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公开(公告)号：KR1020060006195A
公开(公告)日：2006-01-19
申请号：KR1020040055096
申请日：2004-07-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L27/115
CPC classification number: H01L45/04 , H01L45/1226 , H01L45/1233 , H01L45/14 , H01L45/146 , H01L45/147 , H01L45/148 , H01L45/1625 , H01L49/003
Abstract: 본 발명의 급격한 금속-절연체 전이 반도체물질을 이용한 2단자 반도체 소자는, 제1 전극막과, 제1 전극막 위에 배치되는 2eV 이하의 에너지 갭과 정공 준위내의 정공을 갖는 급격한 금속-절연체 전이 반도체 물질막과, 그리고 급격한 금속-절연체 전이 반도체 물질막 위에 배치되는 제2 전극막을 구비한다. 이에 따르면 제1 전극막 및 제2 전극막 사이에 인가되는 전계에 의해 상기 급격한 금속-절연체 전이 반도체 물질막에서는 구조적 상전이가 아닌 정공 도핑에 의한 급격한 금속-절연체 전이가 발생한다.
금속-절연체 전이, 반도체 소자, 온도센서, 광전센서, 메모리 소자-
公开(公告)号：KR100377194B1
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：KR1020000054801
申请日：2000-09-19
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S3/136
Abstract: PURPOSE: A super high frequency modulation laser beam generator having a double annular resonator structure is provided to widen a range of modulation frequency of laser ray source by changing a polarization and a wavelength of specific modes of laser ray. CONSTITUTION: A first annular optic fiber laser(50) resonator has a length different from a second annular optic fiber laser resonator(60). An optic fiber coupler(70) couples the first annular optic fiber laser resonator with the second annular optic fiber laser resonator to oscillate double laser modes, so that a beat phenomenon between double laser modes is induced. Each of the first and second annular optic fiber laser resonators has a polarization regulator for modulating a frequency of output rays. The first annular optic fiber laser resonator comprises an optic fiber(51) for amplifying rays, a dispersal compensating fiber(52) for a non-linear polarization effect, an optic direction regulator(53) and a polarization regulator(54). The second annular optic fiber laser resonator comprises a dispersal compensating fiber(62) and a polarization regulator(61).
Abstract translation: 目的：提供一种具有双环形谐振器结构的超高频调制激光束发生器，以通过改变激光射线的特定模式的偏振和波长来扩大激光射线源的调制频率范围。 构成：第一环形光纤激光器（50）谐振器具有不同于第二环形光纤激光谐振器（60）的长度。 光纤耦合器（70）将第一环形光纤激光器谐振器与第二环形光纤激光器谐振器耦合以振荡双激光模式，从而引起双激光模式之间的拍动现象。 第一和第二环形光纤激光器谐振器中的每一个具有用于调制输出光线的频率的偏振调节器。 第一环形光纤激光器谐振器包括用于放大射线的光纤（51），用于非线性极化效应的扩散补偿光纤（52），光学方向调节器（53）和偏振调节器（54）。 第二环形光纤激光器谐振器包括分散补偿光纤（62）和偏振调节器（61）。
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公开(公告)号：KR100309675B1
公开(公告)日：2001-12-17
申请号：KR1019980050247
申请日：1998-11-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L39/22
Abstract: 본 발명은 고온 초전도 계단형 모서리 조셉슨 접합 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 구리계 산화물 고온초전도 박막을 이용한 계단형 모서리 접합의 제작방법에 관한 것으로서, SrTiO
3 (STO) 기판에 계단형 모서리를 제작하는 제 1 공정, 제작된 계단형 모서리 기판 위에 YBa
2 Cu
3 O
7-x (YBCO) 박막을 증착하는 제 2 공정, 광리소그래피와 이온 밀링으로 마이크로 브리지 패턴을 형성한 후 열처리의 제 3 공정을 수행함으로써, 고온초전도 계단형 모서리 조셉슨 접합의 재현성 있는 제작을 위해 금속(Au) 박막을 사용하여 포토레지스트 노광시 투명한 기판 바닥에서의 반사광을 차단시켜 이온밀링시 높은 경사각과 직선적인 경사를 가지는 계단형 모서리를 재현성 있게 제작할 수 있고, 접합의 금속전극 형성 후 2단계 열처리 과정을 통해 고온초전도 계단형 모� �리 접합의 특성을 가질 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020010004093A
公开(公告)日：2001-01-15
申请号：KR1019990024699
申请日：1999-06-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S5/30
Abstract: PURPOSE: A laser molecular beam epitaxy(MBE) apparatus is provided in which an ion beam generator is set to easily control supply of active oxygen when a metal oxide is fabricated and an ion beam formed from various gases is irradiated on the surface of the metal oxide to change composition and structure thereof. CONSTITUTION: A laser MBE apparatus has a pressure gauge(12) and an external vacuum pump(11) and vaporizes a metal oxide target(1) with a high-power pulse laser beam at a low pressure to deposit a metal oxide on a substrate(2) heated by a heater(3). The laser MBE apparatus includes a gas flow rate adjustment controller(6) for receiving an electrical signal from the pressure gauge to control gas flow rates, a gas flow rate controller(7) for supplying gases such that the laser MBE apparatus has a desired inner vacuum degree when the metal oxide is deposited, an ion beam generation controller(5) attached to the outside of the MBE apparatus to control the speed of an ion beam, and an ion beam generator(4) set inside the MBE apparatus to ionize the gases inserted from the gas flow rate controller, generating the ion beam.
