公开(公告)号：WO2016145220A1

公开(公告)日：2016-09-15

申请号：PCT/US2016/021814

申请日：2016-03-10

Applicant: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA

Inventor： DAYEH, Shadi A. ,  RO, Yun Goo ,  PARK, Namseok ,  TANAKA, Atsunori ,  VISHNIAKOU, Siarhei ,  YOUSSEF, Ahmed ,  BUCKWALTER, James ,  LEVY, Cooper

IPC: A61B5/04 ,  A61B5/0408 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/142

CPC classification number: H01L27/142 ,  A61B5/0402 ,  A61B5/0476 ,  A61B5/0488 ,  A61B5/6802 ,  A61B2560/0214 ,  A61B2562/028 ,  A61B2562/125 ,  A61B2562/164 ,  B81B2201/0214 ,  B81C1/00238 ,  B81C2203/0792 ,  H01L31/042 ,  H02S40/44

Abstract: Methods and devices that monolithically integrate thin film elements/devices, e.g., environmental sensors, batteries and biosensors, with high performance integrated circuits, i.e., integrated circuits formed in a high quality device layer. Preferred embodiments further monolithically integrate a solar cell array. Preferred embodiments provide pin-size and integrated solar powered wearable electronic, ionic, molecular, radiation, etc. sensors and circuits.

Abstract translation: 将诸如环境传感器，电池和生物传感器的薄膜元件/器件单片集成到具有高性能集成电路，即在高质量器件层中形成的集成电路的方法和装置。 优选的实施例进一步整合了太阳能电池阵列。 优选实施例提供引脚尺寸和集成的太阳能驱动的可佩戴的电子，离子，分子，辐射等传感器和电路。

公开(公告)号：WO2011160074A1

公开(公告)日：2011-12-22

申请号：PCT/US2011/040965

申请日：2011-06-17

Applicant: ARIZONA BOARD OF REGENTS, A BODY CORPORATE OF THE STATE OF ARIZONA, ACTING FOR AN ON BEHALF OF ARIZONA STATE UNIVERSITY ,  SUTANTO, Jemmy ,  MUTHUSWAMY, Jitendran

Inventor： SUTANTO, Jemmy ,  MUTHUSWAMY, Jitendran

IPC: H01L23/48

CPC classification number: B81B7/0074 ,  A61B5/04001 ,  A61B2562/028 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2207/07 ,  B81C3/001 ,  H01L25/0657 ,  H01L2224/48145 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73257 ,  H01L2225/06568 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: A three dimensional cluster of MEMS components is formed by a stack of substrates supported by an adjacent substrate and separated therefrom. The MEMS components of the cluster may be microsensors for sensing electrical signals within biologic tissue.

Abstract translation: MEMS部件的三维簇通过由相邻基板支撑并从其分离的一组基板形成。 集群的MEMS组件可以是用于感测生物组织内的电信号的微传感器。

公开(公告)号：WO2010097548A1

公开(公告)日：2010-09-02

申请号：PCT/FR2010/050319

申请日：2010-02-24

Applicant: UNIVERSITE DES SCIENCES ET TECHNOLOGIES DE LILLE ,  ABBAS, Abdennour ,  GUILLOCHON, Didier ,  BOCQUET, Bertrand ,  SUPIOT, Philippe

Inventor： ABBAS, Abdennour ,  GUILLOCHON, Didier ,  BOCQUET, Bertrand ,  SUPIOT, Philippe

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00071 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/058 ,  B81B2203/0338 ,  B81C2201/0108 ,  B81C2201/018

