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    관성 센서 및 관성 측정 방법
    161.
    发明公开
    관성 센서 및 관성 측정 방법 有权
    惯性传感器及其测量方法

    公开(公告)号：KR1020140113058A

    公开(公告)日：2014-09-24

    申请号：KR1020130027955

    申请日：2013-03-15

    Applicant: 현대자동차주식회사

    Inventor： 박상규 ,  권순명

    IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5621 ,  G01P15/097

    CPC classification number: G01C19/5621 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0228 ,  G01P15/097 ,  G01P15/14

    Abstract: The present invention relates to an inertial sensor and an inertial measuring method, wherein the inertial sensor comprises a main body part having a MEMS driving body; a driving part vibrating the MEMS driving body of the main body part; and a sensing part measuring the triaxial acceleration and triaxial angular velocity of the MEMS driving body. The MEMS driving part includes a first driving part generating an x-axial driving signal vibrating the MEMS driving body in an x-axial direction; and a second driving body generating a y-axial driving signal vibrating the MEMS driving body in a y-axial direction, wherein the x-axial driving signal and the y-axial driving signal have identical driving frequencies and have a phase difference of 90°.

    Abstract translation: 惯性传感器和惯性测量方法技术领域本发明涉及惯性传感器和惯性测量方法，其中惯性传感器包括具有MEMS驱动体的主体部分; 驱动部，使主体部的MEMS驱动体振动; 以及测量MEMS驱动体的三轴加速度和三轴角速度的传感部件。 MEMS驱动部包括产生在x轴方向上振动MEMS驱动体的x轴驱动信号的第一驱动部， 以及产生在y轴方向上振动所述MEMS驱动体的y轴驱动信号的第二驱动体，其中所述x轴驱动信号和所述y轴驱动信号具有相同的驱动频率，并具有90°的相位差 。

    멤스 디바이스 면적을 저감하는 관성 센서 패키지 및 그의 제작방법
    162.
    发明授权
    멤스 디바이스 면적을 저감하는 관성 센서 패키지 및 그의 제작방법 有权
    具有减少MEMS器件领域的惯性传感器封装及其制造方法

    公开(公告)号：KR101212974B1

    公开(公告)日：2012-12-18

    申请号：KR1020120098537

    申请日：2012-09-06

    Applicant: 주식회사 티엘아이

    Inventor： 홍순원

    IPC: B81B7/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P15/125

    CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B1/006 ,  B81B3/0035 ,  B81B7/0051 ,  B81B2201/0228 ,  B81C1/00015 ,  G01P15/125

    Abstract: PURPOSE: An inertial sensor package reducing a MEMS device area and a manufacturing method thereof are provided to reduce the MEMS device area because a separate connection electrode for connecting an inertia sensor and an operation chip is not required. CONSTITUTION: An inertial sensor package comprises a MEMS device(100) and a protective cap(200). The MEMS device comprises a via-hole. The via-hole penetrates through a semiconductor substrate and a via-hole conductor is deposited in the inside of the via-hole. The protective cap is attached on a surface of the semiconductor substrate. The protective cap forms a protection space for protecting the inertial sensor.

    Abstract translation: 目的：提供一种降低MEMS器件面积的惯性传感器封装及其制造方法，以减少MEMS器件面积，因为不需要用于连接惯性传感器和操作芯片的独立连接电极。 构成：惯性传感器封装包括MEMS器件（100）和保护盖（200）。 MEMS器件包括通孔。 通孔穿过半导体衬底，并且通孔导体沉积在通孔的内部。 保护盖附着在半导体衬底的表面上。 保护盖形成用于保护惯性传感器的保护空间。

    센서 프레임 캘리브레이션을 이용한 항법 시스템 및 그 제공방법
    163.
    发明公开
    센서 프레임 캘리브레이션을 이용한 항법 시스템 및 그 제공방법 无效
    传感器帧校准导航系统及其提供方法

    公开(公告)号：KR1020110130775A

    公开(公告)日：2011-12-06

    申请号：KR1020100050267

    申请日：2010-05-28

    Applicant: 위드로봇 주식회사

    Inventor： 이재훈 ,  박현우 ,  김도윤

    IPC: G01C21/16 ,  G01C21/28 ,  G01C21/00

    CPC classification number: G01C21/16 ,  B81B2201/0228 ,  G01C21/28 ,  G01C25/005

    Abstract: PURPOSE: A navigation system using sensor frame calibration and a providing method thereof are provided to improve the accuracy of position information by calibrating the deviation of a coordinate system. CONSTITUTION: A navigation system using sensor frame calibration comprises an Inertial measurement Unit(110), a calibration module(120), and a navigation calculation module(130). The IMU measures inertia data according to the movement of a movable body. The calibration module calculates the deviation information of a body frame corresponding to the movable body and a sensor frame corresponding to the IMU. The navigation calculation module calculates the position information of the movable body based on the calculated deviation information and the measured inertia data.

