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公开(公告)号：CN116165401A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310145918.4
申请日：2023-02-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及一种适用于STM－BJ的低漏电流针尖及其制备方法，包括：制备未包封的金针尖；将所述未包封的金针尖浸没于含巯基硅烷的乙醇溶液中，充分浸泡后得到表面吸附有巯基硅烷的金针尖；将所述表面吸附有巯基硅烷的金针尖通过去离子水冲洗，再将所述表面吸附有巯基硅烷的金针尖浸没于盐酸水溶液中，充分反应后得到包覆有羟基分子膜的金针尖；将所述包覆有羟基分子膜的金针尖的一部分隔离，暴露待包封区域，放入原子层沉积系统；向所述原子层沉积系统中通入含氧源和含铪源，在所述包覆有羟基分子膜的金针尖的待包封区域沉积二氧化铪，得到低漏电流针尖。
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公开(公告)号：CN116046823A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211326479.9
申请日：2022-10-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： H.斯特曼
IPC: G01N23/2202 , G01N23/20008 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及一种用于通过使用材料加工装置来在物体上制备样本的方法。本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的材料加工装置。该方法包括：沿第一线在第一方向上引导光束经过物体的表面，其中在引导光束经过物体的表面时对物体的材料进行削磨；将第一方向改变为第二方向；沿第二线在第二方向上引导光束经过物体的表面，其中在沿第二线引导光束经过物体的表面时对物体的材料进行削磨，其中以脉冲的方式提供光束并且将光束引导到物体的表面上，其方式为使得在光束装置的第一操作状态下光束从物体削磨材料并且在第二操作状态下没有将光束引导到物体上，并且其中在第一操作状态下通过削磨物体上的材料来制备样本。
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公开(公告)号：CN115917700A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202180039316.X
申请日：2021-05-25
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： 王勇新
IPC: H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 一种检测器包括：多个感测元件；区段电路系统，将第一感测元件集通信地耦合到第一信号处理电路系统的输入；以及开关网络，对感测元件集进行连接。元件间开关可以对相邻的感测元件(包括在对角线方向上的感测元件)进行连接。输出总线可以通过开关元件连接到第一集中的每个感测元件。可以在一个感测元件处布置有公共输出(拾取点)，该公共输出被配置为输出来自第一集的信号。提出了各种开关和布线方案。例如，公共输出可以直接连接到开关网络。可以在输出总线与第一信号处理电路系统之间提供开关。可以在开关网络与第一信号处理电路系统之间提供开关。
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公开(公告)号：CN115881502A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211201399.0
申请日：2022-09-29
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/18 , H01J37/26 , G01N23/2251
Abstract: 根据本公开，一种用于研究样品的模块化超高真空（UHV）电子显微镜包括：UHV室，所述UHV室被配置成在UHV室内达到并维持超高真空；UHV工作台，所述UHV工作台保持被研究的所述样品；带电粒子源，所述带电粒子源被配置成朝向所述样品发射电子束；以及光学柱，所述光学柱被配置成引导多个电子入射到所述样品上。所述模块化UHV电子显微镜进一步包括转盘真空隔室，所述转盘真空隔室被配置成独立于所述UHV室达到并维持UHV，并且所述转盘真空隔室经由端口连接到所述UHV室并容纳至少一个装置操纵器。所述装置操纵器中的每一个包含用于显微镜装置的附接位点，并且被配置成经由阀在所述转盘真空隔室和所述UHV室之间选择性地平移所附接的显微镜装置。
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公开(公告)号：CN115881499A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211197555.0
申请日：2022-09-29
Applicant: FEI 公司
Inventor： A·穆罕默德-盖达里 , P·C·蒂梅耶 , A·亨斯特拉 , T·拉德里卡
IPC: H01J37/145 , H01J37/28
