Method for fabricating microstructure to generate surface plasmon waves
    92.
    发明公开
    Method for fabricating microstructure to generate surface plasmon waves 有权
    制造一个微结构为表面等离激元波的产生的方法

    公开(公告)号:EP2860152A1

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:EP14182597.6

    申请日:2014-08-28

    Abstract: A method for fabricating a microstructure to generate surface plasmon waves comprises steps of: (S1) preparing a substrate (10), and (S2) using a carrier material (22) to carry a plurality of metallic nanoparticles (21) and letting the metallic nanoparticles (21) undertake self-assembly to form a microstructure on the substrate (10), wherein the metallic nanoparticles (21) are separated from each other or partially agglomerated to allow the microstructure to be formed with a discontinuous surface. The present invention fabricates the microstructure having the discontinuous surface by a self-assembly method to generate the surface plasmon waves, thus exempts from using the expensive chemical vapor deposition (CVD) technology and is able to reduce the time and cost of fabrication. The present invention also breaks the structural limitation on generation of surface plasmon waves to enhance the effect of generating the surface plasmon waves.

    DISPOSITIF D'ANALYSE SPECTROSCOPIQUE MOBILE, NOTAMMENT POUR ANALYSES GÉOLOGIQUES
    96.
    发明申请
    DISPOSITIF D'ANALYSE SPECTROSCOPIQUE MOBILE, NOTAMMENT POUR ANALYSES GÉOLOGIQUES 审中-公开
    移动光谱分析装置,特别是地质分析

    公开(公告)号:WO2015189283A1

    公开(公告)日:2015-12-17

    申请号:PCT/EP2015/062961

    申请日:2015-06-10

    Abstract: Dispositif d'analyse LIBS comprend une source de rayonnement laser et une tête de mesure avec des moyens optiques d'illumination aptes à diriger au moins deux faisceaux laser séparés vers une cible à analyser, de sorte à former au moins deux points d'analyse séparés spatialement sur la cible, selon un motif prédéfini; et des moyens optiques de collecte de la lumière émise par interaction du rayonnement laser incident avec la cible, lesdits moyens optiques de collecte ayant un champ de vision dans lequel se trouvent lesdits au moins deux points de mesure. Un ou des spectromètres est (sont) utilisé(s), pour analyser la lumière transmise par les moyens optiques de collecte et générer des données spectrales LIBS. Des câbles de transmission à fibres optiques transmettent le rayonnement laser de la source à la tête de mesure, et le rayonnement collecté par les moyens optiques de collecte vers le(s) spectromètre(s).

    Abstract translation: LIBS分析装置包括激光辐射源和具有光学照明装置的测量头,所述光学照明装置适合于将至少两个分离的激光束朝向要分析的靶引导,以便在空间上分离的目标上形成至少两个分析点,所述分析点根据 预定义模式; 以及用于收集通过入射激光辐射与目标物的相互作用发射的光的光学收集装置,所述光学收集装置具有所述至少两个测量点所在的视场。 使用一个或多个光谱仪来分析由光学收集装置传输的光并产生LIBS光谱数据。 光纤传输电缆将来自源的激光辐射传输到测量头,并且由光学收集装置收集的辐射传输到光谱仪。

    COMBINED IMAGING AND SCATTEROMETRY METROLOGY
    97.
    发明申请
    COMBINED IMAGING AND SCATTEROMETRY METROLOGY 审中-公开
    组合成像和扫描量热计

    公开(公告)号:WO2014194095A1

    公开(公告)日:2014-12-04

    申请号:PCT/US2014/040030

    申请日:2014-05-29

    Abstract: Metrology targets, design files, and design and production methods thereof are provided. The targets comprise two or more parallel periodic structures at respective layers, wherein a predetermined offset is introduced between the periodic structures, for example, opposite offsets at different parts of a target. Quality metrics are designed to estimate the unintentional overlay from measurements of a same metrology parameter by two or more alternative measurement algorithms. Target parameters are configured to enable both imaging and scatterometry measurements and enhance the metrology measurements by the use of both methods on the same targets. Imaging and scatterometry target parts may share elements or have common element dimensions. Imaging and scatterometry target parts may be combined into a single target area or may be integrated into a hybrid target using a specified geometric arrangement.

