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公开(公告)号：KR101117205B1
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR1020100098560
申请日：2010-10-11
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: PURPOSE: A transverse flux electrical machine with a columnar multiple phase is provided to decrease an axial length by distributing a plurality of phases around the same axis. CONSTITUTION: A stator(100) includes teeth(121,123,125). The teeth are arranged in a columnar direction. The teeth include a pair of a top tooth(121a) and a lower tooth(121b). The upper tooth and the lower tooth respectively face poles of an upper magnet and a lower magnet. Windings are alternatively wound around the teeth arranged in the columnar direction.
Abstract translation: 目的：提供一种具有柱状多相的横向磁通电机，通过围绕同一轴线分布多个相位来减小轴向长度。 构成：定子（100）包括齿（121,123,125）。 齿排列成柱状方向。 齿包括一对顶齿（121a）和下齿（121b）。 上齿和下齿分别面对上磁体和下磁体的磁极。 缠绕绕着排列成柱状方向的齿。
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公开(公告)号：KR101070328B1
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：KR1020090099494
申请日：2009-10-20
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은고정자코어에관한것으로서, 전동기및 발전기와같은전기기기의고정자에사용되는고정자코어의구조에관한것이다. 특히, 본발명은고정자를구성함에있어서정확한위치설정및 정렬, 고정이용이한고정자코어구조를제공하는데그 목적이있는것이다. 또한궁극적으로는고정자를보다용이하게제작할수 있고, 종래에비해철손감소및 성능향상을달성할수 있는고정자코어구조를제공하는데그 목적이있는것이다. 상기한목적을달성하기위해, 요크와치가연결되어구성되는전기기기의고정자코어에있어서, 상기요크에의해연결된양쪽의두 치가각각이중굽힘구조로형성되어스큐구조를이루는것을특징으로하는고정자코어가개시된다.
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公开(公告)号：KR101027941B1
公开(公告)日：2011-04-12
申请号：KR1020080099328
申请日：2008-10-09
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 C형 성층철심을 이용한 영구자석 여자 횡자속 선형전동기에 관한 것으로서, 성층철심을 적용한 이동부 철심이 사용됨으로써, 철손 및 전류량을 줄일 수 있고, 소음 저감, 고속에서의 효율 개선, 권선의 온도 상승 문제 개선, 제작비 절감 등이 가능해지는 영구자석 여자 횡자속 선형전동기에 관한 것이다. 이러한 본 발명에서는 이동부 철심, 영구자석, 권선의 주변이 비자성 및 비전도성 수지로 몰딩되고, 또한 고정부 철심을 비자성체 및 비전도체 수지로 몰딩하여 고정함으로써, 이동부와 고정부의 제작이 용이해지고, 제작비를 현저히 줄일 수 있는 장점도 가지게 된다. 또한 이동부와 고정부 철심에 치를 형성하여 힘 발생 면적을 크게 하므로 추력을 증가시킬 수 있으며, 추력 상승 구조와 더불어 흡인력 저감 구조를 적용할 경우 우수한 성능의 선형전동기를 구성할 수 있게 된다.
영구자석 여자, 횡자속, 선형전동기, C형, 성층철심, 이동부, 고정부-
公开(公告)号：KR1020110028189A
公开(公告)日：2011-03-17
申请号：KR1020090086162
申请日：2009-09-11
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: H02K1/146
Abstract: PURPOSE: A transverse flux electric device is provided to reduce an iron loss by decreasing an eddy current loop in a magnetic flux through a slit between a stator core and a mover core. CONSTITUTION: A slit(13) magnetically separates a teeth core(10) of a stator. One or more slits are arranged along a columnar direction of the teeth core. The slit crosses the inner surface and the outer surface of the teeth core. The slit is bended to be protruded. The inner surface of the teeth core is separated in the slit.
