公开(公告)号：KR100218135B1

公开(公告)日：1999-09-01

申请号：KR1019910013700

申请日：1991-08-08

Applicant: 더 보드 오브 트러스티스 오브 더 리랜드 스탠포드 주니어 유니버시티

Inventor： 케네스에이.페슬러 ,  미첼제이.에프.디고넷 ,  김병윤 ,  허버트제이.샤우

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0209 ,  G01B9/0201 ,  G01B2290/70 ,  G01C19/64

Abstract: 개량된 사냑(sagnac) 간섭계는 형광 매체가 초형광에 의해 일시적으로 인코히어런트 광을 발생시키기에 충분한 세기를 갖는 펌프 소스로부터의 광에 의해 펌프된 형광 매체로 구성된 광대역 광원(100)을 포함한다. 양호한 실시예에서, 초형광매체는 역방향 펌프된 광섬유(130)를 포함한다. 간섭계의 감지 루프(142) 내로의 광신호 입력은 변조기에 의해 변조되고, 간섭계 루프(142)로부터 출력되며, 광원(100) 및 증폭기로서 작용하는 초형광 광섬유의 광학 이득에 의해 증폭된다. 초형광 광섬유(130) 내의 이득 변조를 방지하기 위해, 변조 주파수는 변조 이득 깊이가 실제로 감소되도록 선택된다.

公开(公告)号：KR1020140135364A

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：KR1020130055461

申请日：2013-05-16

Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단

Inventor： 김병기

IPC: G02B5/18 ,  G01B11/14 ,  G01C3/08 ,  G01B9/02

CPC classification number: G02B5/1866 ,  G01B9/0201 ,  G01B11/14 ,  G01D5/38 ,  G11B7/1353

Abstract: 본 발명은 광학 회절격자 및 이를 이용한 거리 센서에 관한 것이며, 본 발명의 광학 회절격자 및 이를 이용한 거리 센서는 광의 간섭을 이용하여 측정대상물과의 거리를 측정하는 거리 센서에 있어서, 제1 투광부; 상기 제1 투광부의 측면과 접촉하되 상기 제1 투광부와 서로 다른 두께를 가짐으로써 내부를 투과하는 광과 상기 제1 투광부를 투과하는 광 사이에 위상차를 발생시키는 제2 투광부; 복수개가 상호 이격되어 상기 제1 투광부의 일면 및 상기 제2 투광부의 일면에 각각 마련되며, 상기 제1 투광부와의 경계면 또는 상기 제2 투광부와의 경계면으로부터 광을 반사시키는 광경로와 상기 복수개의 이격 공간 사이로 광을 통과시키는 광경로로 분할하여 광의 간섭을 발생시키는 격자부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 회절격자인 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 광학 회절격자를 투과하며 서로 다른 위상으로 진행하는 광들을 병합하여 거리를 측정함으로써 소형화 및 정밀도의 향상이 가능한 광학 회절격자 및 이를 이용한 거리 센서가 제공된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种光学衍射光栅和使用该衍射光栅的距离传感器。 使用本发明的光学衍射光栅和距离传感器是使用光的干涉来测量待测物体之间的距离的距离传感器。 本发明包括：第一透光单元; 第二透光单元，其通过与第一透光单元具有不同的厚度并且通过连接到第二透光单元的一侧而产生穿透第一透光单元的光之间的相位差和穿透第二透光单元内的光 第一个透光单元; 以及光栅单元，其通过分离成多个而分别设置在第二透光单元和第一透光单元的一个表面上，并且通过分离穿过分离空间之间的光的光路而产生光的干涉，并且 光路，其反射来自第一透光单元的边界表面的光或第二透光单元的边界面。 因此，通过合并不同相处理的光并穿透光学衍射光栅以及使用其的距离传感器，可以提供通过测量距离来提高精度和小型化的光学衍射光栅。

公开(公告)号：KR1020130135660A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：KR1020120059429

申请日：2012-06-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임재균 ,  이성덕 ,  장우영

