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公开(公告)号：CN101469006A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810178688.7
申请日：2008-11-27
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: C07F19/00 , C07C215/14 , C07C213/08 , C23C16/18
CPC classification number: C23C16/18 , C07F3/003 , C23C16/403 , C23C16/404 , C23C16/405 , C23C16/406
Abstract: 本发明公开了三齿β－酮亚胺化物的金属络合物，其一个实施方案由下列结构所示，其中M是如钙、锶、钡、钪、钇、镧、钛、锆、钒、钨、锰、钴、铁、镍、钌、锌、铜、钯、铂、铱、铼、锇的金属；R1选自具有1至10个碳原子的烷基、烷氧基烷基、氟烷基、脂环族基团和芳基；R2选自氢、烷基、烷氧基、脂环族基团和芳基；R3是选自烷基、烷氧基烷基、氟烷基、脂环族基团和芳基的直链或支链基团；R4是具有至少一个手性中心的支链烷基或亚烷基桥；R5－6独立地为选自烷基、氟烷基、脂环族基团、芳基的直链或支链基团，并可以连接形成含有碳、氧或氮原子的环；n是等于金属M的化合价的整数。
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公开(公告)号：CN102041482B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201010521611.2
申请日：2010-10-25
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: C23C16/40 , C23C16/18 , C23C16/44 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45553 , C07F7/003 , C23C16/405
Abstract: 本发明涉及含第4族金属的膜的沉积方法，尤其是一种利用通式M(OR1)(OR2)(R3C(O)C(R4)C(O)XR5y)2的前体通过原子层沉积形成含金属膜的方法，其中，M是第4族金属；R1和R2可以相同或不同，选自直链或支链C1-10烷基和C6-12芳基；R3可选自直链或支链C1-10烷基和C6-12芳基，优选为C1-3烷基；R4是选自氢、C1-10烷基和C6-12芳基，优选为氢；R5是选自直链或支链C1-10烷基和C6-12芳基，优选为甲基或乙基；X＝O或N，其中当X＝O时，y＝1且R1，2和5是相同的，当X＝N时，y＝2且每个R5可以相同或不同。
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公开(公告)号：CN101074203B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200710109792.6
申请日：2007-04-25
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: C07C251/04 , C07F3/00 , C07F15/06 , C07F15/04 , C07F7/28 , C07F7/00 , C07F9/00 , C07F5/00 , C23C16/18
Abstract: 本发明涉及多种含金属多齿β-酮亚胺盐络合物，其中一个实施方案由以下结构表示：其中M为例如钙、锶、钡、钪、钇、镧、钛、锆、钒、钨、锰、钴、铁、镍、钌、锌、铜、钯、铂、铱、铼和锇的金属，其中R1选自具有1-10个碳原子的烷基、氟代烷基、环脂基和芳基；R2选自氢、烷基、烷氧基、环脂基和芳基；R3为直链或支链的并选自烷基、氟代烷基、环脂基和芳基；R4为亚烷基桥；R5-6每个为直链或支链的并选自烷基、氟代烷基、环脂基、芳基，并且它们可以连接形成含有碳、氧或氮原子的环；n为等于金属M的化合价的整数。
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公开(公告)号：CN102040620B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201010521551.4
申请日：2010-10-25
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: C23C16/18 , C07F7/003 , C23C16/405 , C23C16/45553 , Y02P20/582
Abstract: 本发明涉及用于含金属膜的第4族金属前体，特别是由以下通式表示的第4族金属前体：M(OR1)2(R2C(O)C(R3)C(O)OR1)2，其中M是第4族金属Ti、Zr或Hf；其中R1选自下组：直链或支链C1-10烷基和C6-12芳基，优选甲基、乙基或正丙基；R2选自下组：支链C3-10烷基，优选异丙基、叔丁基、仲丁基、异丁基或叔戊基，和C6-12芳基；R3选自下组：氢、C1-10烷基和C6-12芳基，优选氢。在本发明的优选实施方式中，该前体是液体或者熔点低于60℃的固体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101469006B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN200810178688.7
申请日：2008-11-27
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: C07F19/00 , C07C215/14 , C07C213/08 , C23C16/18