Abstract translation: 目的：提供一种横向磁通电子装置，通过减小磁通中通过定子芯和移动器芯之间的狭缝的涡流回路来减少铁损。 构成：狭缝（13）磁性地分离定子的齿芯（10）。 一个或多个狭缝沿着齿芯的柱状方向排列。 狭缝穿过齿芯的内表面和外表面。 狭缝弯曲突出。 齿芯的内表面在狭缝中分离。
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公开(公告)号：KR100996135B1
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：KR1020080046284
申请日：2008-05-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H02K41/02
Abstract: 본 발명은 영구자석의 사용량을 줄일 수 있고 동일 극성의 영구자석들을 사용하여 착자를 용이하게 하며, 추력을 향상시켜 고속 운동이 가능하고 추력과 수직력의 맥동을 저감하여 저소음/저진동, 고정밀 위치 제어가 가능한 선형 전동기, 및 상기 선형 전동기의 개념을 회전형 전동기로 확장하고 회전자에 영구자석을 포함시켜 열화를 방지하거나 고정자에 영구자석을 포함시켜 비산을 방지하며 고정자 또는 회전자에 분할 철심을 적용하여 효과적으로 제작이 가능한 회전형 전동기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 자속 역전 선형 전동기는, 이동자가 고정자에 대향하여 선형 운동하고, 이동자 치형의 단부는 중앙 돌기의 좌우에 각각 배치되는 동일 극성의 영구자석을 포함한다. 이외에도 중앙 돌기를 홀수 개의 영구 자석으로 대체하는 방법 등 다양한 실시가 가능하다.
선형 전동기, 회전형 전동기, 내전, 외전, 이동자, 고정자, 회전자-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100995705B1
公开(公告)日：2010-11-19
申请号：KR1020080112243
申请日：2008-11-12
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 2상 횡자속형 전동기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 종래에 기계적으로 서로 분리되어있던 2상의 고정자를 상호 결합하고 각 상의 이동자를 전기각 90도의 위상차를 갖도록 배치함으로써 설치 면적을 줄이고 컴팩트하게 2상 횡자속형 전동기를 구성할 수 있고, 추진을 위해서는 사용할 필요가 없는 가운데의 고정자철심에 권선을 시행함으로써 이동부에 비접촉으로 전력을 공급할 수 있고, 또한 한 개의 제어 권선으로 이동부에 있는 각 상의 2차측 코일에 동시에 전력을 공급함으로써, 추진 및 비접촉 전원공급이 동시에 필요한 응용에 활용할 수 있는 2상 횡자속형 전동기에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 추진을 위해 발생하는 자속을 가이드하기 위한 고정자 철심과, 추진을 위해 소정 전기각의 위상차를 가지고 전류가 흘러들어가는 고정자 코일로 구성된 고정자와, 비접촉 전원공급을 위한 제어코일을 포함하는 고정부;
공극에 자속을 집중할 수 있는 구조로 이동자 영구자석과 이동자 자성체가 서로 결합된 이동자와, 비접촉 전원공급을 위해 상기 고정자에서 발생하는 자속과 쇄교할 수 있도록 된 2차측 코일과 2차측 자성체로 구성된 이동부를 포함하고;
상기 각 상의 고정자가 일체형으로 결합되고, 가운데에 있는 고정자 철심에 제어코일을 감아서 상기 이동부에 비접촉으로 전원을 공급하는 것을 특징으로 하는 2상 횡자속형 선형 전동기를 제공한다.
2상 횡자속형 전동기, 비접촉 전원공급, 선형 전동기, 영구자석 여자-
公开(公告)号：KR100977471B1
公开(公告)日：2010-08-23
申请号：KR1020070136825
申请日：2007-12-24
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 리니어 베어링 및 선형 전동기의 결합 장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 리니어 베어링 이동부에 영구자석 여자 횡자속 선형 전동기 이동자 또는 영구자석 여자 종자속 선형 전동기 이동자를 결합하고, 리니어 베어링 고정부와 상기 선형 전동기의 고정자를 결합함으로써, 그 구조를 단순화하고 요구되는 공간을 최소화하며, 유지보수 비용을 절감하고 효율적인 청정 이송을 실현할 수 있는 리니어 베어링 및 선형 전동기의 결합 장치에 관한 것이다.
이를 위해,
리니어 베어링 이동부 내에 형성된 선형 전동기 이동자;
리니어 베어링 고정부 상에 형성된 선형 전동기 고정자;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리니어 베어링 및 선형 전동기의 결합 장치를 제공한다.