Abstract translation: 目的：提供一种激光分子束外延（MBE）装置，其中设置离子束发生器以容易地控制当制造金属氧化物时的活性氧供应，并且从各种气体形成的离子束照射在金属的表面上 氧化物以改变其组成和结构。 构成：激光MBE装置具有压力计（12）和外部真空泵（11），并且用低功率的高功率脉冲激光束使金属氧化物靶（1）蒸发以在基底上沉积金属氧化物 （2）由加热器（3）加热。 激光MBE装置包括用于从压力计接收电信号以控制气体流速的气体流量调节控制器（6），用于供应气体的气体流速控制器（7），使得激光器MBE装置具有期望的内部 沉积金属氧化物时的真空度，附着在MBE装置的外部以控制离子束的速度的离子束发生控制器（5）和设置在MBE装置内的离子束发生器（4），以使 从气体流量控制器插入的气体，产生离子束。
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公开(公告)号：KR100216542B1
公开(公告)日：1999-08-16
申请号：KR1019960035748
申请日：1996-08-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C14/28
Abstract: 본 발명은 펄스 레이저 증착장치를 사용하여 기판 상에 박막을 성장할 때, 고품위의 재현성있는 박막을 성장할 수 있고, 증착장치를 자동화할 수 있으며, 펄스 레이저 증착을 경제적으로 수행할 수 있는 멀티 타겟 구동장치에 관한 것이다. 본 발명의 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치는, 스테핑 모터와, 구동 피드스루로 구성되어, 타겟원판 구동축 및 타겟 구동용 모터축에 회전 구동력을 제공하기 위한 구동력 제공부와; 설치 플랜지와, 타겟원판 구동용 피동기어와, 타겟원판 구동용 능동기어와, 타겟원판 구동용 모터축과, 타겟원판 구동축과, 머리부 지지용 프레임과 타겟 구동용 모터축으로 구성되어, 상기한 구동력 제공부로부터 제공받은 타겟원판 및 타겟의 회전에 필요한 회전 구동력을 전달하며 타겟 구동장치의 머리부를 지지하기 위한 구동력 전달 및 지지부와; 타겟 원판과, 타겟 구동용 피동기어와, 타겟 구동용 능동기어와, 타겟홀더 고정용 스터브와, 타겟 홀더와, 복수의 타겟 구동축으로 구성되어, 타겟 재료를 레이저빔의 촛점에 위치시키도록 타겟원판과 타겟의 회전이 수행되는 머리부를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100199018B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019960061306
申请日：1996-12-03
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01P1/20
Abstract: 본 발명은 마이크로스트립 평행결합선 방식의 Ag를 첨가한 고온초전도 임의 형태의 4극 대역통과필터에 관한 것으로서, 마이크로파 특성이 우수한 단결정 기판과 상기 단결정기판 상부에 형성된 신호전송용 입력단과 상기 단결정 기판 상부의 상기 신호 전송용 입력단의 타측에 형성된 출력단과 상기 단결정 기판 상부에 입력단과 출력단과 연결되도록 형성된 ㄱ자형의 정랍망과 상기 다결정기판과의 정합망 사이에 개수에 의해 결정되는 4개의 마이크로스트립 방식으로 형성된 필터패턴과 상기 다결정기판 하부에 형성된 접지판을 만든다. 따라서 손실 특성을 저하 시키면서 스커트 특성을 향상 시킬 수 있고, 기존의 고온초전도체인 YBCO를 사용 하지 않고 Ag-YBCO를 이용하여 제작하여 기존의 특성보다 우수한 소자를 창출한 것이다.
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公开(公告)号：KR100171378B1
公开(公告)日：1999-03-30
申请号：KR1019950051471
申请日：1995-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/203
Abstract: 본 발명은 대면적 펄스 레이저 박막 증착을 위한 비접촉 회전 전열기에 관한 것이다.