Abstract: 用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块。根据本公开的一种用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块包含：结构，所述结构定位在电子源的下游；以及电子透镜组合件，所述电子透镜组合件定位在所述结构与所述电子源之间。所述结构产生减速电场，并且被定位成防止电子沿着所述电子透镜组合件的光轴穿过。所述电子光学模块进一步包含微透镜，所述微透镜不定位在所述电子透镜组合件的所述光轴上并且被配置成向离轴电子束施加透镜效应。由所述微透镜和所述电子透镜组合件施加到所述离轴电子束的像差组合，使得所述离轴束的彗差在下游平面中具有期望值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115732298A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211477788.6
申请日：2022-11-23
Applicant: 国仪量子(合肥)技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、磁透镜和样品台。钨灯丝电子枪包括阴极，阴极连接负电位，负电位为对地负电压；电压管与钨灯丝电子枪间隔设置，电压管内形成有通道，通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过，电压管连接正电位，正电位为对地正电压；磁透镜环绕在电压管外，用于对电子束进行会聚；样品台设置在电压管背离钨灯丝电子枪的一侧，用于承载样品。电压管连接正电位，电压管和阴极之间形成较大的电场，使得钨灯丝电子枪的灯丝尖端表面的具有较高的场强，从而克服空间电荷效应对束流亮度的限制，从而显著地提高束流亮度，进而提升基于钨灯丝作为电子源的扫描电子显微镜的分辨率。
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公开(公告)号：CN115732295A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211047168.9
申请日：2022-08-29
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/141 , H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及一种粒子束柱，该粒子束柱被配置为生成例如电子或离子的带电粒子的粒子束，并且将粒子束引导到样品上。粒子束柱包括多孔径光阑和偏转系统，该偏转系统用于选择性地引导粒子束通过设置在多孔径光阑中的多个孔径之一。孔径具有不同的大小，以便将粒子束的电流强度限制为不同的值。粒子束柱还包括用于改变在第一光阑的上游的粒子束的发散角的透镜。透镜可以包括磁透镜，该磁透镜包括具有多个部分的磁芯，这些部分彼此电绝缘并且可以在操作期间具有明显不同的电位。磁芯的一些部分可以在操作期间具有与第一光阑相同的电位。
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公开(公告)号：CN115699245A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180039305.1
申请日：2021-04-29
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
Abstract: 提供了一种多束带电粒子检查系统和一种操作多束带电粒子检查系统的方法，用于具有高通过量和高分辨率以及高可靠性的晶片检查。该方法和多束带电粒子束检查系统配置成从多个传感器数据中提取一组控制信号来控制多束带电粒子束检查系统，从而维持成像规范，包括在晶片检查任务期间晶片台的移动。特别地，该系统操作为使得时间间隔Tr与图像采集的时间间隔Ts1和/或Ts2重叠。
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公开(公告)号：CN115692145A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211714403.3
申请日：2022-12-30
Applicant: 北京中科科仪股份有限公司
Inventor： 田贵宾
IPC: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 本发明公开了一种SEM样品放置装置，包括样品托和检测电路；样品托包括检测PCB板和样品托主体，样品托主体固定在SEM样品台上，检测PCB板叠加固定在样品托主体上；在检测PCB板和样品托主体相同的一侧，从上到下设置有开槽，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间；在检测PCB板的上表面，分别在开槽的两侧设有第一检测区域和第二检测区域，第一检测区域和第二检测区域的轮廓与导电样品的底部轮廓相同，且覆有导电涂层，第一检测区域和第二检测区域通过PCB布线与检测电路连接；本发明提供的技术方案，能够对导电样品是否准确放置进行检测。
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公开(公告)号：CN115668432A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180039141.2
申请日：2021-05-05
Applicant: 应用材料以色列公司
Inventor： D·密特斯
IPC: H01J37/248 , G05F1/46 , H01J37/28
Abstract: 一种可包括噪声降低单元(MNRU)和偏压设置单元(BSU)的方法和高电压(HV)系统。HV系统可在高电压供应线上从HV供应单元接收HV供应信号。HV供应单元、MNRU、BSU和HV带电粒子系统可共享接地。至少MNRU可检测HV供应信号中的噪声，并且通过接地发送噪声补偿信号。BSU可接收关于偏压电压的请求值的指示，并且将偏压电压施加至经噪声补偿的HV信号，以将经偏压的和经噪声补偿的HV信号提供至HV带电粒子系统。
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