미세 라인 레지스트 스트리핑 방법
    96.
    发明授权
    미세 라인 레지스트 스트리핑 방법 有权
    细线剥离方法

    公开(公告)号:KR101409496B1

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:KR1020077026692

    申请日:2006-05-26

    CPC classification number: G03F7/425

    Abstract: 본 발명은 미세 라인 레지스트 스트리핑 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 특히, 50㎛, 바람직하게는 25㎛ 이하의 크기를 특징으로 하는 미세라인 포토레지스트 필름에 적합한 기판상에서 포토레지스트 필름을 잔류물 없이 효율적으로 스트리핑하는 방법을 제공하는 동시에 미세 라인 스트리핑에 특히 적합하게 적용되는 용액의 수명을 강화하는 것이다.
    포토레지스트, 스트리핑, 스트리핑 강화제

    처리대상 물품을 전해시스템 내에서 운반하기 위한 방법,클램프 및 장치

    公开(公告)号:KR101343856B1

    公开(公告)日:2013-12-20

    申请号:KR1020077026944

    申请日:2006-05-24

    Abstract: 본 발명은 운반에 관한 것으로서 바람직하게는 예를 들어 인쇄회로기판 또는 도체박 형태의 처리대상 물품(1)을 전해시스템내에서 전기적으로 접촉시키는 것에 관한 것이다. 본 발명에 따른 장치는 운반로(4)를 따라서 이동할 수 있고 연속적으로 회전하는 구동수단(20)에 의해 구동되는 다수의 클램프(10)를 포함한다. 이 장치는 운반로(4)의 개시점(4a)에서 클램프(10)가 개방상태에서 폐쇄상태로 되어 처리대상 물품을 파지하고 바람직하게는 전기적으로 접촉시키기도 하며 운반로(4)의 종료점(4b)에서는 클램프(10)가 각기 폐쇄상태에서 개방상태로 되어 처리대상 물품(1)을 다시 해제할 수 있도록 하는 방식으로 구성된다. 이를 위해, 클램프(10)는 운반면(2)의 일측에 배치된 제 1 클램핑면(19), 및 운반면(2)의 반대측에 배치된 제 2 클램핑면(17)을 포함한다. 이 클램프(10)는 제 1 클램핑면(19) 및 제 2 클램핑면(17)이 모두 운반면(2)에 대하여 이동하여 클램프(10)를 개폐할 수 있는 방식으로 구성된다.
    인쇄회로기판, 도체박, 운반, 클램프, 전해시스템

    금속 코팅을 성막하기 위한 방법 및 설비
    99.
    发明公开
    금속 코팅을 성막하기 위한 방법 및 설비 有权
    用于沉积金属涂层的方法和装置

    公开(公告)号:KR1020130090872A

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:KR1020137000639

    申请日:2011-07-06

    CPC classification number: B05C11/00 B05D1/18 C23C18/1617 C23C18/54

    Abstract: 욕 (bath) 의 공정을 단순화하기 위하여, 제 2 금속을 노출시키는 가공물 (12) 에 제 1 금속의 코팅을 성막하는 방법이 제안되고, 이러한 방법은, a) 성막될 제 1 금속의 이온을 포함하는 욕 성분, 상기 제 2 금속 용의 적어도 하나의 착화제 그리고 적어도 하나의 산을 포함하는 욕액 (16) 을 제공하는 단계, b) 상기 가공물 (12) 에 상기 욕액 (16) 으로부터 상기 제 1 금속의 상기 코팅을 성막하는 단계, c) 상기 욕액 (16) 을 침강조 (18) 로 공급하는 단계, d) 침전물 및 여과액의 생성을 위해 침강조 (18) 내의 욕액 (16) 을 냉각시키는 단계로서, 상기 침전물은 상기 제 2 금속 및 상기 적어도 하나의 착화제를 포함하는 단계, e) 여과 장치 (20) 에 의해 상기 여과액으로부터 상기 침전물을 분리하는 단계, f) 상기 욕액 (16) 에 상기 여과액을 복귀시키는 단계, 그리고 g) 상기 욕� �� (16) 에 욕 성분을 보충시키는 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 방법은 상기 여과액으로부터 상기 침전물의 분리에 관하여, 상기 여과 장치에 의해 통해 압력차가 생성되는 것을 특징으로 한다.

    막 전기분해 스택, 스택을 포함한 전기 투석 기기 및 무전해 도금 배스의 재생 방법
    100.
    发明公开
    막 전기분해 스택, 스택을 포함한 전기 투석 기기 및 무전해 도금 배스의 재생 방법 有权
    膜电解堆积电极装置,其中包括用于再生电沉积浴的堆叠和方法

    公开(公告)号:KR1020130057963A

    公开(公告)日:2013-06-03

    申请号:KR1020127019831

    申请日:2011-04-13

    CPC classification number: B01D61/445 B01D61/44 C23C18/1617 C25D21/18

    Abstract: 전기 투석 기기에서 생물학적 오염을 방지하기 위해서, 막 전기분해 스택 및 이 막 전기분해 스택을 포함하는 전기 투석 기기가 고안된다. 전기 투석 기기는 바람직하게 무전해 도금 배스, 예를 들어 니켈 도금 배스를 재생하는 역할을 한다. 이것은 적어도 하나의 애노드 (An) 와 적어도 하나의 캐소드 (Ca) 뿐만 아니라 애노드 (An) 와 캐소드 (Ca) 사이에 각각 배치된 막 전기분해 스택을 포함하고, 모든 막 전기분해 스택은 서로의 상부에 쌓아올린 막과 그 사이에 각각 배치된 전해 구획을 포함하고, 적어도 하나의 제 1 및 적어도 하나의 제 2 막은 막 전기분해 스택에서 연속적으로 교대로 놓인다. 막 전기분해 스택에서 적어도 하나의 제 1 막과 적어도 하나의 제 2 막은 각각 서로 독립적으로 선택되고 막 전기분해 스택에서 적어도 하나의 제 1 막이 이극성 막 (BP) 이라는 조건에서 적어도 하나의 제 1 막은 음이온 교환막 (A) 과 이극성 막 (BP) 을 포함하는 그룹에서 선택되고, 적어도 하나의 제 2 막은 단일 선택성 음이온 교환막 (MSA), 단일 선택성 양이온 교환막 (CSA) 및 양성자 선택성 교환막을 포함하는 그룹에서 선택된다. 또한, 적어도 하나의 제 1 막의 캐소드측에 위치한 전해 구획은 재생될 전해액이 담긴 희석 구획 (Di1, Di2) 이고 적어도 하나의 제 2 막의 캐소드측에 위치한 전해 구획은 재생될 전해액에서 받아들인 간섭 이온이 담긴 농축 구획 (Co1, Co2, Co3) 이도록 제공된다.

    Abstract translation: 为了防止电渗析装置中的生物污染,产生包括膜电解堆叠的电渗析装置。 每个膜电解堆叠包括层叠在彼此之上的膜,并分别稀释并浓缩设置在其间的隔室,至少一个在膜电解堆叠中交替的第一和第二膜。 至少一个第一膜选自包含阴离子交换膜和双极膜的组,并且至少一个第二膜选自包含单选择性阴离子交换膜,单选择性阳离子交换膜和质子选择性交换膜 ,条件是膜分别独立地彼此选择,并且膜电解堆叠中的至少一个第一膜是双极膜。

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