公开(公告)号：KR1020020008439A

公开(公告)日：2002-01-31

申请号：KR1020000041574

申请日：2000-07-20

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 조영래 ,  이진호 ,  정문연 ,  강승열 ,  송윤호 ,  조경익

IPC: H01J1/30

Abstract: PURPOSE: A vacuum packaging method of an electronic device, and a sealant planarization apparatus for vacuum packaging are provided, which can control a thickness of a frit glass easily and can arrange an upper plate and a lower plate easily, and can reduce a damage of a glass substrate during the vacuum packaging using the frit glass. CONSTITUTION: A planarization apparatus for a vacuum packaging of an electronic device performs a vacuum packaging of an upper plate(520) and a lower plate using a frit glass(530). The planarization apparatus includes an installation unit where a substrate coated with the frit glass is installed, and a pressing unit(580) pressing the frit glass coated on the above substrate as doing a relative movement as to the installation unit, and a control unit(595) controlling the degree of pressing of the frit glass by controlling a gap between the installation unit and the pressing unit. The pressing unit controls the thickness as planarizing the frit glass by pressing the frit glass continuously.

Abstract translation: 目的：提供电子装置的真空包装方法以及用于真空包装的密封剂平面化装置，其可以容易地控制熔结玻璃的厚度，并且可以容易地布置上板和下板，并且可以减少 在使用熔结玻璃的真空包装期间的玻璃基板。 构成：用于电子设备的真空包装的平面化装置使用熔结玻璃（530）进行上板（520）和下板的真空包装。 平面化装置包括安装有被熔敷了玻璃料的基板的安装单元和对安装单元进行相对移动而将涂覆在上述基板上的玻璃料玻璃按压的按压单元（580），以及控制单元 595）通过控制安装单元和按压单元之间的间隙来控制熔结玻璃的压制程度。 压制单元通过连续挤压玻璃料玻璃来控制将玻璃料平坦化的厚度。

公开(公告)号：KR100243103B1

公开(公告)日：2000-02-01

申请号：KR1019970049803

申请日：1997-09-29

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이진호 ,  강승열 ,  송윤호 ,  조경익

IPC: H01J17/48

Abstract: 본 발명은 전자원 장치(electron source device)에 관한 것으로, 특히 전계 방출 소자의 특성을 쉽게 안정화 및 제어할 수 있는 저항체와 제어 트랜지스터를 갖는 전계 방출 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
종래 실리콘 전계 방출 소자는 기판으로 반드시 실리콘 웨이퍼만을 사용하여야 하기 때문에 대면적의 전자원 장치를 제조할 수 없을 뿐만 아니라 제조 비용에 큰 문제점을 갖으며, 다수의 캐소드중 하나만이라도 게이트와 전기적으로 단락(short circuit)되면 전자 방출이 제대로 되지 않는 문제점을 지녔다.
그래서 본 발명은 절연성 기판 상에 실리콘 전계 방출 캐소드, 저항체 및 제어 박막 트랜지스터로 구성하고, 상기 실리콘 전계 방출 소자의 캐소드 전극과 상기 박막 트랜지스터의 드레인이 전기적으로 서로 연결되며, 상기 박막 트랜지스터의 게이트 및 소오스에 인가되는 전압을 조정하여 상기 전계 방출 소자의 방출 특성을 쉽게 제어할 수 있도록 하였다. 따라서 전계 방출 소자의 특성을 쉽게 제어 및 안정화할 수 있고, 대면적 및 저가격의 유리등을 전계 방출 소자의 기판으로 사용할 수 있으며, 더불어 제조 생산성도 크게 증대시킬 수 있는 저항체와 제어 트랜지스터를 갖는 전계 방출 소자를 제시한다.

公开(公告)号：KR1019990053066A

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019970072636

申请日：1997-12-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이진호 ,  송윤호 ,  강승열 ,  조경익

