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    나노와이어의 제조 및 정렬을 위한 방법 및 이와 같은 방법의 적용
    113.
    发明公开
    나노와이어의 제조 및 정렬을 위한 방법 및 이와 같은 방법의 적용 审中-实审
    用于生产和调制纳米微粒的方法及其应用

    公开(公告)号：KR1020140097114A

    公开(公告)日：2014-08-06

    申请号：KR1020147007552

    申请日：2012-08-20

    Applicant: 알부스치에스 요에르그

    Inventor： 알부스치에스요에르그

    IPC: B82B3/00 ,  H01B13/00

    CPC classification number: G01N27/04 ,  B81B7/0006 ,  B81B2201/0214 ,  B81C1/00087 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C30B11/12 ,  C30B29/06 ,  C30B29/60 ,  G01N33/483 ,  G01N33/48721

    Abstract: 본 발명은, 특히, 50 nm 미만의 직경을 가지는 적어도 하나의 실리콘 나노와이어(4)를 포함하는 도체 구조물을 제조하기 위한 방법에 관한 것으로서, 나노와이어는 전극(11, 13, 30)에 의해 적어도 2 개의 점을 통해 접촉되고, 적어도 하나의 나노와이어(4) 및 전극(11, 13, 30)은 기판(1, 5) 상의 일 평면 상에 배치되고, a) 0.5-50 nm의 범위의 직경을 가지는 촉매 활성의 금속 나노입자는 절연 기판(1)의 표면(2) 상에 침착되고, b) 표면 및 그 상면에 침착되는 금속 나노입자는 300-1100 ℃의 범위의 온도에서 10-200 분의 범위의 시간 기간 동안 적어도 하나의 기체상 실리콘 성분을 포함하는 기체 유동에 노출되고, 여기서 기판으로부터 돌출하는 5-200 ℃의 범위의 길이의 적어도 하나의 나노와이어(4)가 형성되고, c) 기판(1)의 표면으로부터 돌출되는 상기 적어도 하나의 나노� �이어(4)는 2차 기판(5)을 적용함으로써 절연 기판(1)의 표면(2)에 대응하는 접촉 표면(6) 중 하나를 가지는 일 평면 내에 침착되고, d) 절연 기판(1) 상에 침착되는 적어도 하나의 나노와이어(4)가 전극(11, 13, 30)에 의해 2 개의 상이한 점에서 접촉되거나, 2차 기판(5)에 부착되는 적어도 하나의 나노와이어가 전극(11, 13, 30)에 의해 2 개의 상이한 점에서 접촉된다.

    가변성 미세패턴을 구비한 미세구조체 제조방법
    114.
    发明公开
    가변성 미세패턴을 구비한 미세구조체 제조방법 有权
    具有可变微尺寸的精细结构的制造方法

    公开(公告)号：KR1020140015211A

    公开(公告)日：2014-02-06

    申请号：KR1020130089033

    申请日：2013-07-26

    Applicant: 서울대학교산학협력단

    Inventor： 권성훈 ,  이호원 ,  박태준 ,  정유신

    IPC: B81C1/00 ,  G01N33/48 ,  G06K7/10

    CPC classification number: B81C1/00119 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/05 ,  B81C1/00349 ,  G01N33/48 ,  G06K7/10

    Abstract: Provided is a fabrication method for fine structures with variable micropatterns including: a step of forming a mixture containing photochromic materials and curable materials; a step of providing the mixture for a microfluidic tube; a step of forming variable micropatterns by applying patterned energy to a desired spot of the mixture and hardening the mixture; and a step of forming fine structures by injecting curable materials and applying additional energy to the microfluidic tube. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S1) Forming a mixture containing photochromic materials and curable materials; (S2) Providing the mixture for a microfluidic tube; (S3) Forming variable micropatterns by applying patterned energy to a desired spot of the mixture and hardening the mixture; (S4) Forming fine structures by injecting curable materials and applying additional energy to the microfluidic tube

    Abstract translation: 提供了一种具有可变微图案的精细结构的制造方法，包括：形成含有光致变色材料和可固化材料的混合物的步骤; 提供微流体管的混合物的步骤; 通过将图案化的能量施加到混合物的所需点并硬化混合物来形成可变微图案的步骤; 以及通过注射可固化材料并向微流体管施加附加能量来形成精细结构的步骤。 （附图标记）（AA）开始; （BB）结束; （S1）形成含有光致变色材料和可固化材料的混合物; （S2）提供微流体管的混合物; （S3）通过将图案化的能量施加到混合物的所需点并硬化混合物来形成可变微图案; （S4）通过注射可固化材料并向微流体管施加额外的能量来形成精细结构