Abstract: La présente invention concerne un procédé de fabrication de microcanaux sur un support, et un support comprenant ces microcanaux, trouvant notamment son application à la fabrication de supports microstructurés pour des systèmes microéiectroniques, microfluidiques, et/ou micromécaniques. Le procédé comprend une étape (a) de réalisation d'au moins un ou d'au moins deux motifs 2 à ia surface d'une couche inférieure 1, et une étape (b) de dépôt, par-dessus la couche inférieure et le motif ou les motifs, d'une couche 3 en matériau polymère obtenue par polymérisation, dans un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur assisté, éventuellement à distance, par plasma (PECVD, éventuellement RPECVD), d'un monomère organique ou organométallique comprenant des fonctions siloxanes, par exemple du tétraméthyldisiloxane. La couche en matériau polymère est déposée en sorte de créer, à la place du motif et après révélation par décomposition de ce motif, ou entre les deux motifs sans révélation-décomposition, un canal 4a, 4b, 4c, 4d fermé sur au moins une partie de sa longueur.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于在衬底上制造微通道的方法，以及涉及包括这种微通道的衬底，其特别可用于生产用于微电子，微流体和/或微机械系统的微结构化衬底。 该方法包括以下步骤：（a）在下层（1）的表面上制造至少一个或至少两个图案（2）;以及步骤（b），沉积到下层和图案 ），通过在具有硅氧烷功能的有机或有机金属单体的任选远程等离子体增强化学气相沉积反应器（PECVD，任选的RPECVD）中聚合制备的聚合物材料层（3），例如 四甲基二硅氧烷。 沉积聚合物材料层，以便在图案的代替和所述图案的分解之后或在两个图案之间产生无显影分解的通道（4a，4b，4c，4d），其被封闭 在其长度的至少一部分上。

公开(公告)号：WO2008118740A3

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：PCT/US2008057635

申请日：2008-03-20

Applicant: HONEYWELL INT INC ,  SERBAN BOGDAN CATALIN ,  AVRAMESCU VIOREL V ,  COBIANU CORNEL P ,  GEORGESCU ION ,  VARACHIU NICOLAE

Inventor： SERBAN BOGDAN CATALIN ,  AVRAMESCU VIOREL V ,  COBIANU CORNEL P ,  GEORGESCU ION ,  VARACHIU NICOLAE

IPC: G01N29/02 ,  B81B3/00 ,  G01N29/24 ,  H03H9/25

CPC classification number: G01N29/022 ,  B81B2201/0214 ,  B81C1/00206 ,  G01N29/2462 ,  G01N2291/021 ,  G01N2291/0423

Abstract: The design and deposition of a sensing layer for room temperature SAW/BAW chemical sensors utilizing macrocyclic compounds in accordance with supra-molecular chemistry principles. The gas to be sensed is attached to the organic sensing film thus changing its visco-elastic properties and creating a mass increase of the film deposited on the surface of SAW/BAW devices. A direct printing method can be used as an additive, mask-less procedure to deposit metallic interdigital transducers and electrodes required for SAW/BAW devices, along with the deposition of a guiding layer and the organic films only on the location required by the sensing SAW/BAW principle of the sensor. Different thermal treatment solutions can be used for the consolidation of the gelly organic films deposited by the direct printing methods.

Abstract translation: 根据超分子化学原理，使用大环化合物的室温SAW / BAW化学传感器的感测层的设计和沉积。 待感测的气体被附着到有机传感膜上，从而改变其粘弹性，并且产生沉积在SAW / BAW装置的表面上的膜的质量增加。 直接印刷方法可以用作为SAW / BAW器件所需的金属叉指式换能器和电极的添加剂，无掩模程序，以及引导层和有机膜的沉积仅在感测SAW所需的位置 / BAW原理的传感器。 不同的热处理溶液可用于固化通过直接印刷方法沉积的凝胶状有机膜。

公开(公告)号：WO2007014044A3

公开(公告)日：2008-09-25

申请号：PCT/US2006028395

申请日：2006-07-21

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN ,  ROUKES MICHAEL ,  TANG HONGXING ,  ARLETT JESSICA ,  GUDLEWSKI BENJAMIN ,  MALONEY JAMES

Inventor： ROUKES MICHAEL ,  TANG HONGXING ,  ARLETT JESSICA ,  GUDLEWSKI BENJAMIN ,  MALONEY JAMES

IPC: G01N33/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/0214 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  G01N29/036 ,  G01N33/54366 ,  G01N2291/0257

Abstract: A biosensor is comprised of a free and a biofunctionalized recognition self- sensing nanocantilever, a dock adjacent to the ends of the nanocantilevers, and a gap between the nanocantilevers and dock. The self-sensing cantilevers each include a semiconductor piezoresistor defined in a pair of legs about which the cantilevers flex. A bias power or current is applied to the piezoresistor. The sensitivity of the cantilevers is optimized for a given ambient temperature and geometry of the cantilevers and dock by minimizing the force spectral density, S F , of the cantilevers to determine the optimum bias power, P in . A sub-aN/VHz force sensitivity is obtained by scaling down the dimensions of the cantilevers and supplying an optimum bias power as a function of temperature and geometry.

