公开(公告)号：CN113302478B

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202080008796.9

申请日：2020-01-10

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 卡皮尔·索拉尼 ,  理查德·A·戈奇奥 ,  迈克尔·达内克 ,  基思·威尔斯 ,  基思·汉森

IPC: G01N21/95 ,  G06F18/241 ,  G01N21/88 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/09 ,  G06F18/243

Abstract: 可利用计算缺陷分析系统对包含电子组件的衬底上的缺陷进行分类，该计算缺陷分析系统可以多个阶段实现。例如，第一阶段分类引擎可处理计量数据以产生缺陷的初始分类。第二阶段分类引擎可利用该初始分类、以及制造信息和/或先验缺陷知识，以输出由一或更多个潜在来源造成缺陷的概率。

公开(公告)号：CN113302478A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202080008796.9

申请日：2020-01-10

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 卡皮尔·索拉尼 ,  理查德·A·戈奇奥 ,  迈克尔·达内克 ,  基思·威尔斯 ,  基思·汉森

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08

Abstract: 可利用计算缺陷分析系统对包含电子组件的衬底上的缺陷进行分类，该计算缺陷分析系统可以多个阶段实现。例如，第一阶段分类引擎可处理计量数据以产生缺陷的初始分类。第二阶段分类引擎可利用该初始分类、以及制造信息和/或先验缺陷知识，以输出由一或更多个潜在来源造成缺陷的概率。