IPC: G06T5/00 ,  A61B6/03

CPC classification number: G01B9/02083 ,  A61B5/0066 ,  A61B2576/00 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02087 ,  G01B9/02091

Abstract: A method of generating a tomography image according to an embodiment of the present invention includes the steps of: detecting a coherence signal, which is phase-modulated in a first direction with respect to a cross-section of a subject and includes cross-sectional information of the subject, as raw data about the subject; generating a reference temporary tomography image and at least one temporary tomography image by performing signal processing on the raw data; detecting an artifact area of the reference temporary tomography image based on a result of comparing the reference temporary tomography image with at least one temporary tomography image and based on statistics regarding whether an artifact exists or not; and restoring the artifact area. [Reference numerals] (AADU) Defect area determining unit;(AASU) Defect area recovering unit;(IMGPU) Image processing unit

Abstract translation: 根据本发明的实施例的生成断层图像的方法包括以下步骤：检测相对于被检体的横截面在第一方向上相位调制的相干信号，并且包括横截面信息 作为主题的原始数据; 通过对原始数据执行信号处理来生成参考临时断层图像和至少一个临时断层摄影图像; 基于将所述参考临时断层摄影图像与至少一个临时断层摄影图像进行比较的结果，并且基于是否存在有人造物的统计信息来检测所述参考临时断层图像的人造区域; 并恢复神器区域。 （附图标记）（AADU）缺陷区域确定单元;（AASU）缺陷区域恢复单元;（IMGPU）图像处理单元

公开(公告)号：KR1020130121453A

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：KR1020120044669

申请日：2012-04-27

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 임재균 ,  김법민 ,  정원주 ,  정현우 ,  이성덕 ,  장우영

IPC: A61B5/00 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02091 ,  A61B5/0066 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02083

Abstract: The single layer video producing method according to the embodiment of the present invention is equipped with a step of producing a tomography image of a subject with signal-processes at least one parameter defining the filtering of the fixed step of detecting the interference signal which includes the raw data about the subject crossing the section profile phase-modulated to the first direction towards the cross section of the subject. The window size of the function includes a step of demodulating the above data which is controls as well as the above-mentioned demodulated raw data. [Reference numerals] (110) Light emitting unit;(120) Interferometer;(140) Detector;(170) User interface unit;(210) Fixed window filtering unit;(230) Image generating unit;(400) Display unit

Abstract translation: 根据本发明的实施例的单层视频制作方法具有以下步骤：通过信号处理来生成被检体的断层图像，所述至少一个参数定义了检测干扰信号的固定步骤的滤波，该干扰信号包括 关于穿过截面轮廓的被摄体的原始数据被相位调制到朝向被摄体的横截面的第一方向。 功能的窗口尺寸包括解调上述控制数据以及上述解调的原始数据的步骤。 （110）发光单元;（120）干涉仪;（140）检测器;（170）用户接口单元;（210）固定窗口滤波单元;（230）图像生成单元;（400）显示单元

公开(公告)号：KR101078197B1

公开(公告)日：2011-11-01

申请号：KR1020100067664

申请日：2010-07-14

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김학용 ,  양호순 ,  이회윤 ,  이윤우

IPC: G02B27/42 ,  G02B27/10 ,  G01J9/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G02B27/42 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02074 ,  G02B21/0068 ,  G02B27/283 ,  G02B2006/12159

Abstract: PURPOSE: A polarized light point diffraction interferometer is provided to being easily arranged in an image forming target object by performing measurement even though a target object vibrates. CONSTITUTION: A polarizer(104) is arranged to be parallel with a polarizing beam splitter(103) to the front of a first direction. A pinhole(104a) is formed on the central part of the polarizer. Polarized light, which is reflected in the polarizing beam splitter, enters the polarizer. Half of incident light is transmitted. The remaining half of the incident light is diffracted with the pinhole and is changed into a spherical wave. A quarter wavelength plate(105) is arranged to be parallel with the polarizer to the front of the first direction. A reference beam and a measurement beam are changed into a circular polarization. An imaging optical system(106) is arranged to be parallel with a quarter wavelength plate to the front of the first direction The reference beam and measurement beam , which pass through the quarter wavelength plate, are entered and reflected in an image formation optical system.

