公开(公告)号：CN1656372A

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN03812572.2

申请日：2003-05-30

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 后藤泰宏 ,  西胁青儿 ,  金马庆明

IPC: G01N21/95 ,  G11B7/26 ,  G11B7/004

CPC classification number: G11B7/00375 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9506 ,  G01N2201/1045 ,  G11B19/04

Abstract: 在异物检测装置中，光信号检测单元(1)使光斑在规定方向扫描的同时，在被检查物体面上照射光斑，接收来自被检查物体面的反射光，生成与反射光量对应的光检测信号(HF)。异物检测单元(2a～2h)从光检测信号(HF)中生成与在被检查物体上附着的异物的扫描方向上的开始端以及终端对应出现的异物检测信号(C)。异物检测信号例如作为对光检测信号(HF)和使光检测信号(HF)以规定时间延迟的延迟信号(HF1)进行减法运算的差信号被求出。异物判断单元(3)从异物检测信号(C)生成表示异物存在区域的异物判断信号(H)。

公开(公告)号：CN107407640A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680014859.5

申请日：2016-03-08

Applicant: 瑞尼斯豪公司

Inventor： 蒂莫西·史密斯 ,  理查德·约翰·布莱克威尔-怀特海德

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01J3/44 ,  G01J3/06 ,  G01J2003/064 ,  G01N21/65 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/1045 ,  G01N2201/1087 ,  G02B21/002

Abstract: 本发明涉及一种透射拉曼光谱设备，其包括：光源(101)，其用于在样本(102)上产生光轮廓(110)；光电探测器(103)，其具有至少一个光电探测器元件(103a)；收集光学件(104)，其被布置成收集透射穿过该样本(102)的拉曼散射光，并将该拉曼光导引到至少一个光电探测器元件(103a)上；以及支撑件(109)，其用于支撑该样本(102)。该支撑件(102)和光源(101)被布置成使得该光轮廓(110)能够相对于该样本(102)移动，以便使至少一个光电探测器元件(103a)接收针对该光轮廓(110)在该样本(102)上的不同位置所产生的拉曼散射光。

公开(公告)号：WO1997026529A1

公开(公告)日：1997-07-24

申请号：PCT/US1997000825

申请日：1997-01-17

Applicant: PHASE METRICS

Inventor： PHASE METRICS ,  JANN, Peter, C. ,  LI, Wayne, W. ,  IOSILEVSKY, Igor ,  WOMACK, Kenneth, H. ,  CEJNA, Vlastimil ,  BURT, George, A., Jr.

IPC: G01N21/47

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/94 ,  G01N2201/1045

Abstract: A simple yet versatile noncontact optical inspection instrument and method for inspection of magnetic disk surfaces for surface defects. The instrument is also capable of discriminating between surface defects and surface contaminants. The instrument is comprised of two identical optical sensors (12) which are located on opposite sides of the disk (16). A carriage (14) supports and translates these sensors (12) along the disk radius while a spindle rotates the disk (16). Both surfaces of the disk (16) are therefore simultaneously scanned in a spiral fashion. The sensor's illumination optics produce a monochromatic focused spot of light which is normally incident upon the disk surface. The sensor uses two collection optics channels which simultaneously detect both the specular reflected light and the diffuse scattered light produced by the disk (16) surface. Both the angle and power of the specular reflected light are measured, while just the power of the diffuse scattered light is measured.

Abstract translation: 一种简单而通用的非接触光学检测仪器和用于检查表面缺陷的磁盘表面的方法。 该仪器还能够区分表面缺陷和表面污染物。 该仪器由两个相同的光学传感器（12）组成，它们位于盘（16）的相对侧上。 当主轴旋转盘（16）时，托架（14）沿着盘半径支撑和平移这些传感器（12）。 因此，盘（16）的两个表面因此以螺旋方式同时扫描。 传感器的照明光学器件产生通常入射在盘表面上的单色聚光光点。 该传感器使用两个收集光学通道，其同时检测镜面反射光和由盘（16）表面产生的漫射散射光。 测量镜面反射光的角度和功率，同时测量漫射散射光的功率。

