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公开(公告)号：CN119002190A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411272089.7
申请日：2024-09-11
Applicant: 湖南大学 , 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种多电子束光刻装备图像发生系统及其制造方法。其中电子束光刻装备图像发生系统为核心部件，其能够将入射在孔中电子束进行偏转，将聚焦后的电子束流偏转到不同位置，达到在一个写场内不同点曝光的目的；通过控制芯片，利用传输线，将不同的电压加至图像发生系统顶端金属电极上；顶端电极与侧壁电极连通，通过调整加在顶端电极的电压调节侧壁电极电压以控制电场强度，实现对入射电子束的偏转和投影等功能，最终能将束斑投影至写场中的任一位置。
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公开(公告)号：CN118630109A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410839895.1
申请日：2024-06-26
Applicant: 湖南大学 , 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
Abstract: 本发明公开了一种基于紫外固化薄膜的金属转移工艺及其应用。提供硬质硅基晶圆衬底，在光刻胶薄膜上曝光出设计的结构；在光刻胶显影液中进行显影，用氮气吹干，得到设计的光刻胶薄膜结构；在有设计结构的光刻胶薄膜结构表面进行金属化；在去除光刻胶溶液中浸泡，得到金属结构；将紫外固化树脂旋涂或滴涂在设计的金属结构上；使用LED紫外灯辐照金属结构上的液态紫外固化树脂原位固化，在液态的紫外固化树脂固化后，得到干净的紫外固化薄膜；将紫外固化薄膜进行剥离，得到嵌入式金属结构的紫外固化薄膜柔性衬底。本发明增强了金属结构与柔性衬底的界面稳定性，解决了金属结构与柔性衬底机械性能不匹配的问题以及转移过程中化学试剂的污染问题。
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公开(公告)号：CN118579718A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410665884.6
申请日：2024-05-27
Applicant: 湖南大学 , 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
Abstract: 本发明公开了一种应用于多电子束光刻装备的电子光学系统及制造方法，包括高压ASIC控制芯片、专用MEMS微孔阵列单元及传输线三个部分。其中专用MEMS微孔阵列单元作为核心部件，能够将入射在表面的电子束进行分束，大幅面扩展束流数量；高压ASIC控制芯片，利用传输线，将不同的电压加至专用MEMS微孔阵列旁边的金属膜层上；通过调整正/背面各金属/绝缘层之间的电压差，实现对入射电子束的聚焦、收束、偏转和投影等功能，最终能将束斑尺寸缩放至亚10纳米尺度，并能通过控制膜层数量灵活调整焦深，有利于电子光学系统的小型化。
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公开(公告)号：CN115951433B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202211739484.2
申请日：2022-12-30
Applicant: 湖南大学 , 湖南大学深圳研究院 , 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
Abstract: 本发明公开了一种大面积消色差超构透镜的制备方法，包括以下步骤：旋涂抗蚀剂，即在选择好的介质衬底上进行抗蚀剂的旋涂，并进行抗蚀剂的烘烤以确保溶液全部排出，仅留下溶质，所述抗蚀剂为正型抗蚀剂包括聚甲基丙烯酸甲酯和ZEP。本发明大面积消色差超构透镜的制备方法可以更好的对透镜的波前进行变换，在进行结构的匹配时格式得到更小的匹配误差、更优的消色差效果以及更大面积的设计，同时，采用该制备流程也可以实现具有高深宽比和高陡直度的结构的制备。
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公开(公告)号：CN118466024A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410657693.5
申请日：2024-05-26
Applicant: 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
Abstract: 本发明公开了一种车载AR‑HUD设备，包含基于折衍混合的车载HUD二维波导、光机PGU、挡风玻璃、驱动模块、环境感知模块；所述基于折衍混合的车载HUD二维波导、挡风玻璃与光机PGU为一体化结构；基于折衍混合的车载HUD二维波导与光机PGU连接，驱动模块与环境感知模块均与光机PGU连接；基于折衍混合的车载HUD二维波导，包含耦入端口、第一扩瞳区域、第二扩瞳区域、耦出端口、补偿区域和波导基底六个功能部分；本发明利用分光面阵列作为波导耦出端，利用衍射光栅对阵列波导进行第二个维度扩瞳，可以大幅度降低波导的工艺难度。本发明充分利用了阵列波导与衍射光栅的优势，并可以有效降低HUD成本，推动以波导为基础的HUD发展。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118324089A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410277979.0
