Abstract:
Ladungsträgerdetektor, der einen Ladungsträger detektiert, der durch Bestrahlen einer Probe (8) mit einem Ladungsträgerstrahl erhalten wird, wobei der Ladungsträgerdetektor Folgendes umfasst:einen ersten lichtemittierenden Teil (21), der eine Schicht ist, in der eine Quantentopfschicht mit einer Zusammensetzung von Ga1-x-yAlxlnyN wobei 0 ≤ x
Abstract:
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung miteiner Ladungsteilchenquelle, die einen Ladungsteilchenstrahl emittiert;einem optischen System für die Ladungsteilchen, das den Ladungsteilchenstrahl fokussiert und eine optische Achse definiert;einem Linsentubus zur Aufnahme der Ladungsteilchenquelle und des optischen Systems für die Ladungsteilchen;einem ersten Gehäuse, das mit dem Linsentubus verbunden ist und in das der Ladungsteilchenstrahl emittiert wird;einem zweiten Gehäuse, das an einer Öffnung im ersten Gehäuse in das erste Gehäuse zurückspringt;einer ersten Membran, die in der optischen Achse angeordnet ist und die den Raum innerhalb des Linsentubus von dem Raum innerhalb des ersten Gehäuses trennt und durch die der Ladungsteilchenstrahl verläuft; und miteiner zweiten Membran, die in der optischen Achse angeordnet ist und die die Räume innerhalb und außerhalb des zurückspringenden Abschnitts des zweiten Gehäuses voneinander trennt und durch die der Ladungsteilchenstrahl verläuft,wobei der Raum, der vom ersten Gehäuse und vom zweiten Gehäuse umgeben ist, in einen Vakuumzustand gebracht wird und eine innerhalb des zurückspringenden Abschnitts des zweiten Gehäuses angeordnete Probe mit dem Ladungsteilchenstrahl bestrahlt wird, der die erste Membran und die zweite Membran durchsetzt hat.
Abstract:
This charged particle beam device irradiates a primary charged particle beam generated from a charged particle microscope (601) onto a sample (6) arranged on a light-emitting member (500) that makes up at least a part of a sample base (600), and, in addition to obtaining charged particle microscope images by the light-emitting member (500) detecting charged particles transmitted through or scattered inside the sample (6), obtains optical microscope images by means of an optical microscope (602) while the sample (6) is still arranged on the sample platform (600).
Abstract:
Um die Leuchtdichte eines von einer Photokathode, die einen photoelektrischen Film aufweist, emittierten Elektronenstrahls zu erhöhen, wird zweites gepulstes Licht, dessen Wellenlänge größer ist als jene ersten gepulsten Lichts, zusätzlich zum ersten gepulsten Licht auf die Photokathode eingestrahlt. Gemäß einem Aspekt einer angewendeten Elektronenstrahlvorrichtung weist diese eine Photokathode 1, eine erste gepulste Lichtquelle 7, die ausgelegt ist, erstes gepulstes Licht zu emittieren, eine zweite gepulste Lichtquelle 8, die ausgelegt ist, zweites gepulstes Licht mit einer ringförmigen Intensitätsverteilung zu emittieren, ein optisches System 21 für Anregungslicht, das ausgelegt ist, das erste gepulste Licht und das zweite gepulste Licht so zu emittieren, dass der optische Weg des ersten gepulsten Lichts und der optische Weg des zweiten gepulsten Lichts kombiniert werden, eine Sammellinse 2, die ausgelegt ist, auf der Photokathode das erste gepulste Licht und das zweite gepulste Licht, die vom optischen System für Anregungslicht emittiert wurden, zu fokussieren, und ein elektronenoptisches System, das ausgelegt ist, eine Probe 20 mit dem von der Photokathode emittierten Elektronenstrahl zu bestrahlen, auf.
Abstract:
Es wird eine Elektronenquelle bereitgestellt, die auch bei Verwendung von Hexaborid lange Zeit stabil genutzt werden kann, und eine Elektronenstrahlvorrichtung, die diese Elektronenquelle verwendet.Die Erfindung betrifft eine Elektronenquelle, umfassend ein Filament 103 aus einem Metall, ein Metallrohr 112, das an das Filament 103 befestigt ist und eine Vielzahl von Vertiefungen 117 aufweist, die mindestens in zwei axialen Richtungen derart auf einem Außenumfang angeordnet sind, dass sie eine Mittelachse umgeben, und eine säulenförmige Hexaboridspitze 104, die Elektronen emittiert, derart angeordnet ist, dass sie vom Inneren des Metallrohrs 112 zu einer dem Filament 103 entgegengesetzten Seite vorspringt, und mit einem Boden jeder der Vertiefungen 117 des Metallrohrs 112 in Kontakt ist.
