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公开(公告)号：KR1020080067916A
公开(公告)日：2008-07-22
申请号：KR1020070005413
申请日：2007-01-17
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N33/48
Abstract: An apparatus for measuring cellular metabolic information is provided to measure the cellular metabolic information existing in each of wells, measure temperature of cells easily, and measure the cellular metabolic information and well inside temperature in real time with maintaining precise resolution. An apparatus for measuring cellular metabolic information comprises: a micro-plate(110) where a plurality of wells(120) are arranged; a temperature measuring portion(160) including a plurality of temperature sensors, each of which is dipped inside the well for measuring temperature of a culture solution or cells; and a temperature data processing portion(170) which signal-processes the temperature measured by the temperature measuring portion to calculate the temperature of the culture solution or the cells. The apparatus further comprises a temperature sensor including a light source(100) for applying light to the micro-plate, a measuring plate(130) where a plurality of photodetectors(140) are placed corresponding to the plurality of the wells to detect the light passed through the wells and a photodetector data processing portion(150) which processes signals received from the plurality of photodetectors to generate and output the cellular metabolic information.
Abstract translation: 提供了一种用于测量细胞代谢信息的装置，用于测量每个孔中存在的细胞代谢信息，容易测量细胞的温度，并且在保持精确分辨率的情况下实时测量细胞代谢信息和良好的内部温度。 用于测量细胞代谢信息的装置包括：其中布置有多个孔（120）的微板（110）; 温度测量部分（160），其包括多个温度传感器，每个温度传感器浸入所述阱内以测量培养液或细胞的温度; 以及信号处理由温度测量部测量的温度以计算培养液或细胞的温度的温度数据处理部分（170）。 该装置还包括温度传感器，其包括用于向微板施加光的光源（100）;测量板（130），其中多个光电检测器（140）对应于多个阱放置以检测光 通过阱和光电检测器数据处理部分（150），其处理从多个光电检测器接收的信号以产生并输出细胞代谢信息。
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公开(公告)号：KR100782352B1
公开(公告)日：2007-12-11
申请号：KR1020050128875
申请日：2005-12-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/31
Abstract: 본 발명은 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 가스 감지를 위하여 광이 이동되는 채널 홈을 절곡시켜 동일한 크기에서 광의 이동거리를 증가시켜, 흡광도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 절곡된 홈을 적용하여 이 홈을 수용할 수 있는 기판의 크기가 줄어들어서, 스펙트로미터의 크기를 줄일 수 있어, 장치를 휴대할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 광의 이동거리를 증가시켜, 저농도의 가스 성분을 측정할 수 있는 효과가 있다.
마이크로, 감지, 스펙트로미터, 절곡, 홈-
公开(公告)号：KR100703889B1
公开(公告)日：2007-04-05
申请号：KR1020030098927
申请日：2003-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/01
CPC classification number: B01F5/0646 , B01F5/0647 , B01F13/0059 , B01L3/502707 , B01L2300/0654 , B01L2300/0816 , B01L2300/0867 , B01L2300/0887 , B01L2300/1827 , G01N2201/08
Abstract: 본 발명은 용액 성분 분석을 위한 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 혼합채널, 반응채널과 측정채널을 연속적인 미세한 홈으로 하나의 기판에 형성시켜 용액 성분 분석을 위한 소자를 구현함으로써, 소형화시킬 수 있으며, 이동하여 신속히 시료를 분석할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 용액 성분 분석을 위한 소자의 측정채널과 광섬유 사이에 투명한 실리콘 산화막을 형성함으로써, 광섬유 삽입이 용이하게 되어 시료 분석을 위한 광학계 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다.
미세 분석 소자, 혼합기, 반응기, 미세 채널-
公开(公告)号：KR100631187B1
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：KR1020040083773
申请日：2004-10-19
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/09
Abstract: 본 발명은 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키지 및 그의 패키징 방법에 관한 것으로, 적외선을 투과시킬 수 있는 기판 상부에 하부전극, 적외선 감지물질막과 상부 전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 적외선 감지 소자와; 상부 중앙영역에 오목 렌즈 영역이 형성되어 있고, 그 오목 렌즈 영역 상부에 반사막이 형성되어 있고, 상기 오목 렌즈 영역이 형성되어 있지 않은 상부에 금속 패턴이 형성되어 있고, 상기 금속 패턴 상부에 범프(Bump)가 형성되어 있으며, 상기 적외선 감지 소자의 상, 하부전극이 범프에 본딩되어 있는 베이스 기판으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 반도체 공정을 이용하여 오목 렌즈와 적외선 감지물질막이 대향되도록 적외선 감지 소자를 패키징함으로써, 패키지의 크기를 작게할 수 있고, 오목 렌즈에 광이 모아져서 감지물질막으로 입사됨으로써, 적외선 감지 효율을 증가시킬 수 있는 우수한 효과가 있다.