CPC classification number: C23C16/18 , C07F3/003 , C23C16/403 , C23C16/404 , C23C16/405 , C23C16/406
Abstract: 本发明公开了三齿β-酮亚胺化物的金属络合物，其一个实施方案由下列结构所示，其中M是如钙、锶、钡、钪、钇、镧、钛、锆、钒、钨、锰、钴、铁、镍、钌、锌、铜、钯、铂、铱、铼、锇的金属；R1选自具有1至10个碳原子的烷基、烷氧基烷基、氟烷基、脂环族基团和芳基；R2选自氢、烷基、烷氧基、脂环族基团和芳基；R3是选自烷基、烷氧基烷基、氟烷基、脂环族基团和芳基的直链或支链基团；R4是具有至少一个手性中心的支链烷基或亚烷基桥；R5-6独立地为选自烷基、氟烷基、脂环族基团、芳基的直链或支链基团，并可以连接形成含有碳、氧或氮原子的环；n是等于金属M的化合价的整数。
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公开(公告)号：CN101469005A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810176206.4
申请日：2008-11-14
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: C07F1/005 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明涉及通过原子层沉积法在扩散层上沉积金属膜以及用于此的有机金属前体络合物。具体地，其公开了含有金属和含吸电子基团的配体的有机金属前体络合物。该络合物适合于在全钝化扩散阻隔层上和沉积在扩散阻隔层之上的金属层上经历放热吸附，和在扩散阻隔层和金属层上经历放热还原。该金属优选为铜。也公开了该络合物在原子层沉积法中的应用。
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公开(公告)号：CN101074203A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200710109792.6
申请日：2007-04-25
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: C07C251/04 , C07F3/00 , C07F15/06 , C07F15/04 , C07F7/28 , C07F7/00 , C07F9/00 , C07F5/00 , C23C16/18
Abstract: 本发明涉及多种含金属多齿β－酮亚胺盐络合物，其中一个实施方案由(a)结构表示，其中M为例如钙、锶、钡、钪、钇、镧、钛、锆、钒、钨、锰、钴、铁、镍、钌、锌、铜、钯、铂、铱、铼和锇的金属，其中R1选自具有1－10个碳原子的烷基、氟代烷基、环脂基和芳基；R2选自氢、烷基、烷氧基、环脂基和芳基；R3为直链或支链的并选自烷基、氟代烷基、环脂基和芳基；R4为亚烷基桥；R5－6每个为直链或支链的并选自烷基、氟代烷基、环脂基、芳基，并且它们可以连接形成含有碳、氧或氮原子的环；n为等于金属M的化合价的整数。
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公开(公告)号：CN102041482A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010521611.2
申请日：2010-10-25
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: C23C16/40 , C23C16/18 , C23C16/44 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45553 , C07F7/003 , C23C16/405
Abstract: 本发明涉及含第4族金属的膜的沉积方法，尤其是一种利用通式M(OR1)(OR2)(R3C(O)C(R4)C(O)XR5y)2的前体通过原子层沉积形成含金属膜的方法，其中，M是第4族金属；R1和R2可以相同或不同，选自直链或支链C1-10烷基和C6-12芳基；R3可选自直链或支链C1-10烷基和C6-12芳基，优选为C1-3烷基；R4是选自氢、C1-10烷基和C6-12芳基，优选为氢；R5是选自直链或支链C1-10烷基和C6-12芳基，优选为甲基或乙基；X＝O或N，其中当X＝O时，y＝1且R1，2和5是相同的，当X＝N时，y＝2且每个R5可以相同或不同。
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公开(公告)号：CN102040620A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010521551.4
申请日：2010-10-25
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: C23C16/18 , C07F7/003 , C23C16/405 , C23C16/45553 , Y02P20/582
Abstract: 本发明涉及用于含金属膜的第4族金属前体，特别是由以下通式表示的第4族金属前体：M(OR1)2(R2C(O)C(R3)C(O)OR1)2，其中M是第4族金属Ti、Zr或Hf；其中R1选自下组：直链或支链C1-10烷基和C6-12芳基，优选甲基、乙基或正丙基；R2选自下组：支链C3-10烷基，优选异丙基、叔丁基、仲丁基、异丁基或叔戊基，和C6-12芳基；R3选自下组：氢、C1-10烷基和C6-12芳基，优选氢。在本发明的优选实施方式中，该前体是液体或者熔点低于60℃的固体。
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