用于制造第13族氮化物晶体的方法和设备

    公开(公告)号:CN105452545B

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201480044635.X

    申请日:2014-08-05

    Abstract: 一种方法用于通过助熔剂法制造第13族氮化物晶体。该方法包括:将种晶和含有碱金属或碱土金属和第13族元素的混合熔体置于反应容器中;以及使所述反应容器旋转以搅拌所述混合熔体。所述反应容器包括搅拌所述混合熔体的结构体。将多于一个种晶相对于所述反应容器的中心轴点对称地安置于除该中心轴以外的位置处,使得每个种晶的c平面均与所述反应容器的底部基本平行。将所述结构体相对于所述中心轴点对称地安置于所述反应容器的除中心轴以外的至少部分处。

    第13族氮化物晶体的制造方法和第13族氮化物晶体

    公开(公告)号:CN106103817A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201580014199.6

    申请日:2015-02-19

    Abstract: 在第13族氮化物晶体的制造方法中,将由第13族氮化物晶体制成的晶种布置于包含碱金属和第13族元素的混合熔体中,且向所述混合熔体供应氮气以在所述晶种的主面上生长第13族氮化物晶体。所述晶种通过气相外延而制造。与容纳所述混合熔体的反应容器中的所述混合熔体接触的接触部件的至少一部分由Al2O3制成。在所述晶种和所生长的13族氮化物晶体之间形成具有其波长比所生长的第13族氮化物晶体的光致发光发射峰的波长要长的光致发光发射峰的界面层。

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