申请日：2024-03-12
Applicant: 湖南大学 , 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
IPC: B81C1/00 , H01L21/02 , B82Y40/00 , C01B32/186 , C01B32/194
Abstract: 本发明公开了一种功能性纳米薄膜全干法转移方法，所述干法转移方法中的关键在于采用自组装单分子层，分别修饰施主、受主衬底表面，将其与功能性纳米薄膜之间的粘附力大小进行精确调控，从而可实现晶圆级尺寸、极端厚度纳米薄膜材料与同质/异质衬底之间的“超洁净”、共性形和高质量集成。本发明避免了功能性纳米薄膜材料在传统转移方法中多步湿法工艺的介入，能有效抑制纳米薄膜在刻蚀和冲洗等溶液过程中的质量衰退问题，可提升3D异质/异构器件的界面质量和性能。
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公开(公告)号：CN118131382A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410555009.2
申请日：2024-05-07
Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
Abstract: 本申请涉及一种单片集成式滤光片器件及其制造设备系统，其中，所述单片集成式滤光片器件包括：透明基底，以及设于透明基底上的微镜片阵列；透明基底设计为单片集成滤光片结构；微镜片阵列包括多个排列在所述透明基底上的微镜片，每个微镜片对应于滤光片上的数据点的像素块，包括硬质透明衬底以及沉积在硬质透明衬底上的多层膜系，多层膜系构成Fabry‑Perot谐振腔；微镜片阵列中的微镜片按照透射峰值波长顺序排列；微镜片阵列的硬质透明衬底一侧固定拼装在透明基底上，形成单片集成式滤光片阵列；该技术方案，有利于单片集成式滤光片器件的大规模生产，降低了制造难度和成本，可以精准控制干涉层的厚度，提升高光谱探测的精准度。
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公开(公告)号：CN116165863B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202211739310.6
申请日：2022-12-30
Applicant: 湖南大学 , 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
Abstract: 本发明公开了一种基于超表面光场多维度复用全息的嵌套加密方法，所述加密方法包括以下步骤：用于实现自旋、轨道角动量和偏振矢量复用的全息超表面是由不同椭圆形横截面的二氧化钛椭圆柱阵列组成。本发明基于超表面光场多维度复用全息的嵌套加密方法利用光场的多个维度协同嵌套加密，单次或者未按顺序解密无法获取有用信息，加密的安全性极强。与传统的单维度或者多个维度叠加复用加密技术相比，设计自由度更高，安全性更强，可广泛的应用于信息加密等领域，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN117631098A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311722460.0
申请日：2023-12-14
Applicant: 湖南大学 , 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
Abstract: 本发明公开了一种全斯托克斯偏振探测的超构透镜及其全斯托克斯参量恢复方法，超构透镜包括超构透镜衬底和纳米结构单元；纳米结构单元交错排布或者随机交错排布在超构透镜衬底上；超构透镜被配置为：复色光光源照射所述超构透镜后，多个纳米结构单元将不同偏振态的偏振光聚焦到不同位置，在聚焦平面形成不同的聚焦焦点；设计方法包括超构透镜的交错排布设计或者随机交错排布设计步骤及全斯托克斯参量恢复步骤。偏振恢复方法能够针对交错排布或随机交错排布来进行，对任意排布的斯托克斯参量超构透镜进行偏振恢复，提高了成像质量，便于图片的后处理，其易于编程实现，可以在任意波长下使用，如紫外、可见光、红外等，应用场景广泛、可拓展性强。
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公开(公告)号：CN117406404A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311340717.6
申请日：2023-10-17
Applicant: 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
IPC: G02B13/14
Abstract: 本发明涉及光学工程技术领域，提供了一种折超红外偏振成像系统，包括一片常规镜片和一片超表面镜片；所述常规镜片、超表面镜片间隔设置于探测器前侧；外界反射光线依次经过所述常规镜片、超表面镜片传播，分四个区域在探测器的后侧表面汇聚，同时生成偏振相位延迟量为π/4的四幅偏振图像。所提供的折超红外偏振成像系统，通过使用超表面镜片，并且将入射光线分成四个象限进行显示，每个象限偏振角度不同，实现了特殊环境下的红外成像，实现了较好的红外成像效果，并简化了光学系统的复杂程度，不仅便于生产制造和调节，而且节省了用于红外光学系统的价格昂贵的透射材料。
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