公开(公告)号：KR3001610880000S

公开(公告)日：1995-03-30

申请号：KR3019930024489

申请日：1993-11-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민

公开(公告)号：KR3001492700000S

公开(公告)日：1994-04-06

申请号：KR3019930001074

申请日：1993-01-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민

公开(公告)号：KR3001342890000S

公开(公告)日：1992-12-26

申请号：KR3019920000579

申请日：1992-01-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민

公开(公告)号：KR3001304390000S

公开(公告)日：1992-09-21

申请号：KR3019910016116

申请日：1991-10-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민

公开(公告)号：KR3008032890000S

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：KR3020150005235

申请日：2015-01-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 박상현 ,  정영주 ,  조연우 ,  김정민

公开(公告)号：KR3009607210000S

公开(公告)日：2018-06-18

申请号：KR3020170039770

申请日：2017-08-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 이현일 ,  김정민

公开(公告)号：KR1020160124992A

公开(公告)日：2016-10-31

申请号：KR1020150055418

申请日：2015-04-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김정민 ,  방진영 ,  오세진 ,  강태균 ,  박명수 ,  성덕용

IPC: H01L21/48 ,  H01L21/56 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01J37/32495 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32477 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/6831

Abstract: 본발명은기판제조장치및 그의세라믹박막의코팅방법을개시한다. 그의장치는챔버와, 상기챔버의내벽상의세라믹박막을포함한다. 상기세라믹박막은이트륨산소불화막(YOF, x=1, y=1, 2, z=1, 2)을포함할수 있다.

公开(公告)号：KR1020160012302A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：KR1020140093323

申请日：2014-07-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전강민 ,  김경선 ,  성덕용 ,  김태화 ,  박흥식 ,  김정민

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/3065 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32816 ,  H01J37/32834 ,  H01J37/32889 ,  H01J2237/332 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/30655 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/32136 ,  H01L21/67069 ,  H01L27/11582

Abstract: 본발명은기판제조방법및 그에사용되는기판제조장치를개시한다. 그의방법은, 마스크막이형성된기판을챔버내에제공하는단계와, 상기챔버내에플라즈마반응을유도하는단계와, 상기챔버내에제 1 가스와제 2 가스를번갈아제공하여상기마스크막으로부터노출된상기기판을식각하는단계를포함할수 있다. 상기제 1 가스와상기제 2 가스의각각은상기챔버내에제공될때마다상기제 1 가스와상기제 2 가스의교차공급압력펄스의요동없이안정화된공급압력으로공급될수 있다.

Abstract translation: 本发明公开了一种用于其的基板制造方法和基板制造装置。 该方法可以包括以下步骤：将具有掩模层的衬底提供到腔室中; 在室中引起等离子体反应; 交替地将第一气体和第二气体提供到腔室中，并且蚀刻从掩模层暴露的衬底。 每当第一气体和第二气体中的每一个被提供到腔室中时，可以以稳定的供应压力供应每种气体，而不会引起第一气体和第二气体的交叉进给压力脉冲的波动。

公开(公告)号：KR1020150092637A

公开(公告)日：2015-08-13

申请号：KR1020140013238

申请日：2014-02-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이정훈 ,  강은지 ,  김정민 ,  이정민 ,  이재일

IPC: C07K14/47 ,  C12N15/12 ,  A61K38/17 ,  A61P35/00

CPC classification number: C07K14/4738 ,  A61K38/00

Abstract: p16 변이체, 상기 p16 변이체를 암호화하는 폴리뉴클레오타이드, 상기 p16 변이체의 제조 방법, 및 상기 p16 변이체를 유효성분으로 포함하는 암의 예방 및/또는 치료용 약학 조성물이 제공된다.

Abstract translation: 提供了p16变体，用于编码p16变体的多核苷酸，制备p16变体的方法，以及含有p16变体作为活性成分以防止和/或治疗癌症的组合物。 p16变体是p16蛋白质变体，其中选自暴露于蛋白质p16的三级结构外侧的疏水性氨基酸残基中的一个或多个被亲水性氨基酸取代。

公开(公告)号：KR3006311200000S

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：KR3020100030687

申请日：2010-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 정희재 ,  최민경 ,  김정민