公开(公告)号：CN102460673A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN200980159655.0

申请日：2009-06-02

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 木股友也

IPC: H01L21/677 ,  B65G47/90

CPC classification number: B65G37/02 ,  B65G47/61 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67736

Abstract: 本发明在环行移动的环形带上安装多个搬运器，并且在站上设置：机械手、使机械手在环行方向和上下方向移动的驱动部、测定环形带的移动量的移动量传感器、沿着环行方向在机械手的上游侧检测搬运器的搬运器传感器及使机械手动作的信号处理部。在装载的情况下，在移动量达到第一移动量时以第一加速度起动机械手，在卸载的情况下，在移动量达到大于第一移动量的第二移动量时，以大于第一加速度的第二加速度起动机械手，该移动量是从由搬运器传感器检测出搬运器的时间点起的移动量。搬运器检测后的信号处理的延迟不影响控制，而且装载和卸载都能够在几乎相同的区域交接。

公开(公告)号：CN102431798A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110287700.X

申请日：2011-09-26

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 粕谷透

IPC: B65G47/52 ,  B65G35/00

CPC classification number: B61B3/02 ,  B61B1/005 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

Abstract: 提供能够由卷帘门自如地开闭形成在壁上的开口、且尽量不产生行走导致的尘埃及振动地在壁两侧的空间之间运送物品的物品运送设备。运送空间被具有开口的壁分隔成第1空间和第2空间，设有沿着第1空间的第1行走轨道行走的第1移动体和沿着第2空间的第2行走轨道行走的第2移动体，在第1空间中以不与自如地开闭开口的卷帘门产生干涉的状态装配有自如地支撑物品的中转部，第1行走轨道装配成经由在第1移动体与中转部之间交接物品的第1空间侧移载位置，第2行走轨道装配成经由使物品在第2移动体与中转部之间以通过开口的形态交接的第2空间侧移载位置。

公开(公告)号：CN101261951B

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200810082481.X

申请日：2008-03-06

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 吉田充 ,  乾吉隆

IPC: H01L21/677 ,  B65G1/04

CPC classification number: B65G1/0407 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67769

Abstract: 物品收纳设备具备下述部件：沿着经由对于物品收纳架的物品移载位置的移动路径移动的物品搬送体；用于对物品收纳架搬出搬入物品的物品载置体，其构成为，在向物品收纳架的外方突出的物品接受用的突出位置和向物品收纳架的方向退回的退回位置上可自如进退地被设置在物品收纳架上；以及被设置在物品搬送体上，在停止在物品移载位置的状态下，将物品载置体进退操作到突出位置和退回位置的进退操作装置。

公开(公告)号：CN101151197B

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200680010374.5

申请日：2006-03-27

Applicant: 村田自动化机械有限公司

Inventor： 村田正直

IPC: B65G1/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67294 ,  B65G2201/0297 ,  G06Q10/06 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/68707

Abstract: 以低成本、简单并具有高度可靠性地管理被输送物体，该被输送物体在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令由多个输送设备输送。具有无线通信功能的ID卡20安装在所有载体18上，并且ID读/写单元25安装在一些输送设备10中。此外，相对于ID卡20，载体ID根据连接到ID读/写单元25的MCS4的指令被读或写，以便通过载体ID管理单元4a管理载体ID。

公开(公告)号：CN101513958A

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200910009317.0

申请日：2009-02-18

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 和田荣治

IPC: B65G1/04 ,  B66C11/00

CPC classification number: B65G37/02 ,  B65G1/0457 ,  B65G1/0485 ,  B65G2201/0297 ,  B65G2207/20 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67775 ,  Y10S414/14

Abstract: 本发明提供一种即使在地震等激烈的摇动时，也能够防止从天棚行走车移动载置来的物品翻倒、掉落的载置台。该载置台是载置具有朝向上方的抵接面部(510a)的物品(500)的载置台(300)，且在通过天棚行走车(100)将物品(500)在水平面内的移动输送方向移动输送后对物品进行载置，其具备：具备倾斜活动限制部(350a)，其相对载置物品(500)的承接部(300)固定，位于在物品(500)移动输送载置时与物品(500)不干涉的位置，并且位于在物品(500)移动输送载置时比抵接面部(510a)靠上的位置，并且位于通过与抵接面部(510a)的抵接对所载置的物品(500)的倾斜活动范围进行限制的位置。

公开(公告)号：CN101241873A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200810005472.0

申请日：2008-02-05

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 吉田充 ,  乾吉隆

IPC: H01L21/677 ,  B65G1/04 ,  B65G35/00 ,  B61B13/00 ,  B66C19/00

CPC classification number: B66C7/02 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  B66C1/28 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