    Abstract translation: 提供了计量目标,设计文件及其设计和制作方法。 目标在相应的层上包括两个或更多个平行的周期性结构,其中在周期性结构之间引入预定的偏移,例如,在目标的不同部分处的相反的偏移。 质量度量被设计为通过两个或更多个替代测量算法从相同测量参数的测量中估计无意重叠。 目标参数被配置为启用成像和散射测量,并通过在同一目标上使用这两种方法来增强计量测量。 成像和散射目标部分可以共享元素或具有共同的元素维度。 成像和散射目标部分可以组合成单个目标区域,或者可以使用指定的几何排列集成到混合目标中。

    MULTI-LAYERED TARGET DESIGN
    98.
    发明申请
    MULTI-LAYERED TARGET DESIGN 审中-公开
    多层目标设计

    公开(公告)号:WO2014193983A1

    公开(公告)日:2014-12-04

    申请号:PCT/US2014/039833

    申请日:2014-05-28

    Inventor: NURIEL, Amir

    Abstract: Multi-layered targets, design files and design and production methods thereof are provided. The multi-layered targets comprise process layers arranged to have parallel segmentation features at specified regions, and target layer comprising target elements which are perpendicular to the parallel segmentation features of the process layers at the specified regions.

    Abstract translation: 提供了多层目标,设计文件及其设计和制作方法。 多层目标包括布置成在特定区域具有平行分割特征的处理层,目标层包括垂直于指定区域处理层的平行分割特征的目标元素。

    COMPOUND OPTICAL FLOW CELLS AND METHOD OF MANUFACTURE AND USE
    99.
    发明申请
    COMPOUND OPTICAL FLOW CELLS AND METHOD OF MANUFACTURE AND USE 审中-公开
    化合物光学细胞及其制备和使用方法

    公开(公告)号:WO2014144868A1

    公开(公告)日:2014-09-18

    申请号:PCT/US2014/029460

    申请日:2014-03-14

    Abstract: An improved optical flow cell adapted for use in a flow cytometer for differentiating formed bodies (e.g., blood cells) in liquid suspensions. Preferably manufactured by assembling, aligning, and optically joining at least two elements made from transparent material, the improved flow cell has a seamless internal flow channel of preferably non-circular cross-section in a cylindrical first element through which prepared samples can be metered and an independent second element having an external envelope suited to acquisition of optical parameters from formed bodies in such suspensions, the second element being conforming and alignable to the first element so that non-axisymmetric refractive effects on optical characterizing parameters of formed bodies passing through the flow channel in the first element may be minimized before the two elements are optically joined and fixed in working spatial relationship.

    Abstract translation: 一种改进的光学流通池,适用于流式细胞仪,用于分离液体悬浮液中的成形体(例如血细胞)。 优选通过组装,对准和光学地连接由透明材料制成的至少两个元件来制造,改进的流动池具有在圆柱形第一元件中优选非圆形横截面的无缝内部流动通道,通过该圆形第一元件可以计量准备的样品, 独立的第二元件具有适合于在这种悬架中从成形体获取光学参数的外部包络线,所述第二元件与第一元件一致并对齐,使得对通过流动的成形体的光学特性参数的非轴对称折射效应 在两个元件以工作空间关系被光学地连接和固定之前,第一元件中的通道可以被最小化。

    INSPEKTIONSVORRICHTUNG
    100.
    发明申请
    INSPEKTIONSVORRICHTUNG 审中-公开
    检查设备

    公开(公告)号:WO2014086511A1

    公开(公告)日:2014-06-12

    申请号:PCT/EP2013/069156

    申请日:2013-09-16

    Inventor: SROCKA, Bernd

    Abstract: Eine Vorrichtung zur Inspektion von flachen Objekten, insbesondere Wafer, enthaltend eine Objekthalterung; eine Kameraanordnung mit einer Kamera zur Aufnahme eines Bildes zumindest eines Teiles des Objekts; eine Antriebsanordnung zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen der Kameraanordnung und dem Objekt von einer ersten Aufnahmeposition in wenigstens eine weitere Aufnahmeposition; ist dadurch gekennzeichnet, dass die Kameraanordnung wenigstens eine weitere Kamera aufweist; die in unterschiedliche Kameras abgebildeten Objektbereiche zumindest teilweise unterschiedlich sind, wobei alle Kameras gemeinsam nur einen Teil des gesamten Inspektionsbereichs des Objekts gleichzeitig erfassen; und durch die mit der Antriebsanordnung erzeugte Relativbewegung zwischen Kameraanordnung und Objekt jeder Objektpunkt des gesamten Inspektionsbereichs zumindest einmal in eine der Kameras abbildbar ist.

    Abstract translation: 扁平物体,特别是晶片,包括:试样保持器的检查的装置; 具有用于捕获对象的至少一部分的图像的摄像机的摄像机组件; 用于从至少一个第一接收位置进一步接收位置生成所述相机组件和所述物体之间的相对运动的驱动装置; 的特征在于,所述相机装置具有至少一个另外的摄像机; 在不同摄像机的对象成像的区域是部分不同的至少,所有的摄像机捕获一起仅在同一时间的对象的整个检查区域的一部分; 和整个检查区域的每个对象点可以在至少一次使用照相机组件和对象之间所述驱动组件的相对运动所产生的摄像机由热一个进行成像。

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