麦克风和加速度计
    114.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102349311A

    公开(公告)日:2012-02-08

    申请号:CN201080010998.3

    申请日:2010-02-03

    Abstract: 本发明涉及一种利用具有第一层(2)的晶片(1)制造微机械麦克风和加速度计的方法,所述方法包括步骤:将所述第一层(2)分为麦克风层(5)和加速度计层(6),用连续的第二层(7)覆盖麦克风层(5)的前侧和加速度计层(6)的前侧,用第三层(8)覆盖第二层(7),在第三层(8)中形成多个沟槽(9),去除麦克风层(5)背部一侧下面的晶片(1)的一部分(10),在加速度计层(6)背部一侧下面的晶片(1)中形成至少两个晶片沟槽(11),以及通过在第三层(8)中形成的多个沟槽去除第二层(7)的一部分(12)、(13)。根据本发明的微机械麦克风和加速度计的相对于现有技术的优势在于其允许消除结构自生噪声以便最小化结构本身的声音。

    微机电装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN102275857A

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN201010200714.9

    申请日:2010-06-11

    Abstract: 本发明提供了一种微机电装置及其制造方法,该装置包括微机电器件,所述微机电器件包括:主体和可动电极,所述可动电极通过固定件和所述主体活动连接,所述主体内具有固定电极,所述可动电极可以相对于所述固定电极移动;所述主体中具有凹槽;所述可动电极悬置于所述凹槽内;在凹槽上方和在所述主体上具有第一介质层,所述第一介质层将所述凹槽围成封闭空间,所述可动电极通过所述固定件悬置在所述封闭空间内,在所述凹槽上方的第一介质层中具有通孔,所述通孔内填充有第二介质层,从而可以对微机电器件进行有效的封装。

    微机械结构和用于制造微机械结构的方法

    公开(公告)号:CN102030302A

    公开(公告)日:2011-04-27

    申请号:CN201010510986.9

    申请日:2010-10-08

    Abstract: 本发明涉及一种微机械结构,设有一个具有主延伸平面的衬底和一个可相对于该衬底沿着一个平行于该主延伸平面的第一方向运动的振动质量,其中,该微机械结构具有一个与该衬底连接的第一电极结构和一个与该衬底连接的第二电极结构,其中,该振动质量具有一个反电极结构,其中,该反电极结构的第三指形电极沿着第一方向设置在该第一电极结构的第一指形电极与该第二电极结构的第二指形电极之间,该第一电极结构还借助一个设置在该微机械结构的中心区域中的第一锚定元件固定在该衬底上,该第二电极结构借助一个设置在该中心区域中的第二锚定元件锚定在该衬底上。本发明还涉及一种用于制造微机械结构的方法。

    垂直传感器组装方法
    118.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101958256A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010229843.0

    申请日:2010-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种垂直传感器组装方法。本发明提供了一种将芯片垂直地结合到衬底的方法。该方法包括在衬底上形成具有线性外观的金属条,在该金属条上形成焊锡膏层以形成焊锡条,在衬底上形成多个金属焊盘,以及在所述多个金属焊盘上形成焊锡膏层以在衬底上形成多个焊锡焊盘。所述多个焊锡焊盘中的每一个以偏移间距偏离焊锡条的长边缘。要垂直地结合到衬底的芯片具有略小于所述偏移间距的垂直芯片厚度。要垂直地结合的芯片配合在所述多个焊锡焊盘与所述焊锡条之间。焊锡条使得能够实现要垂直地结合的芯片的对准。

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