포토믹서 및 그의 제조방법
    1.
    发明申请
    포토믹서 및 그의 제조방법 审中-公开
    照相混合器及其制造方法

    公开(公告)号:WO2014046465A1

    公开(公告)日:2014-03-27

    申请号:PCT/KR2013/008415

    申请日:2013-09-17

    Abstract: 기존 광대역 테라헤르츠 분광시스템의 핵심부품인 PCA 및 포토믹서의 현존하는 제한적인 요소를 근본적으로 해결한 포토믹서 및 그의 제조방법을 제시한다. 제시된 포토믹서는 기판의 상면에 형성되되 광이 입사되는 영역에 형성된 활성층, 및 기판의 상면에 형성되되 광이 입사되는 영역을 제외한 나머지 영역에 형성된 열전도층을 포함한다. 활성층은 메사형 단면을 갖도록 형성되고, 열전도층은 광이 입사되는 영역을 제외한 영역에 MOCVD법으로 재성장되어 평탄화된 표면을 갖게 된다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种基本上解决现有宽带太赫兹光谱系统的关键组件的PCA和光混合器的现有局限性的光混合器及其制造方法。 根据本发明的光混合器包括:形成在形成在基板的上表面上的光入射区域中的有源层; 以及形成在所述光入射区域以外的区域中并且形成在所述基板的上表面上的导热层。 有源层形成为具有台面型横截面,并且通过MOCVD方法在除了光入射区域之外的区域中重新生长导热层以具有平坦的表面。

    어레이형 광검출기를 제조하는 방법
    4.
    发明公开
    어레이형 광검출기를 제조하는 방법 审中-实审
    阵列型天线耦合检测器的制造方法

    公开(公告)号:KR1020150043064A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:KR1020130122052

    申请日:2013-10-14

    CPC classification number: H01L31/08 H01L31/02366 H01L31/18

    Abstract: 광크로스토크를줄일수 있는어레이형광검출기를제조하는방법을제시한다. 제시된방법은도핑된기판을준비하는단계, 도핑된기판의일면상에부도체층을성장시키는단계, 부도체층의상면에광검출기어레이제조층을성장시키는단계, 광검출기어레이제조층을식각하여광검출기어레이를제조하되부도체층의일부에까지식각하는단계, 도핑된기판의타면에식각마스크를형성하는단계, 및식각마스크를통해도핑된기판의타면을식각하여도핑된기판의타면에혼 안테나역할을하는어퍼쳐어레이를형성하는단계를포함한다.

    Abstract translation: 公开了一种能够减少光串扰的阵列型光检测器的制造方法。 制造阵列型光学检测器的方法包括以下步骤:制备掺杂的衬底; 在掺杂衬底的一个表面上生长非导电层; 在非导电层上生长光学检测器阵列制造层; 蚀刻光学检测器阵列制造层以制造光学检测器,蚀刻在非导电层的一部分上进行; 在掺杂衬底的另一表面上形成蚀刻掩模; 以及通过通过蚀刻掩模蚀刻掺杂衬底的另一表面,在掺杂衬底的另一表面上形成用作喇叭天线的孔径阵列。

    비접촉 두께 측정 장치 및 그것의 두께 측정 방법
    6.
    发明授权
    비접촉 두께 측정 장치 및 그것의 두께 측정 방법 有权
    无接触式测量的方法和方法

    公开(公告)号:KR101374321B1

    公开(公告)日:2014-03-17

    申请号:KR1020120109025

    申请日:2012-09-28

    Abstract: 본 발명에 따른 비접촉 두께 측정 장치는, 제 1 주파수의 제 1 레이저 광 및 상기 제 1 주파수와 다른 제 2 주파수의 제 2 레이저 광을 발생하는 레이저 발생 소자, 상기 발생된 제 1 및 제 2 레이저 광들을 결합하는 결합기, 상기 결합기로부터 출력된 제 1 광신호를 입력 받고, 상기 입력된 제 1 광신호와 인가된 바이어스에 의하여 테라헤르츠 연속파를 발생하는 테라헤르츠파 송신기, 상기 결합기로부터 출력된 제 2 광신호를 지연시키는 광지연라인, 및 시료를 투과한 상기 테라헤르츠 연속파를 수신하고, 상기 수신된 테라헤르츠 연속파 및 상기 지연된 제 2 광신호를 이용하여 호모다인 방식으로 광전류를 검출하는 테라헤르츠파 수신기를 포함하고, 상기 시료의 두께는 상기 광전류에 대응하는 값이다.

    테라헤르츠파를 이용한 인터커넥션 장치 및 방법
    7.
    发明公开
    테라헤르츠파를 이용한 인터커넥션 장치 및 방법 有权
    使用TERAHERTZ波形的互连装置及其方法

    公开(公告)号:KR1020130135049A

    公开(公告)日:2013-12-10

    申请号:KR1020130040094

    申请日:2013-04-11

    CPC classification number: H04B10/572 H04B10/11 H04B10/548 H04B2210/25

    Abstract: Disclosed is an interconnection apparatus using terahertz wave and a method thereof. According to the present invention, the interconnection apparatus using terahertz wave includes a first terahertz wave generation part generation a first transmission terahertz wave of the first center frequency; a second terahertz wave generation part generation a second transmission terahertz wave of the first center frequency; a first terahertz wave detection part detecting the first transmission terahertz wave corresponding to a first reception terahertz wave; and a second terahertz wave detection part detecting the second transmission terahertz wave corresponding to a second reception terahertz wave. [Reference numerals] (111,BB) First terahertz wave generation part;(112,AA) First terahertz wave detection part;(121,DD) Second terahertz wave generation part;(122,CC) Second terahertz wave detection part

    Abstract translation: 公开了使用太赫兹波的互连装置及其方法。 根据本发明,使用太赫兹波的互连装置包括第一太赫兹波产生部分产生第一中心频率的第一传输太赫兹波; 第二太赫兹波产生部分产生第一中心频率的第二传输太赫兹波; 检测对应于第一接收太赫兹波的第一传输太赫兹波的第一太赫兹波检测部分; 以及第二太赫波检测部分,检测对应于第二接收太赫兹波的第二传输太赫兹波。 (111,BB)第一太赫波生成部;(112AA)第一太赫兹波检测部;(121DD)第二太赫波生成部;(122,CC)第二太赫兹波检测部

    테라헤르츠파 발생/검출기 및 그의 제조방법
    10.
    发明授权
    테라헤르츠파 발생/검출기 및 그의 제조방법 失效
    用于产生/检测太赫兹波的装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR101291319B1

    公开(公告)日:2013-07-30

    申请号:KR1020090088664

    申请日:2009-09-18

    CPC classification number: G01J3/10 G01J3/42 G01J5/0837

    Abstract: 본 발명은 생산성을 향상시킬 수 있는 테라헤르츠파 발생/검출기 및 그의 제조방법을 개시한다. 그 발생/검출기는, 기판; 상기 기판 상의 전면에 형성된 포토 컨덕티브 층; 상기 포토 컨덕티브 층 상에 형성되고, 소정 간극을 갖고 서로 이격되는 제 1 전극과 제 2 전극; 및 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 상에서 형성되고, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극사이의 상기 간극 내부를 매립시키는 렌즈를 포함한다.
    렌즈, 테라헤르츠(THz), 포토 컨덕티브(photo-conductive), 안테나(antenna)

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