公开(公告)号：JP2010091329A

公开(公告)日：2010-04-22

申请号：JP2008259804

申请日：2008-10-06

Applicant: Sumco Corp ,  株式会社Sumco

Inventor： KAMIYAMA EIJI ,  TSUNEMORI TAKEHIRO ,  YAMAMOTO KAZUHIRO ,  AOKI KENJI

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N2201/1045 ,  G01N2201/106

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser scattering defect inspection technology capable of effectively performing defect inspection.
SOLUTION: A laser scattering defect inspection system 100 includes: a stage unit 2 that rotates a workpiece W and transports the workpiece W in one direction; a laser light source 1 that emits a laser beam LB toward the workpiece W mounted on the stage unit 2; an optical deflector 15 that scans the laser beam LB emitted from the laser light source 1 on the workpiece W; an optical detector 16 that detects the laser beam LB scattered from the surface of the workpiece W; a storage unit 24 that stores defect inspection conditions for each inspection step of a manufacturing process of the workpiece W, where the conditions include the rotation speed and the moving speed of the workpiece W by the stage unit 2, the scan width on the workpiece W and the scan frequency by the optical deflector 15; and a control unit 25 that reads the defect inspection conditions stored for each inspection step in the storage unit 24 and controls the driving of the stage unit 2 and the optical deflector 15 under the conditions.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够有效执行缺陷检查的激光散射缺陷检查技术。 解决方案：激光散射缺陷检查系统100包括：台架单元2，其旋转工件W并沿一个方向传送工件W; 激光光源1，其向安装在平台单元2上的工件W发射激光束LB; 将从激光光源1发射的激光束LB扫描在工件W上的光学偏转器15; 光检测器16，其检测从工件W的表面散射的激光束LB; 存储单元24，其存储工件W的制造过程的每个检查步骤的缺陷检查条件，其中条件包括工作台单元2的工件W的转速和移动速度，工件W上的扫描宽度 并且通过光学偏转器15的扫描频率; 以及控制单元25，其读取存储单元24中针对每个检查步骤存储的缺陷检查条件，并且在条件下控制台单元2和光偏转器15的驱动。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：WO2013137513A1

公开(公告)日：2013-09-19

申请号：PCT/KR2012/002732

申请日：2012-04-10

Applicant: 한국식품연구원 ,  전향숙 ,  최성욱 ,  장현주 ,  이나리 ,  옥경식

Inventor： 전향숙 ,  최성욱 ,  장현주 ,  이나리 ,  옥경식

IPC: G01N21/35 ,  G02B3/00

CPC classification number: G01N21/3581 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/94 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1045 ,  G01N2201/105 ,  G02B3/00 ,  H01Q15/08

Abstract: 본 발명은 테라헤르츠파 영역의 광원을 이용하여 비파괴적인 방법으로 높은 검출 분해능을 가진 물체 검사 장치 및 이에 포함된 포커싱 렌즈를 개시한다. 본 발명에 따른 물체 검사 장치는, 테라파를 생성하여 시간에 따라 경로를 이동시키며 상기 테라파를 피검물로 공급하는 테라파 공급부; 상기 테라파 공급부와 상기 피검물 사이에 위치하여, 상기 테라파 공급부에 의해 공급되는 테라파를 포커싱하는 포커싱 렌즈; 플레이트 형태로 구성되어 중심으로부터 거리를 달리하는 상기 포커싱 렌즈를 다수 개 구비하며, 상기 테라파의 경로 이동에 따라 어느 하나의 포커싱 렌즈가 상기 테라파의 진행 경로에 위치하도록 원주 방향으로 회전하는 회전판; 및 상기 피검물에 입사된 테라파를 수집하여 검출하는 테라파 검출부를 포함한다.

Abstract translation: 公开了一种物体检查装置，其使用太赫兹波域中的光源以非破坏性的方式检测具有高检测分辨率的物体。 还公开了包括在该装置中的聚焦透镜。 根据本发明的物体检查装置包括：太赫波提供单元，用于产生太赫兹波，随着时间的推移移动太赫兹波道，并将太赫兹波提供给待检查的物体; 聚焦透镜插入到太赫兹波供给单元和待检查对象之间，用于聚焦由太赫兹波供给单元提供的太赫兹波; 旋转板形成为板状，并且具有与旋转板的中心不同的距离配置的多个聚焦透镜，其中，旋转板沿圆周方向旋转，使得任何一个聚焦透镜位于太赫兹波前进方向上，根据 太赫兹波路的运动; 以及太赫兹波检测单元，用于收集和检测入射到被检测物体上的太赫兹波。

公开(公告)号：WO1996022528A1

公开(公告)日：1996-07-25

申请号：PCT/CA1996000010

申请日：1996-01-16

Applicant: WEICHMAN, Frank, L. ,  VAN DER SCHOOT, Jelle ,  KENWAY, Daniel, J. ,  HUGHES, Alan, J. ,  FLATMAN, Carl, S.