    Abstract translation: 目的：提供使用传感器框架校准的导航系统及其提供方法，通过校准坐标系的偏差来提高位置信息的精度。 构成：使用传感器帧校准的导航系统包括惯性测量单元（110），校准模块（120）和导航计算模块（130）。 IMU根据移动体的运动测量惯性数据。 校准模块计算与移动体对应的身体框架的偏差信息和与IMU对应的传感器框架。 导航计算模块基于计算的偏差信息和测量的惯性数据来计算可移动体的位置信息。

    在驅動模式時具有最小化的干擾移動的轉速感應器
    170.
    发明专利
    在驅動模式時具有最小化的干擾移動的轉速感應器 审中-公开
    在驱动模式时具有最小化的干扰移动的转速感应器

    公开(公告)号：TW201706603A

    公开(公告)日：2017-02-16

    申请号：TW105122404

    申请日：2016-07-15

    Applicant: 羅伯特博斯奇股份有限公司 ,  ROBERT BOSCH GMBH

    Inventor： 拉瑟 安德烈亞斯 ,  LASSL, ANDREAS ,  庫曼 布克哈德 ,  KUHLMANN, BURKHARD ,  哈塔斯 米爾科 ,  HATTASS, MIRKO ,  霍普納 克里斯堤安 ,  HOEPPNER, CHRISTIAN ,  施米德 班傑明 ,  SCHMIDT, BENJAMIN ,  巴斯林克 托斯頓 ,  BALSLINK, THORSTEN

    IPC: G01P15/00 ,  G01C19/574 ,  B81B7/02

    CPC classification number: G01C19/5747 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/0228 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/5762

    Abstract: 本發明提出一種轉速感應器，包括具有主延伸平面的基板及至少一相對於該基板可動的第一結構及至少一相對於該基板及該第一結構可動的第二結構，其中該轉速感應器為使得該第一結構以一大體上平行於第一軸線的運動分量自該第一結構的死點位置偏轉而包括至少一第一驅動結構，其中該轉速感應器為使得該第二結構以一大體上平行於該第一軸線的運動分量自該第二結構的死點位置偏轉而包括至少一第二驅動結構，其中該第一結構及該第二結構可受到激勵以大體上平行於該第一軸線的運動分量發生大體上反相的振動，其中該第一驅動結構以某種方式具有至少一固定在該基板上的第一彈簧，使得該第一彈簧抑制該第一結構之大體上圍繞平行於垂直於該主延伸平面延伸的第二軸線延伸的軸線的翻轉，其中該第二驅動結構以某種方式具有至少一固定在該基板上的第二彈簧，使得該第二彈簧抑制該第二結構之大體上圍繞平行於該第二軸線延伸的另一軸線的翻轉。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提出一种转速感应器，包括具有主延伸平面的基板及至少一相对于该基板可动的第一结构及至少一相对于该基板及该第一结构可动的第二结构，其中该转速感应器为使得该第一结构以一大体上平行于第一轴线的运动分量自该第一结构的死点位置偏转而包括至少一第一驱动结构，其中该转速感应器为使得该第二结构以一大体上平行于该第一轴线的运动分量自该第二结构的死点位置偏转而包括至少一第二驱动结构，其中该第一结构及该第二结构可受到激励以大体上平行于该第一轴线的运动分量发生大体上反相的振动，其中该第一驱动结构以某种方式具有至少一固定在该基板上的第一弹簧，使得该第一弹簧抑制该第一结构之大体上围绕平行于垂直于该主延伸平面延伸的第二轴线延伸的轴线的翻转，其中该第二驱动结构以某种方式具有至少一固定在该基板上的第二弹簧，使得该第二弹簧抑制该第二结构之大体上围绕平行于该第二轴线延伸的另一轴线的翻转。

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