，所述热反应型抗蚀剂层由在上述激光点径的光强度分布中，具有在规定的光强度以上进行反应的特性的热反应型抗蚀剂所构成。

公开(公告)号：CN1820194A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200380110408.4

申请日：2003-10-22

Applicant: 应用材料以色列公司

Inventor： 德罗尔·塞梅斯 ,  帕维尔·阿达梅克

IPC: G01N23/00

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/281 ,  H01J2237/2815 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明公开了一种使用多个检测器(14，40)检测电子的方法和系统，所述方法包括下述步骤：引导原电子束通过一柱(column)以接触被检测对象(晶元)；通过引入强静电场，将由被检测对象(晶元)反射或散射的电子引向多个内部检测器(14，40)，同时至少一些被引导的电子以相对于所述被检测对象(晶元)较小的角度反射或散射；以及接收来自至少一个内部检测器的检测信号。

公开(公告)号：CN104076600A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410290520.0

申请日：2009-01-23

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 铃木胜 ,  三田村哲理 ,  前田雅俊

IPC: G03F7/00

CPC classification number: B29C33/424 ,  B29C33/3842 ,  B29C33/56 ,  B29K2833/04 ,  B29K2905/00 ,  B41C1/05 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/3407 ,  G03F7/0002 ,  H01J2237/281

Abstract: 本发明的无缝塑模的制造方法具备在套筒形状的塑模上形成热反应型抗蚀剂层的工序和通过使用激光对所述热反应型抗蚀剂层进行曝光显影形成微细的塑模图样的工序，其特征是，所述热反应型抗蚀剂层由在上述激光点径的光强度分布中，具有在规定的光强度以上进行反应的特性的热反应型抗蚀剂所构成。

公开(公告)号：CN1820194B

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN200380110408.4

申请日：2003-10-22

Applicant: 应用材料以色列公司

Inventor： 德罗尔·塞梅斯 ,  帕维尔·阿达梅克

IPC: G01N23/00

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/281 ,  H01J2237/2815 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明公开了一种使用多个检测器(14，40)检测电子的方法和系统，所述方法包括下述步骤：引导原电子束通过一柱(column)以接触被检测对象(晶元)；通过引入强静电场，将由被检测对象(晶元)反射或散射的电子引向多个内部检测器(14，40)，同时至少一些被引导的电子以相对于所述被检测对象(晶元)较小的角度反射或散射；以及接收来自至少一个内部检测器的检测信号。