Abstract translation: 生物传感器由免费的和生物功能化的识别自感纳米聚合物，与纳米悬臂梁的端部相邻的码头以及纳米悬臂和码头之间的间隙组成。 自感悬臂各自包括限定在一对腿部的半导体压敏电阻，悬臂弯曲在该支脚周围。 偏置电源或电流施加到压敏电阻。 通过使悬臂的力谱密度最小化来确定悬臂的灵敏度对于给定的环境温度和悬臂和基座的几何形状是优化的，以确定最佳偏压功率，P < 在。 通过缩小悬臂的尺寸并提供作为温度和几何形状的函数的最佳偏置功率，可以获得sub-aN / VHz力灵敏度。

公开(公告)号：WO2008018834A1

公开(公告)日：2008-02-14

申请号：PCT/SG2006/000227

申请日：2006-08-11

Applicant: AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH ,  AGARWAL, Ajay ,  SINGH, Navab ,  KUMAR, Rakesh ,  LAO, Ieng Kin ,  BALASUBRAMANIAN, Narayanan

Inventor： AGARWAL, Ajay ,  SINGH, Navab ,  KUMAR, Rakesh ,  LAO, Ieng Kin ,  BALASUBRAMANIAN, Narayanan

IPC: B82B1/00 ,  B82B3/00

CPC classification number: B01J19/0046 ,  B01J2219/00497 ,  B01J2219/00527 ,  B01J2219/00585 ,  B01J2219/00596 ,  B01J2219/00612 ,  B01J2219/00653 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00677 ,  B01J2219/00722 ,  B01J2219/00725 ,  B01J2219/00729 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2203/0338 ,  B81B2207/07 ,  B81C1/00119 ,  B82Y15/00 ,  C40B60/12 ,  Y10S977/957 ,  Y10S977/958

Abstract: A method of fabricating a sensor comprising a nanowire on a support substrate with a first semiconductor layer arranged on the support substrate is disclosed. The method comprises forming a fin structure from the first semiconductor layer, the fin structure comprising at least two supporting portions and a fin portion arranged there between; oxidizing at least the fin portion of the fin structure thereby forming the nanowire being surrounded by a first layer of oxide; and forming an insulating layer above the supporting portions; wherein the supporting portions and the first insulating layer form a microfluidic channel. A nanowire sensor is also disclosed. The nanowire sensor comprises a support substrate, a semiconducting fin structure arranged on the support substrate, the fin structure comprising at least two semiconducting supporting portions and a nanowire arranged there between; and a first insulating layer on a contact surface of the supporting portions; wherein the supporting portions and the first insulating layer form a microfluidic channel.

Abstract translation: 公开了一种制造传感器的方法，该传感器包括在支撑衬底上的纳米线，其中第一半导体层布置在支撑衬底上。 该方法包括从第一半导体层形成翅片结构，鳍结构包括至少两个支撑部分和布置在其间的翅片部分; 至少氧化翅片结构的翅片部分，从而形成由第一氧化物层包围的纳米线; 以及在所述支撑部分上方形成绝缘层; 其中所述支撑部分和所述第一绝缘层形成微流体通道。 还公开了一种纳米线传感器。 纳米线传感器包括支撑衬底，布置在支撑衬底上的半导体翅片结构，鳍结构包括至少两个半导体支撑部分和布置在其上的纳米线; 以及在所述支撑部分的接触表面上的第一绝缘层; 其中所述支撑部分和所述第一绝缘层形成微流体通道。

公开(公告)号：WO2005100235A1

公开(公告)日：2005-10-27

申请号：PCT/EP2005/051627

申请日：2005-04-13

Applicant: CANTION A/S ,  THAYSEN, Jacob

Inventor： THAYSEN, Jacob

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G01N29/036 ,  B81B3/0089 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/032 ,  B81B2203/0118 ,  G01N2291/0256

Abstract: The present invention relates to a sensor comprising one or more cantilevers for use in the detection of the presence of a target molecule in a fluid sample, change of temperature or other things that cause a change of stress in the surface of the cantilever. The sensor comprises a cantilever with an integrated piezoresistive element having a pair of wires for applying an electrical field. The piezoresistive element is of p-type silicon and is arranged to have a protruding direction which is orientated along the direction of the silicon. The cantilever is clamped along a clamping line L to the wall of the sensor, so that one or more piezoresistive element clamping line line sections are formed, with a piezoresistive element claming line (L) between the two outermost points including clamping of the piezoresistive element, which piezoresistive element clamping line is at least as long as the shortest distance (H) between the point of the piezoresistive element protruding furthest from the wall. The sensor comprising one or more cantilevers can be produced from standard silicon wafers by etching .

