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公开(公告)号:CN112894111B
公开(公告)日:2023-02-17
申请号:CN202110062328.6
申请日:2021-01-18
Applicant: 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
Abstract: 本发明提供了一种高钪含量铝钪合金靶材扩散焊接的方法及制备的焊接组件。所述方法是指在高钪含量(Sc含量≧20at%)铝钪合金靶材表面喷涂Al合金或Cu合金背板,然后在300~400℃的温度下进行热处理,促进AlSc合金靶坯与背板间的扩散,最终获得焊接强度大于70MPa,焊合率大于98%,无裂纹的高Sc含量AlSc合金靶材扩散焊接组件。
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公开(公告)号:CN112708864B
公开(公告)日:2022-07-15
申请号:CN202011535127.5
申请日:2020-12-23
Applicant: 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
Abstract: 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种铝钪合金靶材的制造方法。所述铝钪合金靶材制造方法为:以铝块、粒度为5~50微米的1~4种铝钪中间化合物球形粉为原料,置于氧化铝或氧化锆熔炼坩埚内,经过700~900℃的中频感应熔炼及电磁搅拌,使得铝块完全熔化,而铝钪中间化合物粉体不熔化,最终形成铝钪中间化合物粉体均匀分散其间的高温铝浆料;然后将高温铝浆料快速浇铸到模具内,冷却凝固一次成型得到近成品尺寸靶坯;然后对该靶坯进行机加工得到铝钪合金靶材。
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公开(公告)号:CN112853131A
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN202011619011.X
申请日:2020-12-30
Applicant: 有研亿金新材料有限公司
Abstract: 本发明公开了属于高纯镍合金技术领域的一种高纯度低气体含量镍铂合金的制备方法。所述方法采用纯度≥99.99%的铂粉和纯度≥99.9995%的高纯镍制备,先对铂粉在高温高压下压制成高纯铂块,对高纯镍首先经过第一次熔炼并凝固除气,再将高纯铂块加入高纯镍中进行第二次熔炼得到镍铂合金。通过本方法得到的镍铂合金成分分布均匀,具有较高纯度和较低的气体含量。本发明制备的高纯度低气体含量的镍铂合金,能满足高端微电子用大尺寸高纯镍铂合金靶材的性能要求。
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公开(公告)号:CN109590560B
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN201811525526.6
申请日:2018-12-13
Applicant: 有研亿金新材料有限公司
Abstract: 本发明公开一种铁磁性溅射靶材焊接方法及装置,该方法通过永磁吸盘平台对铁磁性靶材的磁力作用,使靶材、焊料与背板之间均匀结合,提高大面积铁磁性靶材焊接质量,靶材焊合率高,靶材厚度均匀性好。该焊接技术,操作简单,可重复性强,利用磁性平台焊接装置可实现大面积铁磁性靶材的高质量焊接,靶材的溅射性能明显提高。
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公开(公告)号:CN111020508A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201911336200.3
申请日:2019-12-23
Applicant: 有研亿金新材料有限公司
Abstract: 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种高密度细晶粒无择优取向的W靶材及其制造方法。所述W靶材,以0.2~0.7μm的W粉为原料,封装在不锈钢或低碳钢包套内,然后通过热等静压烧结成形。热等静压烧结第一阶段,温度从室温升高至1250~1300℃,压力从0MPa升高至180~200MPa,保温保压4~6h,使得W靶坯料相对密度达到94~96%,平均晶粒尺寸10μm以内;热等静压第一阶段后去除表面包套;热等静压烧结第二阶段,继续升温至1900~2000℃,压力继续升高到190~200MPa,保温保压1~2h。最终制备的W靶材相对密度99.5%以上,平均晶粒尺寸小于20μm。