IPC: H01J1/30

Abstract: 본 발명은 에미터 전극과 게이트 전극간의 간격을 최대한으로 좁게 형성하는 전계방출소자의 제조방법을 제공한다.
본 발명은 에미터를 미리 형성하고, 에미터의 표면을 덮은 절연막을 형성한 후, 게이트 전극 형성용 금속을 증착하고, 이 게이트 전극 형성용 금속을 기계화학적인 방법으로 연마하여, 절연막을 노출시킨 후, 노출된 절연막을 부분적으로 제거하여 에미터와 게이트 전극의 간격을 정의하는 공정을 실시하여 에미터와 게이트 전극의 간격을 최소화 하거나, 반대로 게이트 전극 박막을 증착하고 개구를 형성하고 개구의 측면으로 게이트 전극이 노출되도록 미리 형성하고, 개구의 측벽에 측벽 절연막을 형성한 후, 개구내에 에미터 전극용 금속을 형성하고, 기계화학적 연마법에 의해 에미터 전극을 연마한 후, 게이트 전극과 에미터 전극 형성용 금속사이의 절연막을 제거하여 게이트 전극과 에미터의 간격을 정의하는 공정에 의해 제조된다.
본발명의 기계화학적 연마 공정과 절연막을 사용하는 방법은 미세패턴 형성이 필요하지 않고, 공정이 비교적 간단하므로 대면적의 유리기판상에서 공정할 수 있어 저가격으로 대면적의 평판 디스플레이를 만들 수 있다.

公开(公告)号：KR1019990050447A

公开(公告)日：1999-07-05

申请号：KR1019970069566

申请日：1997-12-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 조경익 ,  송윤호 ,  이진호 ,  강승열 ,  김보우

IPC: H01J17/48

Abstract: 본 발명은 저온 공정으로 저전압 동작이 안정적인 전계방출 소자의 제조방법을 제공한다.
본 발명에서는 절연성 기판상에 캐소드 전극을 형성하고, 이 캐소드 전극의 소정 영역에 원추형의 절연막을 형성한 후, 기판의 전면에 내열성이 크고 일함수가 낮은 전도성 박막의 증착 공정을 이용하여 원추형 전계방출 팁을 형성한다.
본 발명은 저전압 동작이 안정적인 전계방출 소자를 용이하게 제조 가능케 하고, 또한 전계방출 소자의 모든 제조공정을 600℃ 이하에서 수행할 수 있어 유리를 기판으로 사용할 수 있으므로, 저가격 및 대면적의 전계방출 소자를 반도체 공정으로 쉽게 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019990027362A

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019970049803

申请日：1997-09-29

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이진호 ,  강승열 ,  송윤호 ,  조경익

IPC: H01J17/48

Abstract: 본 발명은 전자원 장치(electron source device)에 관한 것으로, 특히 전계 방출 소자의 특성을 쉽게 안정화 및 제어할 수 있는 저항체와 제어 트랜지스터를 갖는 전계 방출 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
종래 실리콘 전계 방출 소자는 기판으로 반드시 실리콘 웨이퍼만을 사용하여야 하기 때문에 대면적의 전자원 장치를 제조할 수 없을 뿐만 아니라 제조 비용에 큰 문제점을 갖으며, 다수의 캐소드중 하나만이라도 게이트와 전기적으로 단락(short circuit)되면 전자 방출이 제대로 되지 않는 문제점을 지녔다.
그래서 본 발명은 절연성 기판 상에 실리콘 전계 방출 캐소드, 저항체 및 제어 박막 트랜지스터로 구성하고, 상기 실리콘 전계 방출 소자의 캐소드 전극과 상기 박막 트랜지스터의 드레인이 전기적으로 서로 연결되며, 상기 박막 트랜지스터의 게이트 및 소오스에 인가되는 전압을 조정하여 상기 전계 방출 소자의 방출 특성을 쉽게 제어할 수 있도록 하였다. 따라서 전계 방출 소자의 특성을 쉽게 제어 및 안정화할 수 있고, 대면적 및 저가격의 유리등을 전계 방출 소자의 기판으로 사용할 수 있으며, 더불어 제조 생산성도 크게 증대시킬 수 있는 저항체와 제어 트랜지스터를 갖는 전계 방출 소자를 제시한다.

公开(公告)号：KR100160916B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019950053654

申请日：1995-12-21

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 유병곤 ,  장원익 ,  강승열 ,  김광호 ,  백종태

IPC: H01L21/31

Abstract: 본 발명은 저유전율 박막 제조방법에 관한것으로, 불소계 원료개스를 사용하여 저유전율을 갖는 SiOF 저유전율 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다. 상기 본 발명은 RPCVD 장치의 반응로에 반도체기판을 실장하고 불소의 원료개스로서 SF
6 + N
2 O 혼합 개스 또는 SF
6 + O
2 혼합 개스를 주입하고 산화 실리콘(SiO)의 원료개스 로서 SiH
2 개스 또는 TEOS(OC
2 H
5 )
4 를 주입하여 반도체기판상에 SiOF 저유전율 박막을 형성함을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019960026318A