Abstract translation: 本发明涉及一种传感器，包括一个或多个悬臂，用于检测流体样品中目标分子的存在，温度变化或导致悬臂表面应力变化的其他物质。 传感器包括具有集成压阻元件的悬臂，其具有用于施加电场的一对电线。 压阻元件是p型硅，并且被布置成具有沿着硅的<110>方向取向的突出方向。 将悬臂沿着夹紧线L夹持到传感器的壁上，从而形成一个或多个压阻元件夹紧线路线段，其中两个最外点之间具有压阻元件夹紧线（L），包括压阻元件 所述压阻元件夹持线至少与压阻元件突出于最远处的压电点之间的最短距离（H）一样长。 包括一个或多个悬臂的传感器可以通过蚀刻由标准硅晶片制造。

公开(公告)号：WO2004018349A3

公开(公告)日：2005-01-20

申请号：PCT/FR0350036

申请日：2003-08-25

Applicant: ALCHIMER S A ,  TRONIC S MICROSYSTEMS ,  BUREAU CHRISTOPHE ,  KERGUERIS CHRISTOPHE ,  PERRUCHOT FRANCOIS

Inventor： BUREAU CHRISTOPHE ,  KERGUERIS CHRISTOPHE ,  PERRUCHOT FRANCOIS

IPC: A61B5/00 ,  B81B3/00 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0042 ,  A61B5/00 ,  B29C2043/5825 ,  B81B3/0094 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2201/06 ,  B81B2203/0127 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/181 ,  Y10S977/733 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: The invention relates to an electromechanical microstructure (1) consisting of a first mechanical part (102) which is made from a first conductive material and which comprises (i) an elastically-deformable area (104) having a given thickness value and an exposed surface (2) and (ii) a first organic film (4) having a given thickness, which is disposed over the entire exposed surface (2) of the aforementioned deformable area (104). The invention is characterised in that (a) the thickness of the first film (4) is such that the elastic response of the deformable area (104) comprising the first film (4) does not change by more than 5 % in relation to the response of the bare deformable area (104) or (b) in that the thickness of the first film (4) is ten times smaller than the thickness of the deformable area (104). The invention is suitable for the production of electromechanical microstructures.

Abstract translation: 本发明涉及一种由第一机械部件（102）组成的机电微结构（1），该第一机械部件由第一导电材料制成并且包括（i）具有给定厚度值的可弹性变形区域（104）和暴露表面 （2）和（ii）具有给定厚度的第一有机膜（4），其布置在上述可变形区域（104）的整个暴露表面（2）上。 本发明的特征在于：（a）第一薄膜（4）的厚度使得包括第一薄膜（4）的可变形区域（104）的弹性响应相对于第一薄膜（4）的变化不超过5％ （104）或（b）的响应之处在于第一膜（4）的厚度比可变形区域（104）的厚度小十倍。 本发明适用于机电微结构的制造。

公开(公告)号：WO2004018349A2

公开(公告)日：2004-03-04

申请号：PCT/FR2003/050036

申请日：2003-08-25

Applicant: ALCHIMER S.A. ,  TRONIC'S MICROSYSTEMS ,  BUREAU, Christophe ,  KERGUERIS, Christophe ,  PERRUCHOT, François

Inventor： BUREAU, Christophe ,  KERGUERIS, Christophe ,  PERRUCHOT, François

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G01L9/0042 ,  A61B5/00 ,  B29C2043/5825 ,  B81B3/0094 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2201/06 ,  B81B2203/0127 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/181 ,  Y10S977/733 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: Microstructure électromécanique (1) comprenant une première partie appelée partie mécanique (102) réalisée dans un premier matériau conducteur de l'électricité, et qui comprend d'une part une zone déformable de manière élastique (104) ayant une valeur d'épaisseur et une surface exposée (2), et d'autre part un premier film organique (4) ayant une épaisseur, présent sur l'ensemble de la surface exposée (2) de la dite zone déformable (104), caractérisé en ce que l'épaisseur du premier film (4) est telle que la réponse élastique de la zone déformable (104) munie du premier film (4) ne change pas de plus de 5 % par rapport à la réponse de la zone déformable nue (104) ou en ce que l'épaisseur du premier film (4) est inférieure à dix fois l'épaisseur de la zone déformable (104). Application à la fabrication de microstructures électromécaniques.

