漏电流少且绝缘耐压高的薄膜电容器的形成方法

    公开(公告)号:CN1311484C

    公开(公告)日:2007-04-18

    申请号:CN200310115610.8

    申请日:2003-11-10

    Abstract: 本发明是一种在下层电镀电极上夹持电介质并形成上层电镀电极的薄膜电容器的形成方法,首先,在形成于基板上的下层电镀种膜上,使其位于特定范围地形成下层电镀电极。在基板表面整体上,形成覆盖下层电镀电极的电介质。接着,利用光刻技术,在电介质上形成确定覆盖下层电镀电极的电介质图案的抗蚀层,将未被该抗蚀层覆盖的电介质及位于该电介质下层的下层电镀种膜除去,使基板从该除去部分露出。然后,将抗蚀层除去,使下层电镀电极上的电介质露出。而且,横跨露出的电介质周围与基板,形成决定电容器容量的保护电桥之后,在该保护电桥及电介质上隔着上层电镀种膜形成上层电镀电极。由此,可以形成漏电流少且高耐压的薄膜电容器。

    嵌入式薄层电容器、分层结构、及其制造方法

    公开(公告)号:CN1892934A

    公开(公告)日:2007-01-10

    申请号:CN200610001500.2

    申请日:2006-01-19

    CPC classification number: H05K1/162 H01G4/10 H05K2201/0175 H05K2201/0179

    Abstract: 本发明涉及一种薄层电容器,其包括第一和第二金属电极层以及置于金属层之间的具有介电常数至少为15的基于BiZnNb(铋锌铌)的非晶体金属氧化物介电层,并且涉及一种具有其的分层结构。分层结构包括:第一金属电极层,形成在基于聚合物的复合衬底上;介电层,形成在第一金属电极层上,且由具有介电常数至少为15的基于BiZnNb的非晶体金属氧化物制成;以及第二金属电极层,形成在介电层上。本发明中的基于BiZnNb的非晶体金属氧化物在未经过用于结晶的热处理的情况下具有高介电常数,这对于制造基于聚合物的分层结构(例如PCB)的薄层电容器是有用的。

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