公开(公告)号：US07313312B2

公开(公告)日：2007-12-25

申请号：US11056870

申请日：2005-02-11

Applicant: Ronald L. Kimball ,  Robert A Knowlton ,  Joseph E McCarthy ,  Ji Wang ,  Donnell T. Walton ,  Luis A. Zenteno

Inventor： Ronald L. Kimball ,  Robert A Knowlton ,  Joseph E McCarthy ,  Ji Wang ,  Donnell T. Walton ,  Luis A. Zenteno

IPC: G02B6/00

CPC classification number: C03B37/01413 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/14 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/04 ,  C03B2203/10 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/30 ,  C03B2207/85 ,  C03B2207/90 ,  C03C13/046 ,  G02B6/024 ,  G02B6/03611 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03694 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/1618

Abstract: According to one example of the invention an optical fiber comprises: (i) silica based, rare earth doped core having a first index of refraction n1; (ii) at least one silica based cladding surrounding the core and having a second index of refraction n2, such that n1>n2; wherein at least one of the core or cladding is doped with Al2O3, such that the ratio of max wt % to min wt % of Al2O3 concentration is less than 2:1.

Abstract translation: 根据本发明的一个示例，光纤包括：（i）具有第一折射率n 1的二氧化硅基稀土掺杂的核; （ii）至少一个二氧化硅基包层，其围绕所述芯并具有第二折射率n 2 2，使得n 1/2 2 n 2 ; 其中所述芯或包层中的至少一个掺杂有Al 2 O 3 3，使得Al 2 O 3的最大重量％与最小重量％的比例< / 3 3 3浓度小于2:1。

公开(公告)号：US20070105704A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：US11583619

申请日：2006-10-19

Applicant: Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

Inventor： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

IPC: C03C3/06 ,  C03B8/00 ,  C03B19/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/12 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23

Abstract: What is disclosed includes OD-doped synthetic silica glass capable of being used in optical elements for use in lithography below about 300 nm. OD-doped synthetic silica glass was found to have significantly lower polarization-induced birefringence value than non-OD-doped silica glass with comparable concentration of OH. Also disclosed are processes for making OD-doped synthetic silica glasses, optical member comprising such glasses, and lithographic systems comprising such optical member. The glass is particularly suitable for immersion lithographic systems due to the exceptionally low polarization-induced birefringence values at about 193 nm.

Abstract translation: 公开的内容包括能够用于低于约300nm的光刻中的光学元件的OD掺杂合成石英玻璃。 发现OD掺杂的合成二氧化硅玻璃具有比具有相当浓度的OH的非OD掺杂的石英玻璃具有显着更低的偏振诱导双折射值。 还公开了制造掺杂OD的合成二氧化硅玻璃，包含这种玻璃的光学构件以及包括这种光学构件的光刻系统的方法。 由于在约193nm处极度低的偏振诱发双折射值，该玻璃特别适用于浸没式光刻系统。