Abstract translation:

组织électromé机械（1），包括Premi＆egrave;再方呼叫部分E M E机械（102）RéALISéE在第一垫é廖内的DE驱动 电力é;，这首先包括一个区域Dé马尼成形＆egrave;再é弹性具有Dé厚度的值，并暴露é表面（104）; E（2），和其次的第一 有机薄膜（4），其具有的DE厚度，PRé感觉的整个暴露表面é上; E（2），所述区域可成形Dé（104）的，其特征在于éRISDé 在于所述第一膜（4）的é厚度使得第ré响应é弹性区DE成形设置有第一膜（104）（4）不改变超过5％ ＆agrave; Dé区的řé响应;裸可成形（104），或在所述第一膜的所述厚度é（4）小于Dé更高＆agrave; 十倍于可变形区（104）的厚度。 应用＆agrave; 电子微结构的制造。

公开(公告)号：WO1997033737A1

公开(公告)日：1997-09-18

申请号：PCT/US1997004005

申请日：1997-03-14

Applicant: PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE

Inventor： PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE ,  KIM, Enoch ,  XIA, Younan ,  MRKSICH, Milan ,  JACKMAN, Rebecca, Jane ,  WHITESIDES, George, M.

IPC: B29C37/00

CPC classification number: B81C1/00206 ,  A61K47/6957 ,  B01J19/0046 ,  B01J2219/00382 ,  B01J2219/00416 ,  B01J2219/0043 ,  B01J2219/00466 ,  B01J2219/00605 ,  B01J2219/00612 ,  B01J2219/00621 ,  B01J2219/0063 ,  B01J2219/00637 ,  B01J2219/00648 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00713 ,  B29C31/04 ,  B29C33/42 ,  B29C37/0053 ,  B29C39/24 ,  B29C67/246 ,  B29K2105/0002 ,  B81B2201/0214 ,  B81C2201/034 ,  B82Y30/00 ,  C40B60/14 ,  H05K3/0079 ,  H05K3/061

Abstract: Techniques for patterning chemically or biochemically active agents on a substrate surface involve providing a micromold having a contoured surface including indentations defining a pattern and forming, on a substrate surface, a chemically or biochemically active agent or fluid precursor of a structure on the surface. A chemically or biochemically active agent or fluid precursor also can be transferred from indentations in an applicator to a substrate surface. The substrate surface can be planar or non-planar. Fluid precursors of polymeric structures, inorganic ceramics and salts, and the like can be employed to form patterned polymeric articles, inorganic salts and ceramics, etc. at the surface. The articles, according to one aspect, are formed in a pattern including a portion having a lateral dimension of less than about 1 millimeter. Smaller dimensions can be achieved. The indentation pattern of the applicator can be used to transfer separate, distinct chemically or biochemically active agents or fluid precursors to separate, isolated regions of a substrate surface. The invention provides for inexpensive and simple synthesis of a combinatorial chemical or biochemical library.

Abstract translation: 在衬底表面上化学或生物化学活性剂图案的技术涉及提供具有轮廓表面的显微镜，其包括限定图案的凹痕，并在衬底表面上形成表面上结构的化学或生物化学活性剂或流体前体。 化学或生化活性剂或流体前体也可以从施用器中的凹陷转移到基底表面。 衬底表面可以是平面的或非平面的。 聚合物结构，无机陶瓷和盐等的流体前体可用于在表面形成图案化的聚合物制品，无机盐和陶瓷等。 根据一个方面的制品以包括具有小于约1毫米的横向尺寸的部分的图案形成。 可以实现更小的尺寸。 涂抹器的压痕图案可用于将单独的，不同的化学活性剂或生物化学活性剂或流体前体转移到基底表面的分离的，分离的区域。 本发明提供组合化学或生物化学文库的廉价和简单的合成。