Abstract:
Es wird ein Elektronenmikroskop bereitgestellt, das zur Durchführung eines Umschaltvorgangs zwischen einer normalen Belichtung und einer ringförmigen Belichtung, einer Großflächenbelichtung, einem Interferenzmuster und dergleichen in rascher und einfacher Weise befähigt ist oder mit dem ein besseres S/N-Verhältnis erreicht werden kann. Das Elektronenmikroskop umfasst Folgendes: eine Photokathode 101 mit negativer Elektronenaffinität bei der Anwendung; ein optisches Anregungssystem zur Anregung der Photokathode; und ein Elektronenoptiksystem zur Bestrahlung einer Probe mit einem Elektronenstrahl 13, der aus der Photokathode durch Anregungslicht 12, das durch das optische Anregungssystem geführt worden ist, erzeugt worden ist; wobei das optische Anregungssystem eine Lichtquellenvorrichtung 107 für das Anregungslicht; und eine optische Modulationseinrichtung 108, die im optischen Lichtweg des Anregungslichts angeordnet ist, um eine räumliche Phasenmodulation am Anregungslicht vorzunehmen, umfasst.
Abstract:
Um eine stabile Hexaborid-Einkristall-Feldemissionselektronenquelle zu schaffen, die zum Heißbrennen leistungsfähig ist, ist diese Feldemissionselektronenquelle mit einem Metallglühfaden (107), einem damit verbundenen Metallrohr (108), einer Hexaborid-Spitze (104), die Elektronen emittiert, und Graphitfolien (109), die vom Metallrohr und der Hexaborid-Spitze unabhängig sind, versehen. Die Hexaborid-Spitze ist derart angeordnet, dass sie sich aufgrund der Graphitfolien nicht in strukturellem Kontakt mit dem Metallrohr befindet. Die Hexaborid-Spitze, die Graphitfolien und das Metallrohr sind derart konfiguriert, dass sie sich mechanisch und elektrisch in Kontakt miteinander befinden.
Abstract:
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, einen Ladungsteilchendetektor und eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung zu schaffen, mit denen es möglich ist, einen hoch leuchtenden Ausgang zu erlangen, während geladene Teilchen, die auf einen Szintillator einfallen, schnell beseitigt werden. Um die Aufgabe zu lösen, schlägt die vorliegende Erfindung Folgendes vor: einen Ladungsteilchendetektor, der mit einer lichtemittierenden Einheit (1) versehen ist, die eine geschichtete Struktur enthält, die durch Schichten einer Schicht (21), die GaInN enthält, und einer GaN-Schicht (22) erhalten wird und auf der Seite einer Einfallsfläche für geladene Teilchen der geschichteten Struktur mit einer leitfähigen Schicht (2) versehen ist, die sich mit der Schicht, die GaInN enthält, in Kontakt befindet; und eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung.
Abstract:
Ein Elektronenmikroskop hat verglichen mit einem optischen Mikroskop eine große Fokustiefe. Demgemäß werden Informationen in Tiefenrichtung in einem Bild überlagert. Demgemäß erfordert eine Betrachtung einer dreidimensionalen Struktur innerhalb einer Probe unter Verwendung des Elektronenmikroskops eine genaue Spezifikation der dreidimensionalen Position oder Dichte einer Struktur innerhalb der Probe. Ferner kann die mit dem optischen Mikroskop betrachtete Probe auf einem Objektträgerglas im Stand der Technik nicht in eine TEM-Vorrichtung gegeben werden. Demgemäß ist eine sehr komplizierte Präparation der Probe für eine Betrachtung einer dreidimensionalen inneren Struktur mit dem Elektronenmikroskop an einer mit dem optischen Mikroskop betrachteten Stelle erforderlich. Vorgesehen ist eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, welche Folgendes aufweist: eine optische Säule für geladene Teilchen, welche eine Probe mit einem Strahl primärer geladener Teilchen bestrahlt, und eine Probenträger-Dreheinheit, welche in der Lage ist, den Probenträger in einem Zustand zu drehen, in dem ein Winkel außerhalb der Senkrechten zwischen der Oberfläche des Probenträgers und der optischen Achse des Strahls primärer geladener Teilchen gebildet ist, wobei der Probenträger so ausgelegt ist, dass er ein Detektierelement aufweist, welches in der Probe gestreute oder von der Probe durchgelassene geladene Teilchen detektiert, und wobei durch durchgelassene geladene Teilchen erzeugte Bilder der Probe entsprechend jedem Winkel durch Bestrahlen der Probe erhalten werden, während die Probenträger-Dreheinheit um mehrere verschiedene Winkel gedreht wird.
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Elektronenkanone, enthaltend: eine nadelartige Elektronenquelle (1), die als eine Feldemissions-Elektronenquelle wirkt; eine Beschleunigungselektrode (3) zur Beschleunigung der von der Elektronenquelle (1) emittierten Elektronen; eine Steuerelektrode (2), die näher an der Seite der Elektronenquelle (1) als an der Seite der Beschleunigungselektrode (3) angeordnet ist und einen größeren Öffnungsdurchmesser als ein Öffnungsdurchmesser der Beschleunigungselektrode (3) hat; und einen Steuerabschnitt (6) zur Steuerung eines an die Steuerelektrode (2) angelegten Potenzials auf der Grundlage eines an die Beschleunigungselektrode (3) angelegten Potenzials, dadurch gekennzeichnet, dass unter der Voraussetzung, dass der Öffnungsdurchmesser der Steuerelektrode (2) als d definiert ist und ein Abstand zwischen der Elektronenquelle (1) und der Beschleunigungselektrode (3) als L definiert ist, ein Verhältnis von d zu L von d/L