公开(公告)号：US07142756B2

公开(公告)日：2006-11-28

申请号：US10123072

申请日：2002-04-12

Applicant: Emilia Anderson ,  Wesley A. King ,  Yoel Fink ,  Lori Pressman

Inventor： Emilia Anderson ,  Wesley A. King ,  Yoel Fink ,  Lori Pressman

IPC: G02B6/02 ,  G02B6/20 ,  G02B6/00

CPC classification number: G02B6/021 ,  B29D11/00721 ,  C03B37/027 ,  C03B37/02718 ,  C03B37/029 ,  C03B37/0756 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2201/60 ,  C03B2201/82 ,  C03B2201/86 ,  C03B2203/14 ,  C03B2203/16 ,  C03B2203/18 ,  C03B2203/223 ,  C03B2203/225 ,  C03B2203/42 ,  C03B2205/08 ,  C03B2205/09 ,  C03B2205/10 ,  C03B2205/40 ,  C03B2205/72 ,  C03C3/064 ,  C03C3/07 ,  C03C3/072 ,  C03C3/102 ,  C03C3/122 ,  C03C3/142 ,  C03C3/16 ,  C03C3/321 ,  C03C3/326 ,  C03C13/008 ,  C03C13/041 ,  C03C13/042 ,  C03C13/043 ,  C03C13/044 ,  C03C13/046 ,  C03C13/048 ,  C03C25/105 ,  C03C25/1061 ,  G02B6/02 ,  G02B6/02052 ,  G02B6/02066 ,  G02B6/02123 ,  G02B6/02261 ,  G02B6/023 ,  G02B6/02304 ,  G02B6/03694 ,  G02B6/126 ,  G02B6/29319 ,  G02B6/29356 ,  G02B6/30 ,  G02B6/305 ,  G02B6/42 ,  G02B6/4206 ,  G02B2006/12116 ,  G02B2006/12195 ,  G02F1/0115 ,  G02F1/365 ,  H01S3/06729

Abstract: In one aspect, the invention features a fiber waveguide having a waveguide axis, including a first portion extending along the waveguide axis, and a second portion different from the first portion extending along the waveguide axis surrounding the first portion, wherein at least one of the first and second portions comprises a chalcogenide glass selected from the group consisting of Selenium chalcogenide glasses and Tellurium chalcogenide glasses, both the first and second portions have a viscosity greater than 103 Poise at some temperature, T, and the fiber waveguide is a photonic crystal fiber.

Abstract translation: 一方面，本发明的特征在于具有波导轴线的光纤波导，其包括沿着波导轴线延伸的第一部分，以及不同于围绕第一部分的波导轴延伸的第一部分的第二部分，其中至少一个 第一和第二部分包括选自硫属硫族化合物玻璃和硫化碲化镉玻璃的硫属化物玻璃，第一和第二部分的粘度大于10℃，在某些温度T和 光纤波导是光子晶体光纤。

公开(公告)号：US20060179879A1

公开(公告)日：2006-08-17

申请号：US11316293

申请日：2005-12-21

Applicant: Adam Ellison ,  Kenneth Hrdina ,  Sabyasachi Sen

Inventor： Adam Ellison ,  Kenneth Hrdina ,  Sabyasachi Sen

IPC: C03B19/06 ,  C03B25/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/143 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/32 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42

Abstract: The invention is directed to ultra-low expansion glasses to which adjustments have been made to selected variables in order to improve the properties of the glasses, and particularly to lower the expansivity of the glasses. The glasses are titania-doped silica glasses. The variables being adjusted include an adjustment in β-OH level; an adjustment to the cooling rate of the molten glass material through the setting point; and the addition of selected dopants to impact the CTE behavior.

Abstract translation: 本发明涉及对所选择的变量进行调整的超低膨胀玻璃，以改善玻璃的性能，特别是降低玻璃的膨胀性。 眼镜是二氧化钛掺杂的二氧化硅玻璃。 调整的变量包括β-OH水平的调整; 调整熔融玻璃材料通过凝固点的冷却速度; 并添加选定的掺杂剂以影响CTE行为。

公开(公告)号：US20050223747A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：US11004027

申请日：2004-12-02

Applicant: Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Susan Schiefelbein ,  Lisa Moore

Inventor： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Susan Schiefelbein ,  Lisa Moore

IPC: C03B37/00 ,  C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00 ,  C03C25/60 ,  C03C25/68 ,  C03B37/027

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

Abstract: A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

Abstract translation: 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。

公开(公告)号：US20050201699A1

公开(公告)日：2005-09-15

申请号：US11046435

申请日：2005-01-28

Applicant: Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

Inventor： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

IPC: C03B37/00 ,  C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00 ,  C03C25/60 ,  C03C25/68 ,  G02B6/02

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

Abstract: A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

Abstract translation: 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。

公开(公告)号：US06839483B2

公开(公告)日：2005-01-04

申请号：US10635430

申请日：2003-08-05

Applicant: William Alfred Reed ,  Mark J Schnitzer

Inventor： William Alfred Reed ,  Mark J Schnitzer

IPC: A61B5/00 ,  C03B37/018 ,  G02B6/14 ,  G02B6/26 ,  G02B6/32 ,  G02B6/35

CPC classification number: C03B37/01861 ,  A61B5/0084 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2203/26 ,  G02B6/14 ,  G02B6/262 ,  G02B6/264 ,  G02B6/32 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3548 ,  G02B6/3552 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/3582 ,  G02B6/3594

Abstract: A mode converter includes first and second optical waveguides and a GRIN fiber lens. The GRIN fiber lens is attached to both the first and the second waveguides.