본 발명의 비접촉 회전 전열기는, 전열기(1), 기판 및 기판 지지대(2), 세라믹 열차단 로드(3), 히터 밑판(4), 방열판(5), 회전부주 베어링(7), 회전부 주 베어링 지지축(6), 전열선 연결터미널(9), 열전대 연결 터미널(10), 회전부 주 베어링(7)과 연결된 회전부 간격유지 및 방열판(11)과 회전부 기본 밑판(12), 피동동력 전달기어(14), 회전부 형상 지지로드(13), 냉각수 공급/회수용 피팅(8) 및 셔터(21)로 구성되어, 기판의 온도 조절과 회전을 수행하기 위한 전열기부(A); 상하의 측면 지지 프레임(15,16), 윗면 결합용 지지판(17), 셔터 동작로드 지지 베어링(18), 모터 동력축 지지 베어링(19), 셔터 동작 로드(20), 능동 동력 전달축(22), 능동 동력 전달기어(23), 냉각수 공급/회수용 금속 튜브(24), 열전대선(39), 전열선(40)으로 구성되며, 진공 내에 위치하여 상기한 전열기부(A)와 진공용기 밖에 위치하는 이송부(C)를 연결지지하기 위한 지지부(B); 및, 이송부 전체 지지 플레임(32)에 부착된 이송기어(28), 이송부 동작 손잡이(29), 눈금자(30) 및 지시기(31)로 구성된 기구 동작부, 기구의 이동시 진공을 유지하면서 그 움직임을 가능하게 하는 상하 벨로우즈(25, 26), 진공의 안과 밖을 연결하는 상하부 접속 플랜지(34, 35), 진공 챔버 접속 플랜지(27), 위치 고정 중간 지지판(33), 상부 접속 플랜지(34)에 부착된 수동 로타리식 피드스루(36), 하부 접속 플랜지(35)에 연결된 스텝핑 모터(38), 열전대선용 피드스루(41) 및 전열선용 피드스루로 구성되며, 챔버챔버 접속 플랜지(27)와 이송부 전체 지지판(33)을 기준하여 상기한 기구를 전후 이동시키기 위한 이송부(C)로 구성된다.-
公开(公告)号：KR100155310B1
公开(公告)日：1998-10-15
申请号：KR1019950020383
申请日：1995-07-11
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L27/24
Abstract: 본 발명은 무선 및 마이크로파 통신시스템에 사용되는 핵심부품인 다채널 멀티플렉서의 한부분으로 마이크로스트립 분기선 방식의 3-dB 직각 결합기(coupler)와 평행결합선 방식의 2-극 대역통과 여파기를 집적시킨 고온초전도 서브시스템의 일종이다.
본 발명인 마이크로스트립선 방식의 고온초전도 마이크로파 듀플렉서는 고온초전도 YBCO/MgO 에피텍셜 박막과 미세형상화 공정을 통하여 구현하였으며 출력포트에서의 여파기 신호는 36MHz의 대역폭과 ∼10GHz 중심주파수를 가졌다.
한편, 4-포트형 3-성분 시험지구(test-jig)에 제조한 고온초전도 듀플렉서를 내장시키고 저온 마이크로파 특성을 측정하기 전에, 기판 뒷면에는 전자선 증발기로 이중금속(Ti/Ag)접지평면을 증착하였다.
따라서, 고온초전도 듀플렉서는 YBCO/MgO/Ti/Ag구조를 갖게 되었다. 이러한 고온초전도 듀플렉서는 사용하면 무선 및 마이크로파 통신부품에서 무손실, 무분산으로 신호처리가 가능하고, 마이크로스트립線 방식의 서브시스템이므로 제조도 간단하고 경량이므로 고온초전도 MMICs의 발달을 촉진할 것으로 기대된다.-
公开(公告)号：KR1019980048944A
公开(公告)日：1998-09-15
申请号：KR1019960067599
申请日：1996-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/3065
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
본 발명은 빛을 도파시킬 수 있는 광섬유를 사용하되, 이 광섬유 출구 한 끝을 원뿔형으로 가공하여 도파된 빛을 렌즈의 사용없이 레이저 어블레이션을 발생시키기 위해 필요한 에너지 밀도를 얻고, 이 집적된 에너지를 이용하여 미세 스트립 선로의 폭 및 면적을 직접 식각하므로써 박막집적소자의 표면 정전용량 및 인덕턴스의 미세조정 등을 가능하게 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 자외선 빔을 발생하는 수단; 상기 레이저 발생수단에서 방사되는 레이저 빔의 전달경로를 제공하는 광섬유 도파관; 상기 레이저 발생수단과 광섬유 도파관 사이에 장착되어 광섬유내로 레이저 빔이 입사되도록 집중시키는 수단; 및 상기 광섬유도파관의 출구에서 출력된 빔에 의해 식각재료가 소정각도에서 식각되도록 위치조절하는 샘플 플랫포옴을 포함하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
박막위에 형성된 마이크로 스트립선로의 폭 및 면적의 미세조정을 레이저 어블레이션을 이용하여 직접적인 건식식각을 통하여 이루므로써 집적소자의 표면정전 용량 및 인덕턴스의 미세조정을 가능하게 하는 것임, -
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