적외선, 감지, 패키지, 오목, 렌즈, 반사경-
公开(公告)号：KR100620255B1
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：KR1020040021693
申请日：2004-03-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/00
Abstract: 본 발명은 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 멤스 공정 기술을 이용한 초소형 화학 센서 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제조 방법은 실리콘 기판 상부에 형성된 실리콘 질화막 칸티레버; 상기 실리콘 질화막 칸티레버 상부에 형성된 실리콘 산화막; 상기 실리콘 산화막 상부에 소정의 크기로 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상부에 압전 구동을 위해 형성된 압전 구동층; 상기 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극간 절연을 위해 형성된 절연층; 상기 절연층의 상부 및 상기 압전 구동층의 상부에 형성된 상부 전극 및 상기 상부 전극과 하부 전극에 소자의 구동을 위해 전계를 인가하기 위해 형성된 전극 라인으로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법은 외부로부터 극소량의 ppb 또는 ppt 수준의 산업 환경유해 물질의 농도에 신속하게 반응하여 공진주파수의 변화를 통해 즉시 감지가 가능하여 빠른 응답 속도와 높은 감도 낮은 전력 손실이 가능한 장점이 있고, 시스템의 소형화로 인한 휴대형화, 실리콘 반도체 가공기술로 대량생산에 따른 제조원가 절감 및 집적의 용이함, 다양한 감지 대상 물질을 감지할 수 있도록 어레이 형태로 제작이 가능하며, 생명공학, 의학 및 환경관련 분야에 활용이 가능한 효과가 있다.
멤스, 마이크로 칸티레버-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100606496B1
公开(公告)日：2006-07-31
申请号：KR1020030086239
申请日：2003-12-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01T1/16
Abstract: 본 발명은 인체영상센서의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 정렬핀을 이용하여 격벽구조물을 이미지 센서에 정렬하는 인체영상센서의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 인체영상센서의 제작 방법은 격벽구조물과 이미지 센서를 사용하는 인체영상센서의 제작 방법에 있어서, 소정 크기와 형상의 다수의 구멍이 형성된 격벽구조물에 정렬핀의 위치를 제작하는 단계; 상기 격벽구조물의 구멍에 변환물질을 채우는 단계 및 상기 격벽구조물과 이미지 센서를 정렬핀을 이용하여 정렬하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 인체영상센서의 제작 방법은 정렬핀을 이용하여 격벽구조물을 정렬함으로써, 별도의 복잡한 광학렌즈나 장치없이도 제작할 수 있기에 공정이 간단하다는 장점이 있고, 별도의 시설이 필요없기 때문에 경비 절감에 효과적이다.
인체영상센서, 정렬핀, 격벽-
公开(公告)号：KR100574781B1
公开(公告)日：2006-04-28
申请号：KR1020040111217
申请日：2004-12-23
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 용액 성분 분석을 위한 소자에 관한 것으로, 반응채널에서 분기된 압력 해제 채널과 압력 해제구를 형성함으로써, 반응이 느린 시료들을 측정채널에 가두워 놓고, 반응시킨 후 또는 장시간 시료가 반응되는 것을 측정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 측정채널과 대응된 끝단으로부터 일정간격 이격된 영역의 폭이 나머지 영역의 폭보다 큰 광섬유 삽입홈을 형성함으로써, 광섬유를 광섬유 삽입홈에 본딩을 위한 에폭시는 모세관 현상에 의해 광섬유 삽입홈의 끝단에는 침투하지 않아 광섬유가 에폭시에 오염되지 않게되어 광특성이 좋아져, 측정 특성을 우수하게 할 수 있는 효과 있다.