Abstract translation: 目的：提供偏振光点衍射干涉仪，以便即使目标物体振动，也可以通过进行测量而容易地布置在图像形成目标物体中。 构造：偏振器（104）布置成与偏振分束器（103）平行于第一方向的前方。 在偏振片的中央部形成有针孔（104a）。 偏振分束器中反射的偏振光进入偏振器。 一半的入射光被传输。 入射光的剩余一半被针孔衍射并变为球面波。 四分之一波长板（105）被布置成与偏振器平行于第一方向的前方。 参考光束和测量光束变成圆偏振。 成像光学系统（106）被布置成与四分之一波长板平行于第一方向的前方。穿过四分之一波长板的参考光束和测量光束被输入并在图像形成光学系统中反射。

公开(公告)号：KR1020100111908A

公开(公告)日：2010-10-18

申请号：KR1020090030379

申请日：2009-04-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 김승우 ,  박정재

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/25 ,  G02B5/00

CPC classification number: G01B9/0201 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02076 ,  G01B9/02084 ,  G01B2290/35 ,  G01B2290/70

Abstract: PURPOSE: A vibration-insensitive interferometer using a high-speed camera and a continuous phase scanning method is provided to enable direct detection of vibration components which may generate in general weather measurement environment. CONSTITUTION: A vibration-insensitive interferometer comprises a light source(100), a light transmission part(200), a continuous phase scanning part(300), and a high speed camera(400). The light transmission part irradiates the light coming out from the light source to a measurement object, and creates an interference pattern by splitting the light reflected off the object into a reference beam and a measurement beam and making them interfere. The continuous phase scanning part scans the reference beam split by the light transmission part with a continuous phase scanning method. The high speed camera acquires the interference pattern created by the measurement beam irradiated by the light transmission part and the reference beam irradiated by the continuous phase scanning part.

Abstract translation: 目的：提供使用高速摄像机和连续相位扫描方法的无振动干涉仪，以便直接检测在一般气象测量环境中可能产生的振动成分。 构成：无振动干涉仪包括光源（100），光透射部分（200），连续相位扫描部分（300）和高速相机（400）。 光传输部分将从光源出射的光照射到测量对象，并通过将从物体反射的光分成参考光束和测量光束并使其干涉而产生干涉图案。 连续相位扫描部以连续相位扫描法扫描由透光部分分割的参照光束。 高速摄像机获取由透光部照射的测量光和由连续相位扫描部照射的基准光束产生的干涉图。

公开(公告)号：KR1020060011938A

公开(公告)日：2006-02-06

申请号：KR1020057013865

申请日：2004-01-27

Applicant: 제테틱 인스티튜트

Inventor： 힐헨리알렌

IPC: G02B21/14 ,  G01B9/02 ,  G02B21/18

CPC classification number: G01B9/02007 ,  A45D2008/006 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02079 ,  G01B9/04 ,  G01B2290/70 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/14 ,  G02B27/017 ,  G02B27/108 ,  G02B27/126 ,  G02B27/143 ,  G02B27/144 ,  G02B27/145

Abstract: A confocal interferometry system (110) for making measurements of an object (60), the system including an array of pinholes (12) to receive a source beam (24) and act as an array of beamsplitters to separate the source beam into a reference beam and measurement beam.