    세포 계수장치 및 그 제조방법
    115.
    发明公开
    세포 계수장치 및 그 제조방법 失效
    细胞数计数器及其制造方法

    公开(公告)号：KR1020030018698A

    公开(公告)日：2003-03-06

    申请号：KR1020010052952

    申请日：2001-08-30

    Applicant: 학교법인 포항공과대학교

    Inventor： 이승섭 ,  고상춘 ,  최요한 ,  이추희 ,  손상욱

    IPC: B81B7/02

    CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B1/002 ,  B81B2201/0214 ,  B81C1/00015 ,  C12M1/3407 ,  C12M23/16 ,  C12Q1/04

    Abstract: PURPOSE: A cell number counting apparatus and a manufacturing method thereof are provided to simplify manufacturing procedures and reduce size of the apparatus by manufacturing the apparatus through the micro electro mechanical system, while achieving improved accuracy of cell number counting. CONSTITUTION: A cell number counting apparatus comprises a capillary(20) formed on a silicon substrate(80), and which serves as a passage for the liquid containing cells to be counted; an injected cell storing unit(30) formed at an end of the capillary, and which stores the liquid injected into the capillary; a discharged cell storing unit(40) formed at the other end of the capillary, and which stores the liquid discharged from the capillary; and a cell sensing unit formed in the silicon substrate and disposed beneath the capillary, and which senses the cell number by measuring the resistance changing in accordance with the quantity of the light permeation determined by the dyed degree of the cell flowing along the capillary. The capillary, injected cell storing unit, discharged cell storing unit and the cell sensing unit are manufactured through a micro electro mechanical system.

    Abstract translation: 目的：提供细胞数量计数装置及其制造方法，以通过微机电系统制造装置来简化制造步骤并缩小装置的尺寸，同时实现提高细胞数量计数的精度。 构成：细胞数量计数装置包括在硅基板（80）上形成的毛细管（20），其作为含有细胞的液体的计数通道; 注入单元存储单元（30），其形成在毛细管的端部，并且存储注入到毛细管中的液体; 排出单元存储单元，形成在毛细管的另一端，并存储从毛细管排出的液体; 以及细胞感测单元，其形成在所述硅衬底中并且设置在所述毛细管下方，并且通过根据沿着所述毛细管流动的细胞的染色程度确定的光透过量来测量所述电阻变化来感测所述细胞数。 毛细管，注射细胞储存单元，放电单元存储单元和单元感测单元通过微机电系统制造。

    주상 구조물을 구비한 구조체, 그 제조 방법 및 그것을이용한 ＤＮＡ 분리 장치
    116.
    发明公开
    주상 구조물을 구비한 구조체, 그 제조 방법 및 그것을이용한 ＤＮＡ 분리 장치 无效
    具有柱结构的结构及其制造方法以及使用其的DNA分离装置

    公开(公告)号：KR1020020050137A

    公开(公告)日：2002-06-26

    申请号：KR1020010080791

    申请日：2001-12-18

    Applicant: 미쓰비시덴키 가부시키가이샤

    Inventor： 이즈오신이치 ,  오지히로시 ,  츠츠미가즈히코

    IPC: C12M1/00

    CPC classification number: B81C1/00111 ,  B81B2201/0214 ,  B81C2201/0114 ,  B81C2201/0178 ,  G01N27/44791

    Abstract: PURPOSE: To provide a method of manufacturing a structure having, on a silicon substrate, columnar structures which are uniform in shape and have an enough heat resistance and mechanical strength, and also to provide a DNA segregating device manufactured by the method. CONSTITUTION: The structure has, on the silicon substrate, columns whose principal planes are coated with a thermal oxide film. The columns are formed of only a thermal oxide film or of a thermal oxide film and silicon. The thermal oxide film formed on the principal planes of the columns is connected to a thermal oxide film formed on the surface of the substrate or inside the substrate.