미세 분석 소자, 혼합기, 반응기, 미세 채널Abstract translation: 本发明涉及一种用于成分分析的溶液的装置，由形成所述压力释放通道和释压，得到在反应通道的分支，该反应左关战争测量较慢的采样信道，一个反应，或很长一段时间后的试样进行反应 有一个可以测量的效果。
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公开(公告)号：KR1020060008496A
公开(公告)日：2006-01-27
申请号：KR1020040056783
申请日：2004-07-21
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/14
CPC classification number: G01N27/16 , G01N27/31 , G01N27/333
Abstract: 본 발명은 미세 다공성 구조물을 갖는 가스센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 기판과; 상기 실리콘 기판의 중앙 영역 상부에서 내부로 형성된 미세 다공성 실리콘 산화 구조물과; 상기 미세 다공성 실리콘 산화 구조물을 포함하여 실리콘 기판 전면 상부에 형성된 멤브레인(Membrane)막과; 상기 미세 다공성 실리콘 산화 구조물이 존재하는 영역의 멤브레인막 상부에 형성된 가열 전극 패턴과; 상기 가열 전극 패턴 양측의 멤브레인막 상부에 형성된 감지 전극 패턴과; 상기 감지 전극 패턴을 제외하고 가열 전극 패턴을 감싸며, 상기 멤브레인막 상부에 형성된 절연막과; 상기 가열 전극 패턴을 감싸는 절연막을 내장시키며, 상기 감지 전극 패턴을 감싸는 감지막으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 미세 다공성 실리콘 산화 구조물 상에 가스센서를 제조함으로써, 열 손실을 최소화할 수 있고, 외부 진동 및 충격과 가열부의 열에 의해 발생하는 열 응력에 의한 맴브레인의 파손을 최소화 할 수 있어 소자의 내구성을 높일 수 있는 효과가 있다.
다공, 가스센서, 멤브레인, 전기화학, 진공, 열, 손실-
公开(公告)号：KR1020050117321A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：KR1020040042605
申请日：2004-06-10
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H03M1/38
CPC classification number: H03M1/38 , H03M1/1205 , H03M1/14 , H03M2201/2233 , H03M2201/62 , H03M2201/93
Abstract: 본 발명은 N 비트 축차근사형 아날로그-디지털 변환 장치(SAR ADC)에 관한 것으로서, 상기 아날로그 신호를 입력받고 N 비트의 디지털 코드에 따라 기준 전압을 분배하여 입력 신호와 비교하며, 상기 비교 결과에 따라 입력 신호에 대응하는 N 비트의 디지털 코드를 비트별로 순차적으로 판정하는 N 비트 축차근사형 아날로그-디지털 변환기와, 상기 N 비트 축차근사형 아날로그-디지털 변환기에 의해 N 비트의 디지털 코드 판정이 완료되면, 판정 오차를 N 비트 축차근사형 아날로그-디지털 변환기에 입력하고 상기 기준 전압을 2
N 배로 분주하며 디지털 코드의 판정이 완료될 때까지 후속 비트를 순차적으로 판정하도록 상기 N 비트 축차근사형 아날로그-디지털 변환기를 제어하는 제어 수단을 포함한다. 본 발명에 따르면, SAR ADC를 단위 블록으로 사용하여 보다 큰 해상도의 SAR ADC를 용이하게 구현할 수 있으며, SAR ADC에서 사용되는 캐패시터의 수와 면적을 감소시켜서 높은 해상도의 SAR ADC를 적은 면적으로 구현할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020050116902A
公开(公告)日：2005-12-13
申请号：KR1020040041946
申请日：2004-06-08
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01L7/08
CPC classification number: G01L9/0042 , B81C1/00158 , G01L7/088 , G01L13/025
Abstract: 본 발명은 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 압력 저역통과필터를 통해 오프셋 압력을 제거하는 압력센서에 관한 것이다.
본 발명의 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서는 반도체 기판의 하부면에 소정 두께가 제거된 다이어프램을 포함하여 구성된 압력센서에 있어서, 소정 주파수 이하의 압력파형만 통과시키고 그 이상의 압력파형은 차단하는 압력 저역통과필터를 더 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서는 압력 저역통과필터에 의해 자동으로 오프셋 압력이 제거되기 때문에 부가적인 오프셋 압력 조정을 위한 밸브나 제어장치가 필요없는 장점이 있고, 미소차압을 측정하는 데 있어 소형으로 제작이 가능하며 오프셋 압력에 비해 매우 작은 맥파를 쉽게 검출할 수 있는 효과가 있다.
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