Abstract: 本发明提供一种物品输送设备，可实现物品支承体的轻量化并防止物品在物品支承体上移动。配置在顶棚侧的物品支承体在具有左右一对支承臂部分(35)的移动框体(30)上，使载置和支承物品(5)底部的多个连接框体(36)沿远近方向隔开间隔地相对于左右一对支承臂部分定位，并且以连接该一对支承臂部分的状态设置。该移动框体相对于固定框体(29)在相对于停止在物品移载部位的移动体接近远离的远近方向上移动自如地得到支承，该支承臂部分形成为向远近方向延伸的形状。以下述状态设置与物品底部的被卡合部卡合的多个突起状物品定位部件(39)：通过位置限制部件(40)保持为在远近方向及远近方向的正交方向上分散的适当相对位置关系，且被支承在多个连接框体上。

公开(公告)号：CN101218157A

公开(公告)日：2008-07-09

申请号：CN200680025251.9

申请日：2006-07-10

Applicant: 阿赛斯特技术公司

Inventor： A·C·博诺拉 ,  R·G·海因 ,  M·克罗拉克

IPC: B65G15/12 ,  B65G47/26 ,  B65G43/10 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67763 ,  B65G15/12 ,  B65G43/10 ,  B65G47/268 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6773

Abstract: 本发明包括用于在整个制造工厂范围内移动半导体容器(2)的输送机(100)。在一个实施例中，输送机包括多个独立控制的输送机区域(Z)。每个输送机区域具有第一皮带(110)、第二皮带(112)、以及用于使第一和第二皮带以基本上相同的速度转动的驱动组件(130)。当容器沿输送机移动时，第一和第二皮带以基本上相同的速度被驱动并且可移动地支撑容器底板。在另一个实施例中，输送机包括尤其用于探测容器位置的传感器(200)。

公开(公告)号：CN108695202A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810269345.5

申请日：2018-03-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河边笃 ,  近藤圭祐

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B65G47/907 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/67155 ,  H01L21/67739

Abstract: 本发明提供一种小型的处理系统，其包括对晶片等的多个被处理体一并进行规定的处理的多反应器式的真空处理室，能够以高生产率对被处理体进行处理。本发明的处理系统(1)中，多反应器式的真空处理室(101～104)沿着规定的方向设置，输送设备3)分别沿着上述规定的方向设置，具有分别沿着上述规定的方向输送晶片(W)的第一共用输送装置和第二共用输送装置(30、31)，第一共用输送装置(30)从与上述规定的方向正交的方向的一方与真空处理室(101～104)分别连接，第二共用输送装置(31)从与上述规定的方向正交的方向的另一方与真空处理室(101～104)分别连接。

公开(公告)号：CN104787530B

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201510021768.1

申请日：2015-01-16

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 衣川知孝

IPC: B65G1/04 ,  B65G35/00

CPC classification number: H01L21/67775 ,  B65G35/06 ,  B65G37/00 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供一种物品输送台车。物品输送台车具备：台车主体，沿着行进路径行进；支承部，从下方支承物品的底面；进退用驱动部，使支承部沿着水平方向在突出位置与引退位置之间进退移动；推压部，位于被引退位置的支承部支承的物品的正上方；间隔切换用驱动部，将支承部与推压部的上下方向上的间隔在推压间隔与离开间隔之间切换。

公开(公告)号：CN106458444A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580023731.0

申请日：2015-04-13

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 池田昌弘 ,  福岛正纯 ,  伊藤靖久

IPC: B65G1/04 ,  B65G1/00

CPC classification number: B65G1/0464 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明的搬送系统及搬送方法使用多个缓存区(22)和能够自由地选择行走路径的多个局地台车(16)灵活地将物品搬入搬出装载口(14)。使具有提升卷扬机(50)的多个桥式吊车(4)沿着桥式吊车(4)的行走路径(6)行走。在桥式吊车比装载口(14)高的位置，配置局地台车(16)的行走路径(20)，使具备提升卷扬机(50)的多个局地台车(16)行走，沿着局地台车(16)的行走路径(20)设置多个缓存区(22)。局地台车(16)的行走路径(20)平行地设置多个，并且在局地台车(16)的行走路径(20)之间，局地台车(16)自由分支和汇合。用局地台车(16)在装载口(14)与缓存区(22)之间根据所述控制器的控制搬送物品，用桥式吊车(4)对装载口(14)或缓存区(22)通过所述控制器的控制移载物品，并且与离开局地台车(16)的行走路径(20)的区间之间搬送物品。(4)的行走路径的下部和多个装载口(14)的上部