Abstract translation: 一种用于对物体（60）进行测量的共焦干涉测量系统（110），所述系统包括针孔阵列（12）以接收源光束（24），并且用作分束器阵列以将源光束分离成参考 光束和测量光束。

公开(公告)号：KR1020040074069A

公开(公告)日：2004-08-21

申请号：KR1020047008930

申请日：2002-12-04

Applicant: 지고 코포레이션

Inventor： 덱,레스리,엘

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B11/06 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02081 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70

Abstract: 광위상간섭측정법은 다중 표면(109)에서 반사된 광학 파두(140)의 다른 부분을 합하여 광학 간섭상을 형성하는 단계; 간섭신호에 다르게 기여하는 다른 광거리 분리를 가지는 다중 표면 쌍을 야기하는 광학 파두의 성질을 변화하는 것에 대하여 광학 간섭상의 다른 위치에서 간섭신호를 기록하는 단계(170); 다중표면쌍 각각에 대응하는 스펙트럼 좌표에서 피크를 가지는 스펙트럼을 만들기 위한 최소한 하나의 위치에 대한 간섭신호를 변환하는 단계(180); 및 선택된 다중표면쌍에 대응하는 피크의 스펙트럼 좌표를 확인하는 단계(190)로 이루어진다.

公开(公告)号：KR101530898B1

公开(公告)日：2015-06-23

申请号：KR1020127007041

申请日：2009-11-23

Applicant: 지고 코포레이션

Inventor： 데이빗슨마크 ,  라이스너얀 ,  드그룻피터 ,  꼴로나드레가하비에르 ,  덱레슬리엘.

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0209 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02068 ,  G01B9/02077 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  Y10T29/49002

Abstract: 본발명의장치는검사대상체로부터의검사광을기준광과조합하여검출기상에간섭패턴을형성하는광학기기를구비하는광대역주사간섭계시스템을포함한다. 본발명의장치는공통의광원으로부터검출기까지검사광 및기준광 사이의광로차(OPD)를주사하도록구성된스테이지와, 일련의 OPD 증분(OPD increment)의각각에대한간섭패턴을기록하기위한검출기를구비하는검출기시스템을포함한다. 각각의 OPD 증분의주파수는프레임레이트를규정한다. 광학기기는주사를행함에따라 OPD에서의변화를나타내는 2개이상의모니터간섭신호를생성하도록되어있다. 검출기시스템은모니터간섭신호를기록하도록되어있다. 본발명의장치는프레임레이트보다큰 주파수에서 OPD 증분의섭동에대한감도로 OPD 증분에관한정보를판정하도록구성된프로세서를포함한다.

公开(公告)号：KR1020130114131A

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：KR1020137009066

申请日：2011-09-08

Applicant: 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

Inventor： 게르하르트,미카엘 ,  되르브란드,베른드 ,  그루너,토랄프

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G01B9/02

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G03F7/70266 ,  G03F7/706 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70891 ,  H01L21/0274 ,  G01B9/0201

Abstract: 마이크로리소그래피용 투영 노광 장치(10)를 작동시키기 위한 방법이 제공된다. 투영 노광 장치(10)는, 이미징 프로세스 동안에 전자기 방사(16, 16a, 16b, 16c)를 전달하는 다수의 광학 요소들(26)을 가진 광학 시스템(24; 18)을 포함하고, 상기 광학 요소들(26)의 모든 표면들이 상기 이미징 프로세스 동안에 상기 전자기 방사(16)와 상호 작용하여 상기 광학 시스템(24; 18)의 전체의 광학 표면을 형성한다. 상기 방법은, 전체의 광학 표면의 적어도 2개의 상이한 위치들에서 개개의 개별적인 열 팽창 계수들(52)을 결정하는 단계, 상기 열 팽창 계수들(52)에 기초하여 상기 이미징 프로세스 동안에 상기 전자기 방사(16, 16a, 16b, 16c)의 열 방출에 의해 유발되는 상기 광학 시스템(24; 18)의 광학 특성에 대한 변화를 계산하는 단계, 및 상기 투영 노광 장치(10)에 의해 - 상기 계산된 상기 광학 특성에 대한 변화가 적어도 부분적으로 보상되도록 상기 투영 노광 장치의 이미징 특성들이 순응됨 - 이미지 평면(34)으로 마스크 구조들을 이미징하는 단계를 포함한다.