IPC: G01N33/08

CPC classification number: G01N33/085 ,  A01K43/04 ,  G01N21/951 ,  G01N2201/1045 ,  Y10S209/938

Abstract: A light beam (16) such as a laser beam is used to scan the surface of an egg for flaws such as pin holes, cracks, thinned shell regions, etc. The light beam is vibrated with a rocking/rotating movement to describe a closed curve (52) such as a circle, ellipse or an ellipse so narrow that it is effectively a straight line. The utilisation of such a light beam allows identification of types of flaws due to the character of the progression of light emanating from the egg. The invention includes apparatus for rotating the egg about its longitudinal axis in the path of the beam or beams. The apparatus also includes means for forming the vibrating beam such as mirrors (18) vibrated by out of phase electro-magnetic vibration, piezoelectric actuators (20) or other means.

Abstract translation: 使用诸如激光束的光束（16）来扫描鸡蛋表面，例如针孔，裂缝，变薄的壳区等。光束以摇摆/旋转运动振动以描述封闭 诸如圆形，椭圆形或椭圆形的曲线（52）如此狭窄，使其实际上是直线。 这种光束的利用允许鉴定由于从蛋发出的光的进展的特征的缺陷的类型。 本发明包括用于在梁或梁的路径中围绕其纵轴旋转鸡蛋的装置。 该装置还包括用于形成振动束的装置，例如通过异相电磁振动振动的反射镜（18），压电致动器（20）或其它装置。

公开(公告)号：WO2016038461A2

公开(公告)日：2016-03-17

申请号：PCT/IB2015001963

申请日：2015-09-07

Applicant: UNIV VIENNA

IPC: G01N21/63 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01N33/4833 ,  A61B5/4064 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/636 ,  G01N21/6458 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/0635 ,  G01N2201/0697 ,  G01N2201/1045 ,  G02B21/02 ,  G02B21/16 ,  G02B2207/114

Abstract: Devices and methods for recording dynamics of cellular and/or biochemical processes, including a device including one or more dispersive elements configured to receive a pulsed laser beam with a spectrum of different wavelengths and disperse the spectrum of the pulsed laser beam; and one or more first elements configured to receive the dispersed spectrum of the pulsed laser beam, and generate a multiphoton excitation area in a biological sample by re-overlapping in time and space the dispersed spectrum of the pulsed laser beam on an area in the biological sample, a scanning element that is configured to scan the multiphoton excitation area in an axial direction, wherein the device is configured to record at high speed changes of cellular and biochemical processes of a population of cells of the biological sample based on generation of the multiphoton excitation area in the biological sample.

Abstract translation: 用于记录细胞和/或生物化学过程的动力学的装置和方法，包括包括一个或多个分散元件的装置，其被配置为接收具有不同波长的光谱的脉冲激光束并且分散脉冲激光束的光谱; 以及被配置为接收脉冲激光束的分散光谱的一个或多个第一元件，并且通过在脉冲激光束的时间和空间上重新重叠生物样品中的多光子激发区域，生成脉冲激光束的分散光谱 样品，被配置为沿轴向扫描多光子激发区域的扫描元件，其中所述装置被配置为基于多光子的产生以高速度记录所述生物样品的细胞群的细胞和生化过程的变化 生物样品中的激发区域。

公开(公告)号：WO03069263A9

公开(公告)日：2004-03-04

申请号：PCT/US0304043

申请日：2003-02-11

Applicant: KLA TENCOR TECH CORP

Inventor： VAEZ-IRAVANI MEHDI ,  ZHAO GUOHENG ,  STOKOWSKI STANLEY E

IPC: G01B11/30 ,  G01B11/24 ,  G01N21/47 ,  G01N21/94 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66 ,  G01N21/00

CPC classification number: G01N21/95623 ,  G01N21/47 ,  G01N21/94 ,  G01N2201/1045

Abstract: A cylindrical mirror or lens (12) is used to focus an input collimated beam of light onto a line (20) on the surface to be inspected, where the line is substantially in the plane of incidence of the focused beam. An image of the beam is projected onto an array of CCD (32) parallel to the line for detecting anomalies and/or features of the surface, where the array is outside the plane of incidence of the focused beam. For inspecting surface with a pattern thereon, the light from the surface is first passed through a spatial filter (106) before it is imaged onto the CCD. The spatial filter may be replaced by reflective strips that selectively reflects scattered radiation to the detector, where the reflective strips also shift in synchronism with the relative motion.

