Abstract:
The present invention relates to a user interface providing method and a device thereof. The user interface providing method according to an embodiment of the present invention comprises a step of displaying at least one object on a touch screen; a step of hovering at least one input medium, of which approach to the touch screen is detected; and a step of providing a first visual effect based on the position of the hovered input medium and the properties of the object. According to the present invention, user experience can be improved.
Abstract:
본 발명은, 5 내지 20중량%의 알코올아민, 40 내지 70중량%의 글리콜에테르, 20 내지 40중량%의 N-메틸피롤리돈 및 0.2 내지 6중량%의 킬레이트제를 포함하는 포토레지스트용 박리제를 이용하여 포토레지스트 박리 공정을 수행함으로써 포토레지스트 박리 공정에서 발생하는 금속층 내의 언더컷(undercut) 또는 오버행(overhang)과 같은 배선의 프로파일을 변형시키는 문제점을 해결할 수 있다. 포토레지스트용 박리제, 킬레이트제, 알루미늄, 언더컷
Abstract:
PURPOSE: A display substrate and a method of manufacturing the same are provided to prevent a defect due to a step during following processes of a patterning process. CONSTITUTION: A deformation preventing layer(105) is formed on the lower surface of a base substrate(101). A gate line is formed on the upper side of the base substrate. A data line is formed on the base substrate on which the gate line is formed. A pixel electrode is formed on the base substrate on which the data line is formed. The deformation preventing layer and the gate line respectively have tensile stress.
Abstract:
본 발명에 따른 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법에서는, 우선 절연 기판 위에 게이트선, 게이트선과 연결되어 있는 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성한다. 이어, 게이트 절연막 및 반도체층을 차례로 형성하고, 게이트선과 교차하는 데이터선, 데이터선과 연결되어 있으며 게이트 전극에 인접하는 소스 전극, 게이트 전극에 대하여 소스 전극의 맞은 편에 위치하는 드레인 전극 및 데이터선과 연결되어 있는 데이터 배선을 형성한다. 이어, 보호막을 적층하고 보호막을 패터닝하여 적어도 드레인 전극을 드러내는 접촉 구멍을 형성하고, 보호막의 상부에 은 또는 은 합금을 이루어진 도전막을 적층하고, 페릭 나이트레이트, 질산, 초산, 헥사 에틸렌글리콜 테트라민 및 초순수를 포함하는 식각액을 이용하여 도전막을 패터닝하여 접촉 구멍을 통하여 드레인 전극과 연결되는 반사막을 형성한다. 식각액, 은, 은합금, 페릭 나이트레이트, 헥사 에틸렌글리콜 테트라민
Abstract:
본 발명에 따른 박막 트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법에서는, 우선 절연 기판 위에 게이트선, 게이트선과 연결되어 있는 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성한다. 이어, 게이트 절연막 및 반도체층을 차례로 형성하고, 게이트선과 교차하는 데이터선, 데이터선과 연결되어 있으며 게이트 전극에 인접하는 소스 전극, 게이트 전극에 대하여 소스 전극의 맞은 편에 위치하는 드레인 전극 및 데이터선과 연결되어 있는 데이터 배선을 형성한다. 이어, 보호막을 적층하고 보호막을 패터닝하여 적어도 드레인 전극을 드러내는 접촉 구멍을 형성하고, 보호막의 상부에 은 또는 은 합금을 이루어진 도전막을 적층하고, 인산, 질산, 초산 및 포타슘옥시설페이트와 나머지 초순수를 포함하는 배선용 식각액을 이용하여 도전막을 패터닝하여 접촉 구멍을 통하여 드레인 전극과 연결되는 반사막을 형성한다. 식각액, 은, 포타슘옥시설페이트, 인산, 초산, 질산
Abstract:
본 발명은 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법에 관한 것으로 박막 트랜지스터 기판은 절연 기판과, 절연 기판 위에 형성되어 있는 게이트선, 게이트선의 일부인 게이트 전극, 게이트선의 일단에 연결되어 있는 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선과, 기판 위에 형성되어 있는 게이트 절연층과, 게이트 절연층 위의 소정 영역에 형성되어 있는 반도체층과, 게이트 절연층 위에 있으며, 게이트선과 교차하도록 형성되어 있는 데이터선, 데이터선의 분지이며 반도체층의 일부분과 연결되도록 형성되어 있는 소스 전극, 소스 전극과 대향되어 있으며 반도체층의 다른 일부분과 연결되어 있는 드레인 전극, 데이터선의 일단에 연결되어 있는 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선과, 데이터 배선 위에 형성되어 있으며 접촉구를 가지는 보호층과, 보호층 위에 형성되어 있으며, 접촉구를 통해 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 포함하고, 게이트 배선과 데이터 배선중 적어도 하나는 텅스텐층을 포함한다. 박막트랜지스터기판, 텅스텐, 배선
Abstract:
A method of manufacturing a TFT(Thin Film Transistor) array substrate is provided to form a pixel electrode through wet etch using a diluted etchant to reduce an etch rate, thereby decreasing CD skew and preventing residue after etching. A gate line(22) is formed on an insulating substrate(10). A data line(62) is insulated from the gate line and intersects the gate line. A transparent conductive oxide layer(81) is connected to a part of the data line and does not include indium. The transparent conductive oxide layer is wet-etched by using a basic etchant and a diluted etchant mixed with deionized water to form a pixel electrode.
Abstract:
먼저, 알루미늄 네오디뮴 합금의 하부막과 몰리브덴 텅스텐 합금의 상부막을 차례로 적층하고 0.1-10%의 질산(HNO3), 65-55%의 인산(H3PO4), 5-20%의 초산 (CH3COOH), 0.1-5%의 안정제(stabilizer) 및 나머지 초순수를 포함하는 식각액으로 패터닝하여 기판 위에 게이트선, 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성한다. 다음, 게이트 절연막, 반도체층 및 저항 접촉층을 차례로 형성하고, 몰리브덴 텅스텐 합금을 적층하고 0.1-10%의 질산(HNO3), 65-55%의 인산 (H3PO4), 5-20%의 초산(CH3COOH), 0.1-5%의 안정제(stabilizer) 및 나머지 초순수를 포함하는 식각액으로 패터닝하여 게이트선과 교차하는 데이터선, 소스 전극, 드레인 전극 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성한다. 이어, 보호막을 적층하고 패터닝하여 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 각각 드러내는 접촉 구멍을 형성한다. 이어 IZO를 적층하고 패터닝하여 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드와 각각 전기적으로 연결되는 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드를 형성한다.
Abstract:
A method for fabricating a TFT(thin film transistor) substrate is provided to suppress generation of corrosion byproducts and remove an organic material by performing an ultraviolet cleaning process in etching a source/drain metal layer using a copper interconnection with low resistance. A thin film is coated on a substrate(101). A photoresist pattern is formed on the thin film. The thin film is etched by using the photoresist pattern. The photoresist pattern is stripped. An ultraviolet cleaning process is performed in one of the etch process or the strip process. A process for forming a second conductive pattern group can include the following steps. A gate insulation layer(112), a semiconductor pattern(115) and a source/drain metal layer using copper are continuously deposited on a first conductive pattern group. A photoresist pattern is formed on the source/drain metal layer by using a mask. The source/drain metal layer is etched by using the photoresist pattern to form the semiconductor pattern including an active layer(114) and an ohmic contact layer(116) . The photoresist pattern is ashed. The source electrode(108) and the drain electrode(110) exposed through the ashed photoresist pattern are separated. The active layer between the separated source and drain electrodes is exposed. The photoresist pattern is stripped.