    Abstract translation: 目的：提供一种制造在硅衬底上具有均匀形状且具有足够的耐热性和机械强度的柱状结构的结构的方法，并且还提供了通过该方法制造的DNA分离装置。 构成：该结构在硅衬底上具有其主平面涂覆有热氧化膜的色谱柱。 柱仅由热氧化膜或热氧化膜和硅形成。 在柱的主平面上形成的热氧化膜与形成在基板的表面或基板内部的热氧化膜连接。

    MEMS 트랜듀서를 위한 시스템 및 방법
    117.
    发明公开
    MEMS 트랜듀서를 위한 시스템 및 방법 审中-实审
    MEMS系统和MEMS传感器的方法

    公开(公告)号：KR1020170000796A

    公开(公告)日：2017-01-03

    申请号：KR1020160078599

    申请日：2016-06-23

    Applicant: 인피니언 테크놀로지스 아게

    Inventor： 아난시고욘수앙 ,  데헤알폰스 ,  콜브스테판 ,  라자라만비자이쿠라므

    IPC: G01N29/02 ,  G01N29/22

    CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B3/0018 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0278 ,  B81C1/00166 ,  B81C1/00182 ,  B81C1/00206 ,  G01N27/223 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R31/003 ,  H04R2201/003

    Abstract: 일실시예에따르면, 미세전자기계시스템(microelectromechanical system: MEMS) 트랜듀서는기판을포함하는데이 기판은기판의후면으로부터이 기판을통과하는제1 캐비티를포함한다. MEMS 트랜듀서는기판의상단면상에서제1 캐비티위에놓이는다공형제1 전극판(perforated first electrode plate)과, 기판의상단면상에서제1 캐비티위에놓이고다공형제1 전극판으로부터이격영역에의해이격된제2 전극판과, 다공형제1 전극판과제2 전극판사이의이격영역내의가스감응물질(gas sensitive material)을또한포함한다. 가스감응물질은타겟가스의농도에의존하는전기적특성을갖는다.

    Abstract translation: 根据实施例，微机电系统（MEMS）换能器包括具有第一空腔的衬底，该衬底从衬底的背面穿过衬底。 所述MEMS换能器还包括覆盖所述基底顶面上的所述第一空腔的穿孔第一电极板，覆盖所述基底的顶侧上的所述第一空腔并与穿孔的第一电极板间隔开间隔区域的第二电极板，以及 在穿孔的第一电极板和第二电极板之间的间隔区域中的气体敏感材料。 气体敏感材料具有取决于目标气体浓度的电性质。

    생체 시료 분석용 마이크로-나노 플루이딕 바이오칩
    119.
    发明授权
    생체 시료 분석용 마이크로-나노 플루이딕 바이오칩 有权
    用于测定生物量的MICORO-NANO流体生物

    公开(公告)号：KR100968524B1

    公开(公告)日：2010-07-08

    申请号：KR1020080033834

    申请日：2008-04-11

    Applicant: 인싸이토(주)

    Inventor： 남우성 ,  조신길 ,  정석

    IPC: G01N35/00 ,  B82Y35/00 ,  G01N33/48

    CPC classification number: B81C1/00103 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/502723 ,  B01L3/50273 ,  B01L2200/16 ,  B01L2300/0636 ,  B01L2300/0663 ,  B01L2300/069 ,  B01L2300/0858 ,  B01L2300/0877 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/16 ,  B01L2400/0406 ,  B81B3/0094 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/051 ,  B81B2201/058 ,  B81B2203/0338 ,  B81B2203/0392 ,  B81C2201/019

    Abstract: 본 발명은 생체 시료 분석용 마이크로-나노 플루이딕 바이오칩에 관한 것이다. 특히, 상하 적층된 상부 및 하부 기판, 및 상기 상부 및 하부 기판 사이에 개재된 중간 기판을 포함하며, 이때 상기 하부 기판은 그 상면에, 시료를 수용 및 분리하기 위한 시료 패드, 시료 분석용 시약을 함유하는 시약 패드, 시료 흡수를 위한 흡수 패드, 또는 이들의 조합을 포함하고, 미세유체 채널 형성용 하부 채널 구성부가 형성되어 있으며; 상기 중간 기판은 미세유체 채널 형성용 상부 채널 구성부, 및 하부 기판상에 위치되는 상기 패드들을 고정하기 위한 고정판을 포함하고; 상기 상부 기판은, 중간 기판을 관통하여 하부 기판상의 시료 패드에 시료를 공급하기 위한 시료 투입구, 채널로부터의 시료 분석결과를 도시하는 투시창 및 하부 기판상의 흡수 패드의 유체 흐름을 조절하도록 중간 및 상부 기판을 관통하여 유체 연통되는 벤트홀을 포함하도록 구성되는, 생체 시료 분석용 마이크로-나노 플루이딕 바이오칩으로서, 상기 상부 및 하부 채널 구성부가, 접합되어 미세유체 채널을 형성하고, 이때 상기 미세유체 채널의 좌우 양 측면 모서리부가 미세유체 채널의 중앙부보다 낮은 높이의 나노틈새 형태를 갖도록 형상화된, 생체 시료 분석용 마이크로-나노 플루이딕 바이오칩에 관한 것이다.

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