Abstract translation: 圆柱形镜或透镜（12）用于将输入的准直光束聚焦到要检查的表面上的线（20）上，其中线基本上在聚焦束的入射平面中。 光束的图像被投影到平行于线的CCD阵列（32）上，用于检测表面的异常和/或特征，其中阵列位于聚焦光束的入射平面之外。 为了在其上检查具有图案的表面，来自表面的光在其被成像到CCD之前首先通过空间滤光器（106）。 空间滤波器可以由选择性地将散射的辐射反射到检测器的反射条替代，其中反射条也与相对运动同步地移动。

公开(公告)号：WO2012090367A1

公开(公告)日：2012-07-05

申请号：PCT/JP2011/005899

申请日：2011-10-21

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  浦野 雄太 ,  本田 敏文 ,  芝田 行広

Inventor： 浦野　雄太 ,  本田　敏文 ,  芝田　行広

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/02 ,  G01B11/30 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/956 ,  G01B11/0608 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95623 ,  G01N2021/8854 ,  G01N2201/1045

Abstract: 　被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。

Abstract translation: 缺陷检查方法具有：照明步骤，用于在预定照明条件下照射作为被检查物体的样品的表面区域; 用于平移和旋转样品的样品扫描步骤; 散射光检测步骤，用于将在样本扫描步骤中的每个扫描方向上的多个像素中沿着从样本的被照射区域的多个方向散射的多个散射光分离成大致正交于 扫描方向并检测多个散射光束中的每一个; 以及处理步骤，对于在散射光检测步骤中检测到的多个散射光中的每一个，对从样品的大致相同的区域以大致相同的方向散射的散射光进行加法处理，确定是否存在 基于经过加法处理的散射光束的缺陷，并且使用与所确定的缺陷相对应的多个散射光中的至少一个散射光来计算所确定的缺陷的尺寸。

公开(公告)号：WO2003069263A2

公开(公告)日：2003-08-21

申请号：PCT/US2003/004043

申请日：2003-02-11

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： VAEZ-IRAVANI, Mehdi ,  ZHAO, Guoheng ,  STOKOWSKI, Stanley, E.

IPC: G01B

CPC classification number: G01N21/95623 ,  G01N21/47 ,  G01N21/94 ,  G01N2201/1045

Abstract: A cylindrical mirror or lens is used to focus an input collimated beam of light onto a line on the surface to be inspected, where the line is substantially in the plane of incidence of the focused beam. An image of the beam is projected onto an array of charge-coupled devices parallel to the line for detecting anomalies and/or features of the surface, where the array is outside the plane of incidence of the focused beam. For inspecting surface with a pattern thereon, the light from the surface is first passed through a spatial filter before it is imaged onto the charge-coupled devices. The spatial filter includes stripes of scattering regions that shift in synchronism with relative motion between the beam and the surface to block Fourier components from the pattern. The spatial filter may be replaced by reflective strips that selectively reflects scattered radiation to the detector, where the reflective strips also shifts in synchronism with the relative motion.

Abstract translation: 使用圆柱形镜或透镜将输入的准直光束聚焦到要检查的表面上的线上，其中线基本上在聚焦光束的入射平面中。 光束的图像被投影到平行于线的电荷耦合器件的阵列上，用于检测表面的异常和/或特征，其中阵列位于聚焦光束的入射平面之外。 为了在其上检查具有图案的表面，来自表面的光首先在其被成像到电荷耦合器件之前通过空间滤光器。 空间滤波器包括散射区域的条带，其与波束和表面之间的相对运动同步地移动，以阻止来自图案的傅立叶分量。 空间滤波器可以被选择性地将散射的辐射反射到检测器的反射条替代，其中反射条也与相对运动同步地移动。