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公开(公告)号:CN110899716A
公开(公告)日:2020-03-24
申请号:CN201911296936.2
申请日:2019-12-17
Applicant: 有研亿金新材料有限公司
Abstract: 本发明公开了属于粉末冶金技术领域的一种低氧球形Al粉及其制造方法。所述Al粉采用纯度不低于99.9995%的高纯Al锭为原料,通过冷锻工艺加工成圆柱形坯料,其中铸锭变形量>65%,然后制备出Al电极棒,采用等离子旋转电极雾化法制备出低氧球形Al粉。所制备粉末纯度≥99.999%,氧含量<100ppm,球形度可达到90%以上,提高了粉冶金属产品的致密性及力学性能,满足了特种高纯金属合金的使用要求。
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公开(公告)号:CN109590560A
公开(公告)日:2019-04-09
申请号:CN201811525526.6
申请日:2018-12-13
Applicant: 有研亿金新材料有限公司
CPC classification number: B23K1/0008 , B23K3/00 , B23K3/087
Abstract: 本发明公开一种铁磁性溅射靶材焊接方法及装置,该方法通过永磁吸盘平台对铁磁性靶材的磁力作用,使靶材、焊料与背板之间均匀结合,提高大面积铁磁性靶材焊接质量,靶材焊合率高,靶材厚度均匀性好。该焊接技术,操作简单,可重复性强,利用磁性平台焊接装置可实现大面积铁磁性靶材的高质量焊接,靶材的溅射性能明显提高。
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公开(公告)号:CN107904563A
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:CN201711116637.7
申请日:2017-11-13
Applicant: 有研亿金新材料有限公司
CPC classification number: C23C14/3407 , C22F1/183
Abstract: 本发明公开了一种大晶粒低硬度溅射钛环制备方法,属于磁控溅射靶材制造技术领域。步骤包括提供高纯钛锭、第一次热处理、热墩、冷轧、第二次热处理、切割、卷圆、第三次热处理。通过对钛锭进行热处理配合变形获得大晶粒低硬度溅射钛环。所述溅射钛环端口呈正“S”形,所述大晶粒的晶粒度大于200μm,所述低硬度的硬度值低于维氏硬度70。与传统的溅射钛环相比,本发明制备的钛环晶粒尺寸大,溅射环变形抗力小,方便安装和拆卸,减少了安装和拆卸过程中对溅射环表面的损伤,既提高了产品质量又降低了操作难度。
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公开(公告)号:CN113278932B
公开(公告)日:2022-06-17
申请号:CN202011617741.6
申请日:2020-12-30
Applicant: 有研亿金新材料有限公司
Abstract: 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种扩散焊接型AlSc合金靶材的一次成型制备方法。本发明公开的扩散焊接型AlSc合金靶材的制备方法,采用熔炼工艺成型,将配比好的合金熔液直接浇注在焊接面有燕尾槽并加镀层的背板上,另外一面通冷却水冷却,通过背板燕尾槽的结构设计,实现靶材近尺寸成型及与背板扩散焊接一体成型,最终AlSc合金靶材的焊合率≥99%,焊接强度≥10MPa。通过浇注一次成型扩散焊接靶材,减少繁琐的靶面成型及热等静压扩散焊接,大大降低成本,并利用背板焊接面加镀层,防止焊接面生成脆性相,得到焊接强度满足使用要求的产品。
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公开(公告)号:CN110899716B
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN201911296936.2
申请日:2019-12-17
Applicant: 有研亿金新材料有限公司
Abstract: 本发明公开了属于粉末冶金技术领域的一种低氧球形Al粉及其制造方法。所述Al粉采用纯度不低于99.9995%的高纯Al锭为原料,通过冷锻工艺加工成圆柱形坯料,其中铸锭变形量>65%,然后制备出Al电极棒,采用等离子旋转电极雾化法制备出低氧球形Al粉。所制备粉末纯度≥99.999%,氧含量<100ppm,球形度可达到90%以上,提高了粉冶金属产品的致密性及力学性能,满足了特种高纯金属合金的使用要求。
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