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公开(公告)号:CN111712898B
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN201880089189.2
申请日:2018-12-14
Applicant: 阿尔卡姆公司
Inventor: 马蒂亚斯·法杰
IPC: H01J1/13 , H01J1/16 , H01J3/02 , B33Y30/00 , B29C64/153
Abstract: 提供一种用于产生电子束的电子束源,该电子束源包括阴极、阳极和用于调节电子束电流的栅极。阴极具有基部和具有侧壁和顶表面的突起。基部表面和顶表面基本上是平坦的。基部表面和顶表面彼此以预定距离布置。基部大于突起。电子束源还包括控制单元,用于改变施加到栅极的电压,以在至少第一斑点大小和第二斑点大小之间切换电子束在目标表面上的斑点大小,第一斑点大小对应于仅从阴极的顶表面的发射,第二斑点大小对应于从阴极的顶表面和基部表面的发射。
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公开(公告)号:CN115428115A
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202180025621.3
申请日:2021-04-14
Applicant: 电化株式会社
Abstract: 本公开文本涉及的电子源具备:由具有电子释放特性的第一材料构成的柱状部;和由功函数比第一材料大的第二材料构成的筒状部,所述筒状部以包围柱状部的方式配置,其中,筒状部形成有沿从一个端面向另一个端面的方向延伸且具有大致圆形的截面形状的孔,柱状部具有大致三角形或大致四边形的截面形状,并且以抵接于孔的内面的状态被固定于筒状部。
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公开(公告)号:CN110235217B
公开(公告)日:2021-05-11
申请号:CN201780085216.4
申请日:2017-12-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种即使在使用六硼化物的情况下,也能够长时间稳定地使用的电子源和使用它的电子束装置。电子源包括:金属制的灯丝(103);金属管(112),其被固定在灯丝(103)上,在外周具有以包围中心轴的方式配置在至少2轴方向上的多个凹部(117);和柱状的六硼化物的针头(104),其发射电子,从金属管(112)的内部向灯丝(103)的相反一侧突出地配置,且与金属管(112)的多个凹部(117)各自的底部接触。
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公开(公告)号:CN111712898A
公开(公告)日:2020-09-25
申请号:CN201880089189.2
申请日:2018-12-14
Applicant: 阿尔卡姆公司
Inventor: 马蒂亚斯·法杰
IPC: H01J1/13 , H01J1/16 , H01J3/02 , B33Y30/00 , B29C64/153
Abstract: 提供一种用于产生电子束的电子束源,该电子束源包括阴极、阳极和用于调节电子束电流的栅极。阴极具有基部和具有侧壁和顶表面的突起。基部表面和顶表面基本上是平坦的。基部表面和顶表面彼此以预定距离布置。基部大于突起。电子束源还包括控制单元,用于改变施加到栅极的电压,以在至少第一斑点大小和第二斑点大小之间切换电子束在目标表面上的斑点大小,第一斑点大小对应于仅从阴极的顶表面的发射,第二斑点大小对应于从阴极的顶表面和基部表面的发射。
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公开(公告)号:CN104704601B
公开(公告)日:2017-06-23
申请号:CN201280076337.X
申请日:2012-10-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/065 , C25F3/26 , H01J1/16 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J9/042 , H01J37/06 , H01J37/073 , H01J37/285 , H01J2237/063 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341
Abstract: 在以往的基片加工方法中,无法指定前端形状的尺寸来进行制作,无法得到具有所期望的任意径的基片。此外,基片中可能附着杂质。利用基片前端直径与正在加工基片前端时的施加电压或所围住的时间的相互关系,控制得到所期望前端直径的施加电压,来加工基片。由此,能够在钨单晶细丝尖锐化后的前端直径为0.1μm以上2.0μm以下的范围,制造具有所期望的任意径的基片。
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公开(公告)号:CN104934283A