Abstract translation: 模式转换器包括第一和第二光波导和GRIN光纤透镜。 GRIN光纤透镜连接在第一和第二波导上。

公开(公告)号：US20040194511A1

公开(公告)日：2004-10-07

申请号：US10771176

申请日：2004-02-03

Inventor： Chih-Hsing Cheng ,  Dengfeng Xu

IPC: C03B037/016 ,  C03C003/06

CPC classification number: C03B19/12 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/0124 ,  C03B37/016 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03C3/06

Abstract: A method of fabricating a halogen-doped glass includes providing a gel monolith having a first halogen content. The method further includes reducing an impurity concentration of the gel monolith. The method further includes consolidating the gel monolith into a glass having a second halogen content. The second halogen content is less than or equal to the first halogen content. A halogen-doped glass has a fluorine content in a range between approximately 0.5 wt. % and approximately 4 wt. %, a chlorine content less than 100 parts per million, and an OH content less than one part per million.

Abstract translation: 制造卤素掺杂玻璃的方法包括提供具有第一卤素含量的凝胶整料。 该方法还包括降低凝胶整料的杂质浓度。 该方法还包括将凝胶整料固结成具有第二卤素含量的玻璃。 第二卤素含量小于或等于第一卤素含量。 卤素掺杂的玻璃的氟含量在约0.5wt。 ％和约4wt。 ％，氯含量低于100ppm，OH含量低于百万分之一。

公开(公告)号：US20040116269A1

公开(公告)日：2004-06-17

申请号：US10718575

申请日：2003-11-24

Applicant: TOSOH CORPORATION ,  TOSOH QUARTZ CORPORATION ,  TOSOH SGM CORPORATION

Inventor： Yoshinori Harada ,  Shuzo Mizutani ,  Shinkichi Hashimoto ,  Masakazu Kudoh ,  Naoki Miura ,  Katsufumi Takahashi ,  Hideki Kiyohara

IPC: C03C003/06 ,  C03B019/06

CPC classification number: C03B19/01 ,  C03B19/095 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/54 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/54 ,  Y02P40/57

Abstract: Highly durable silica glass containing 0.01% to 2% by weight of at least one element selected from magnesium, calcium, strontium, barium, yttrium, hafnium and zirconium. The silica glass is produced by melting a powdery material comprising a finely divided silica powder and a finely divided zirconium-containing substance by oxyhydrogen flame or plasma are to form an accumulated molten material layer, and extending the molten material layer outwardly in radial directions.

Abstract translation: 含有0.01重量％至2重量％的选自镁，钙，锶，钡，钇，铪和锆中的至少一种元素的高耐用二氧化硅玻璃。 二氧化硅玻璃是通过熔化包含细碎的二氧化硅粉末和细分的含锆物质的粉末状材料通过氢氧焰或等离子体而形成的，以形成聚集的熔融材料层，并使熔融材料层沿径向向外延伸。

公开(公告)号：US20030077056A1

公开(公告)日：2003-04-24

申请号：US10041529

申请日：2001-10-24

Applicant: INSTITUT NATIONAL D'OPTIQUE

Inventor： Serge Caron

IPC: G02B006/16 ,  C03B037/00

CPC classification number: C03B37/01262 ,  C03B37/01205 ,  C03B37/01211 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54

Abstract: The present invention concerns a preform for an optical fiber, an optical fiber so obtained and methods for making the same. The fiber is characterized in that porous glass doped with at least one dopant is used. Resulting fibers can be used to make high attenuation fibers.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于光纤的预成型件，如此获得的光纤及其制造方法。 纤维的特征在于使用掺杂有至少一种掺杂剂的多孔玻璃。 所得纤维可用于制造高衰减纤维。