基于MEMS技术的通讯用集总参数环行器及其制作方法

    公开(公告)号:CN114156621B

    公开(公告)日:2022-04-19

    申请号:CN202210115351.1

    申请日:2022-02-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS技术的通讯用集总参数环行器及其制作方法,属于微波元器件技术领域,包括硅主基片,在所述硅主基片下方设置有硅副基片,在硅主基片上方设置有至少两层聚酰亚胺薄膜;在所述硅主基片和硅副基片的上表面和下表面均制作有电路图案,所述硅主基片与硅副基片通过金属过孔和键合的方式互联;每层聚酰亚胺薄膜上也制作有电路图案,并通过聚酰亚胺薄膜上的金属化过孔与下层的电路互联;本发明的利用MEMS工艺技术制作的集总参数微带环行器,尺寸小至3×3mm,具有工艺成熟,速度快、成本低、效率高且一致性好等优点,适合大批量生产,同时可以有效减小铁氧体和器件的尺寸,为更小的如2×2mm、1×1mm器件的打下了工艺基础。

    基于MEMS技术的通讯用集总参数环行器及其制作方法

    公开(公告)号:CN114156621A

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202210115351.1

    申请日:2022-02-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS技术的通讯用集总参数环行器及其制作方法,属于微波元器件技术领域,包括硅主基片,在所述硅主基片下方设置有硅副基片,在硅主基片上方设置有至少两层聚酰亚胺薄膜;在所述硅主基片和硅副基片的上表面和下表面均制作有电路图案,所述硅主基片与硅副基片通过金属过孔和键合的方式互联;每层聚酰亚胺薄膜上也制作有电路图案,并通过聚酰亚胺薄膜上的金属化过孔与下层的电路互联;本发明的利用MEMS工艺技术制作的集总参数微带环行器,尺寸小至3×3mm,具有工艺成熟,速度快、成本低、效率高且一致性好等优点,适合大批量生产,同时可以有效减小铁氧体和器件的尺寸,为更小的如2×2mm、1×1mm器件的打下了工艺基础。

    电子罗盘传感器误差及安装误差快速标定与补偿方法

    公开(公告)号:CN115597571B

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211611052.3

    申请日:2022-12-15

    Abstract: 本发明公开了一种电子罗盘传感器误差及安装误差快速标定与补偿方法,涉及电子罗盘的误差补偿领域,其方法为:先选择一电子罗盘,得到MEMS三轴加速度计在每个位置处x、y、z轴上的理论值和初始测量值、和x、y轴上多个样本点的初始磁场强度,送入卡尔曼滤波器;再求解MEMS三轴加速度计的误差补偿参数矩阵、以及磁场数据的椭圆拟合参数,分别对MEMS三轴加速度计和磁传感器数据进行补偿,本发明不仅能减小数据输出噪声,还能有效地补偿MEMS加速度计自身零偏、刻度因子、非正交及安装误差,并且对外界的磁场干扰进行补偿。精度较高,操作简单,易于实现,具有重要的工程实用价值。

    电子罗盘传感器温度误差一体化标定与补偿方法

    公开(公告)号:CN115727874A

    公开(公告)日:2023-03-03

    申请号:CN202211426042.2

    申请日:2022-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种电子罗盘传感器温度误差一体化标定与补偿方法,包括将电子罗盘置于温箱内六个测试位上;分别求解加速度传感器在三轴上的正向校准参数、反向校准参数和磁传感器在三轴上的校准参数;再将电子罗盘置于工作环境中,根据当前温度、当前的测量值,利用校准参数进行补偿。本发明通过6个特殊位置等效形成变化的环境磁场和重力场作用在电子罗盘的传感器上,依据不同环境磁场和重力场作用时传感器敏感轴测量值随温度的变化特性,同时完成加速度传感器和磁传感器温度补偿参数计算,直接对电子罗盘系统的传感器进行温度补偿校准,极大的提升了温度补偿准确性和可靠性,简化了校准步骤,满足批量化生产时电子罗盘传感器温度误差标定需要。

    基于单霍尔探头的宽量程强磁场测量系统及其测量方法

    公开(公告)号:CN115356667B

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211298871.7

    申请日:2022-10-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于单霍尔探头的宽量程强磁场测量系统及测量方法,包括磁感知探头、信号调理和模拟转换子单元、控制与校准子单元和探头激励子单元,磁感知探头输入端和输出端分别连接探头激励子单元和信号调理和模拟转换子单元,控制与校准子单元与信号调理和模拟转换子单元、和探头激励子单元双向通信。本发明仅采用单根磁感知探头,采用两种信号调理电路搭配2片ADC协同完成磁信号采集,在保证磁场采集精度的前提下能实现自动量程检测,最终实现了20T宽量程范围的多段磁场高精度磁场检测功能。相较于传统多探头分量程范围实现宽量程范围磁场信号采集,本发明具有操控简单方便、实用性强、校准效率高等特点。

    电子罗盘自适应方位角矫正方法

    公开(公告)号:CN117537792B

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202410006208.8

    申请日:2024-01-03

    Abstract: 本发明公开了一种电子罗盘自适应方位角矫正方法,包括电子罗盘在校准地对三轴磁传感器和三轴加速度计进行温度校准、正交性校准、倾角解算以及倾斜补偿校准;在校准地搭建一标准磁场环境进行参数计算,包括对校准地的环境磁场校准、构造电子罗盘的方位角计算式α、磁北锁定并解算此时的方位角标记为到α0;在应用场所对电子罗盘进行自适应校准。本发明既能实现对磁干扰进行识别并实现自动干扰剔除,也能不依靠同时移动罗盘和安装载体的校准方式来提升校准精度,降低环境磁场校准时对安装载体移动的要求,达到对罗盘输出方位角矫正的目的,增加了罗盘在应用端的适应能力。使用了本方法后,电子罗盘校准得到了简化,且方位角精度得到了提升。

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