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201510312798.8
申请日:2010-01-27
Applicant: CXR有限公司
Abstract: 一种用于X射线扫描器的控制系统,该系统包括:输入,该输入被布置为接收用于识别要激活多个电子发射器中的哪一个的输入信号,并且产生多个输出,每个输出被布置为控制所述发射器之一的操作,其中每个输出能够处于:被布置为激活其相应的发射器的第一状态、被布置为去激活所述发射器的第二状态、或者将所述发射器置于浮置状态的第三状态。
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公开(公告)号:CN1216161A
公开(公告)日:1999-05-05
申请号:CN98800003.2
申请日:1998-01-05
Applicant: 摩托罗拉公司
Inventor: 罗德尔夫·鲁瑟若 , 罗伯特·T·史密斯 , 劳伦斯·N·德沃斯基
CPC classification number: H01J1/3042 , H01J31/127 , H01J2201/319
Abstract: 电荷耗散场发射器件(200,300,400)包括一个支撑衬底(210,310,410),一个形成其上的阴极(215,315,415),一层形成在阴极(215,315,415)上的具有发射阱(260,360,460)的介质层(240,340,440),以及一个暴露于电荷收集面(248,348,448,449)的电荷耗散阱(252,352,452,453);为了流走电荷耗散场发射器件(200,300,400)工作过程中产生的气态正电荷,在每个发射阱(260,360,460)中做一个电子发射极(270,370,470),并且与介质层(240,340,440)隔离的阳极(280,380,480)用来收集电子发射极(270,370,470)发射的电子。
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公开(公告)号:CN115985735B
公开(公告)日:2025-01-28
申请号:CN202211663005.3
申请日:2022-12-23
Applicant: 核工业理化工程研究院
Abstract: 本发明公开了一种蚊香型灯丝结构,灯丝结构包括灯丝固定底座和灯丝,所述灯丝固定底座顶面形成放置槽,灯丝设置于放置槽内,且通过灯丝夹紧块固定;所述灯丝包括发射盘和与发射盘连接的两个支撑腿,两个支撑腿处于同一水平面且两者之间夹角为非锐角。本发明灯丝结构特殊,灯丝支撑腿处于同一水平面且呈90°~150°,有效简化了灯丝的加工工艺和结构,同时有利于实现灯丝的可靠锁紧;通过灯丝夹紧块与灯丝固定底座的夹紧,以及灯丝夹紧块上特殊结构的夹紧槽,实现灯丝的可靠锁紧,与其他灯丝结构及锁紧方法相比,本发明同时实现了灯丝结构简便与锁紧可靠两个特点。
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公开(公告)号:CN117912916A
公开(公告)日:2024-04-19
申请号:CN202410084068.6
申请日:2024-01-19
Applicant: 北京航空航天大学
Abstract: 本发明涉及一种直接加热型六硼化镧热阴极结构及其制作方法,包括若干立方六硼化镧长块,所述立方六硼化镧长块依次通过钼电极串联连通,所述立方六硼化镧长块为偶数块,并排状呈平面分布,所述立方六硼化镧长块与钼电极之间填充石墨片,所述立方六硼化镧长块之间由氮化硼绝缘件相隔,本发明的直接加热型六硼化镧热阴极结构,电流通过第一个六硼化镧块,经过石墨片到钼的电极,到第二根六硼化镧块,以此类推,电流以串联的方式通过所有六硼化镧块,该结构电阻大,显著提高了热效率。该结构体空间结构紧凑,单位空间内的电子产生率高,有效提高了电子密度。六硼化镧块通过钼的电极实现180°拐弯,避免了六硼化镧在拐弯处断裂的问题。
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公开(公告)号:CN109390195B
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN201811441984.1
申请日:2018-11-29
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种亚微米结构顶层含钪阴极及其制备方法,属于稀土难熔金属热阴极材料技术领域。采用溶胶凝胶加氢气还原的方法制备亚微米级氧化钪掺杂难熔金属粉末,经过压制微波烧结得到亚微米结构顶层含钪难熔金属基体;对难熔金属粉末进行压制烧结制得难熔金属阴极基体,将阴极基体浸渍阴极发射活性盐并进行退火处理得到基底难熔金属阴极,最后通过焊接的方式如激光焊、钎焊等制备亚微米结构顶层含钪阴极。本发明制得的亚微米结构顶层含钪阴极具有发射电流密度大,发射均匀性好的特点,经充分激活后,在950℃工作温度下,最高发射电流密度可达100A/cm2,发射斜率达1.41以上。
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