公开(公告)日：1996-07-22

申请号：KR1019940036356

申请日：1994-12-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이춘수 ,  강승열 ,  김상기 ,  백종태

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 제조공정에 관한 것으로 특히 반도체의 오염물질을 제거하기 위하여 실시하는 습식세정 후 용이하게 건조할 수 있도록 하는 웨이퍼 건조 공정에 관한 것으로 웨이퍼의 습식 세정 후에 반드시 필요한 건조공정에 있어서 기존에 널리 사용되고 있는 스핀드라이어는 입자 제오염의 가능성이 높다는 문제점을 해소하기 위하여 입자 재오염을 최소화할 수 있는 건조공정으로 널리 사용되고 있는 “Marangoni drying”방법을 더욱 더 효과적으로 수행할 수 있도록 한 웨이터 건조방법으로서 본 발명에서는 휘발성이 강한 소수성(hydrophobic)의 유기 용매를 공정상에 첨가하므로써 건조 공정의 효율을 더욱 증대시킬 수 있도록 함을 특징으로 하는 것임.

公开(公告)号：KR101981318B1

公开(公告)日：2019-05-23

申请号：KR1020170050304

申请日：2017-04-19

Applicant: 크루셜텍 (주) ,  한국전자통신연구원

Inventor： 김종욱 ,  김재흥 ,  전호식 ,  이준석 ,  피재은 ,  강승열 ,  안성덕 ,  조성행 ,  황치선

IPC: H01L27/32 ,  H01L27/12 ,  G06K9/00

公开(公告)号：KR101789195B1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：KR1020120051952

申请日：2012-05-16

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 전상훈 ,  김용해 ,  이명래 ,  강승열 ,  정태형

IPC: H02J5/00 ,  H02M3/337 ,  H04B5/00 ,  H02J7/02 ,  B60C23/04

CPC classification number: H02M3/3376 ,  H02J5/005 ,  H02J50/12 ,  H02J50/40

Abstract: 본발명은무선전력전송수신기및 그것을포함하는시스템에관한것으로, 하나의송신기로복수의수신기들에동시에무선으로전력을전송하는수신기및 송신기에관한것이다. 본발명에따른무선전력수신기는송신기로부터공진결합방식으로전력을수신하는수신코일부; 및상기수신코일부로부터전력을수신하여부하저항에공급하는전력수신부를포함하고, 상기전력수신부의입력임피던스는복수의수신기들의소비전력에따라조절된다. 본발명의실시예에의하면, 무선전력전송수신기및 송신기의전력전송효율이향상된다.

Abstract translation: 无线电力传输接收器及其系统技术领域本发明涉及一种无线电力传输接收器及包括该无线电力传输接收器的系统，更具体地，涉及一种利用一个发射器同时向多个接收器无线地传输电力的接收器和传输器。 根据本发明的无线电力接收器包括：接收线圈部分，用于以谐振耦合方式从发送器接收电力; 以及电力接收单元，用于从所述接收线圈单元接收电力并且将电力供应到所述负载电阻器，其中，根据所述多个接收器的电力消耗来调节所述电力接收单元的输入阻抗。 根据本发明的实施例，无线电力传输接收器和发射器的电力传输效率得到改善。

公开(公告)号：KR101786945B1

公开(公告)日：2017-10-19

申请号：KR1020110072830

申请日：2011-07-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김용해 ,  강승열 ,  전상훈 ,  이명래 ,  정태형

IPC: H02J17/00

CPC classification number: H02J50/80 ,  H02J5/005 ,  H02J50/12

Abstract: 본발명에따른전력송신장치는송수신코일부간의거리변화에따른수신전력상태신호를외부로부터획득하는신호처리부, 수신전력상태신호에근거하여최대전력전송성능을갖는주파수대역을선택하기위한변조주파수를생성하는변조제어부, 전력신호를생성하는전력신호생성부, 전력신호를변조주파수에응답하여변조하는변조부, 및변조된전력신호를송신하는송신코일부를포함한다. 또한, 본발명에따른전력수신장치는전력신호를수신하는수신코일부, 수신코일부로부터전력신호를수신하여전력을생성하는전력생성부, 및생성된전력의레벨에따른수신전력상태신호를생성하여수신코일부에대응하는송신코일부로전송하는신호생성부를포함한다.