리니어 베어링, 영구자석 여자 횡자속 선형 전동기, 영구자석 여자 종자속 선형 전동기, 청정 이송-
公开(公告)号：KR100977466B1
公开(公告)日：2010-08-23
申请号：KR1020080065102
申请日：2008-07-04
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G03F7/70825 , G03F7/24 , G03F7/703 , G03F7/707 , G03F7/70725 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , G03F7/70841 , G03F7/70858 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , H02N15/00
Abstract: 본 발명은 반도체 칩의 소형화와 대용량화 추세로 인한 회로 패턴의 미세화로 고정밀도의 노광장치가 요구됨에 따라 종래의 평면형 스테이지를 대신하여 대면적의 반도체 기판이나 디스플레이 패널의 기판상에 다양한 임의 형상의 미세 크기의 패턴을 생성하기 위하여 원통형 기판을 사용하는 경우에 있어서, 원통형 기판과 상기 원통형 기판에 결합된 제1영구자석 배열과 제1코일 배열의 조합 그리고 제2영구자석 배열과 제2코일 배열의 조합을 포함하도록 구성하여 상기 코일 배열들에 전류를 인가함에 따라 발생한 자기장이 대응하는 상기 영구자석 배열들의 자기장과의 상호작용에 의하여 발생하는 자기력을 제어하여 미세하게 상기 원통형 기판의 부상과 이송 그리고 회전을 가능하도록 하는 원통형 자기부상 스테이지를 제공한다.
또한, 상기 코일 배열에 열이 발생하는 것을 해소하기 위하여 상기 코일 배열이 조립된 고정자에 냉각핀으로 접촉하고, 상기 고정자의 내부에 형성된 냉각관로를 포함하는 냉매 순환 루프를 포함하는 원통형 자기부상 스테이지용 냉각장치를 제공한다.
원통형 기판, 자기부상, 자기부상 스테이지, 노광 장치-
公开(公告)号：KR100924656B1
公开(公告)日：2009-11-03
申请号：KR1020070117809
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 원통형 기판을 회전시키면서 발생하는 원심력으로 얇고 균일한 두께의 코팅막을 표면에 형성하는 원통형 기판용 스핀 코터 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터의 모터축과 연결되는 회전판; 상기 회전판의 길이방향 가장자리에 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정 간격 이격된 회전판의 내측에 구성되는 복수의 수평이동대; 상기 고정대와 수평이동대에 설치되어 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터를 제공한다.
그리고, 상기 고정대는 높이조절을 위한 높이조절장치가 더 포함되어 설치된다.
원통, 기판, 모터, 회전, 원심력, 중력, 기어, 감광제-
公开(公告)号：KR1020090051429A
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：KR1020070117818
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/509 , H01J37/3211
Abstract: 본 발명은 RF 안테나를 이루는 도체와 절연 진공관 사이에 절연 공간을 두고 용량성 결합 전극을 나선형으로 구성하여 내장형 안테나를 구성하며, 용량성 결합 전극(Capacitive Coupling Electrode)의 일단이 접지되면 패러데이 쉴드(FS, Faraday shield)로 작동할 수 있는 유도성 결합 플라즈마의 내장형 RF 안테나 및 이를 장착한 플라즈마 챔버에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은, 접지와 연결되고 도체로 이루어진 외벽으로 구성되는 공정 챔버; 상기 공정 챔버로부터 절연되어 그 내부에 장착되는 가공물 지지대; 상기 가공물 지지대와 연결되는 전원공급부; 상기 공정 챔버의 밀봉 장치를 통해 밀봉되어 내장되는 한 개 이상의 RF 안테나; 상기 RF 안테나는 내부에 안테나 도체가 구성되고, 이 안테나 도체와 같은 축에서 절연 공간에 의해 분리되어 안테나 도체의 외부를 나선형으로 감싸는 용량성 결합 전극이 구성되고, 상기 안테나 도체와 용량성 결합 전극을 둘러싸는 절연 진공관이 동일한 축으로 구성되며;
상기 안테나 도체의 양단에 매칭 네트워크를 통해 연결되며, 접지와도 연결되는 RF 전원공급장치; 상기 용량성 결합 전극과 연결된 스위치를 통해 연결 구성되는 CCE 전원공급장치와 접지;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버를 제공한다.
안테나, 내장형, 플라즈마, 유도성 결합, 용량형 결합, 용량형 결합 전극, 증착용 재료, 패러데이 쉴드
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