公开(公告)号：CN103563067A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201280019784.1

申请日：2012-04-23

Applicant: ATI科技无限责任公司

Inventor： 罗登·托帕奇奥 ,  加布里埃尔·翁

IPC: H01L21/71 ,  H01L23/488

CPC classification number: H01L24/17 ,  H01L23/562 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/33 ,  H01L2224/0233 ,  H01L2224/02331 ,  H01L2224/02375 ,  H01L2224/02381 ,  H01L2224/0239 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05005 ,  H01L2224/05008 ,  H01L2224/05012 ,  H01L2224/05013 ,  H01L2224/05014 ,  H01L2224/05015 ,  H01L2224/05022 ,  H01L2224/05552 ,  H01L2224/05553 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/05555 ,  H01L2224/05559 ,  H01L2224/05569 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05582 ,  H01L2224/05583 ,  H01L2224/1132 ,  H01L2224/13007 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/81815 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01052 ,  H01L2924/01068 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/3512 ,  H01L2924/35121 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13599 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05099 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/29599 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01031 ,  H01L2924/3025

Abstract: 公开一种用于半导体管芯的布线层。所述布线层包括把集成电路接合焊盘与UBM互连的迹线。所述布线层在介电材料层上形成。所述布线层包括设置在所述UBM下以吸收来自附接到所述UMB的焊料凸块的应力的导电迹线。所述UBM下的迹线保护靠近所述焊料凸块的所述下面的介电材料的部分免受所述应力影响。

公开(公告)号：CN103563067B

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201280019784.1

申请日：2012-04-23

Applicant: ATI科技无限责任公司

Inventor： 罗登·托帕奇奥 ,  加布里埃尔·翁

IPC: H01L21/71 ,  H01L23/488

CPC classification number: H01L24/17 ,  H01L23/562 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/33 ,  H01L2224/0233 ,  H01L2224/02331 ,  H01L2224/02375 ,  H01L2224/02381 ,  H01L2224/0239 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05005 ,  H01L2224/05008 ,  H01L2224/05012 ,  H01L2224/05013 ,  H01L2224/05014 ,  H01L2224/05015 ,  H01L2224/05022 ,  H01L2224/05552 ,  H01L2224/05553 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/05555 ,  H01L2224/05559 ,  H01L2224/05569 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05582 ,  H01L2224/05583 ,  H01L2224/1132 ,  H01L2224/13007 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/81815 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01052 ,  H01L2924/01068 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/3512 ,  H01L2924/35121 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13599 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05099 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/29599 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01031

Abstract: 公开一种用于半导体管芯的布线层。所述布线层包括把集成电路接合焊盘与UBM互连的迹线。所述布线层在介电材料层上形成。所述布线层包括设置在所述UBM下以吸收来自附接到所述UMB的焊料凸块的应力的导电迹线。所述UBM下的迹线保护靠近所述焊料凸块的所述下面的介电材料的部分免受所述应力影响。