-
公开(公告)号:KR1020140113058A
公开(公告)日:2014-09-24
申请号:KR1020130027955
申请日:2013-03-15
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: G01C19/56 , G01C19/5621 , G01P15/097
CPC classification number: G01C19/5621 , B81B7/02 , B81B2201/0228 , G01P15/097 , G01P15/14
Abstract: The present invention relates to an inertial sensor and an inertial measuring method, wherein the inertial sensor comprises a main body part having a MEMS driving body; a driving part vibrating the MEMS driving body of the main body part; and a sensing part measuring the triaxial acceleration and triaxial angular velocity of the MEMS driving body. The MEMS driving part includes a first driving part generating an x-axial driving signal vibrating the MEMS driving body in an x-axial direction; and a second driving body generating a y-axial driving signal vibrating the MEMS driving body in a y-axial direction, wherein the x-axial driving signal and the y-axial driving signal have identical driving frequencies and have a phase difference of 90°.
Abstract translation: 惯性传感器和惯性测量方法技术领域本发明涉及惯性传感器和惯性测量方法,其中惯性传感器包括具有MEMS驱动体的主体部分; 驱动部,使主体部的MEMS驱动体振动; 以及测量MEMS驱动体的三轴加速度和三轴角速度的传感部件。 MEMS驱动部包括产生在x轴方向上振动MEMS驱动体的x轴驱动信号的第一驱动部, 以及产生在y轴方向上振动所述MEMS驱动体的y轴驱动信号的第二驱动体,其中所述x轴驱动信号和所述y轴驱动信号具有相同的驱动频率,并具有90°的相位差 。
-
公开(公告)号:KR101212974B1
公开(公告)日:2012-12-18
申请号:KR1020120098537
申请日:2012-09-06
Applicant: 주식회사 티엘아이
Inventor: 홍순원
IPC: B81B7/00 , B81B3/00 , B81C1/00 , G01P15/125
CPC classification number: B81B7/02 , B81B1/006 , B81B3/0035 , B81B7/0051 , B81B2201/0228 , B81C1/00015 , G01P15/125
Abstract: PURPOSE: An inertial sensor package reducing a MEMS device area and a manufacturing method thereof are provided to reduce the MEMS device area because a separate connection electrode for connecting an inertia sensor and an operation chip is not required. CONSTITUTION: An inertial sensor package comprises a MEMS device(100) and a protective cap(200). The MEMS device comprises a via-hole. The via-hole penetrates through a semiconductor substrate and a via-hole conductor is deposited in the inside of the via-hole. The protective cap is attached on a surface of the semiconductor substrate. The protective cap forms a protection space for protecting the inertial sensor.
Abstract translation: 目的:提供一种降低MEMS器件面积的惯性传感器封装及其制造方法,以减少MEMS器件面积,因为不需要用于连接惯性传感器和操作芯片的独立连接电极。 构成:惯性传感器封装包括MEMS器件(100)和保护盖(200)。 MEMS器件包括通孔。 通孔穿过半导体衬底,并且通孔导体沉积在通孔的内部。 保护盖附着在半导体衬底的表面上。 保护盖形成用于保护惯性传感器的保护空间。
-
公开(公告)号:KR1020110130775A
公开(公告)日:2011-12-06
申请号:KR1020100050267
申请日:2010-05-28
Applicant: 위드로봇 주식회사
CPC classification number: G01C21/16 , B81B2201/0228 , G01C21/28 , G01C25/005
Abstract: PURPOSE: A navigation system using sensor frame calibration and a providing method thereof are provided to improve the accuracy of position information by calibrating the deviation of a coordinate system. CONSTITUTION: A navigation system using sensor frame calibration comprises an Inertial measurement Unit(110), a calibration module(120), and a navigation calculation module(130). The IMU measures inertia data according to the movement of a movable body. The calibration module calculates the deviation information of a body frame corresponding to the movable body and a sensor frame corresponding to the IMU. The navigation calculation module calculates the position information of the movable body based on the calculated deviation information and the measured inertia data.
Abstract translation: 目的:提供使用传感器框架校准的导航系统及其提供方法,通过校准坐标系的偏差来提高位置信息的精度。 构成:使用传感器帧校准的导航系统包括惯性测量单元(110),校准模块(120)和导航计算模块(130)。 IMU根据移动体的运动测量惯性数据。 校准模块计算与移动体对应的身体框架的偏差信息和与IMU对应的传感器框架。 导航计算模块基于计算的偏差信息和测量的惯性数据来计算可移动体的位置信息。
-
公开(公告)号:TW201809675A
公开(公告)日:2018-03-16
申请号:TW106126828
申请日:2017-08-09
Applicant: 德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
Inventor: 錫莫尼 芭芭拉 , SIMONI, BARBARA , 霍普納 克里斯堤安 , HOEPPNER, CHRISTIAN , 谷蓋兒 丹尼斯 , GUGEL, DENIS , 烏爾里希 岡瑟 尼諾 卡羅 , ULLRICH, GUENTHER-NINO-CARLO , 貴特 賽巴斯汀 , GUENTHER, SEBASTIAN , 豪爾 提姆 , HOEHR, TIMM , 席爾豪斯 約翰尼斯 , SEELHORST, JOHANNES
IPC: G01P15/097 , G01P15/13 , B81B3/00
CPC classification number: G01C19/5733 , B81B3/0078 , B81B2201/0228 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/14 , G01P2015/0871
Abstract: 本發明揭示一種用於一慣性感測器(200)的微機械感測器核心(100),其包含:-一行動地震塊體(10);-經定義之數量個錨定元件(20),藉以將該地震塊體(10)緊固於一基板上;-經定義之數量個止動裝置(20),其緊固在該基板上,用於撞擊該地震塊體(10);其中-一第一彈性止動元件(21)、一第二彈性止動元件(23)及一固定止動元件(22)形成在該止動裝置(20)上;-其中該等止動元件(21、22、23)係以使得該地震塊體(10)可相繼地撞擊該第一彈性止動元件(21)、該第二彈性止動元件(23)及該固定止動元件(22)之一方式組態。
Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种用于一惯性传感器(200)的微机械传感器内核(100),其包含:-一行动地震块体(10);-经定义之数量个锚定组件(20),借以将该地震块体(10)紧固于一基板上;-经定义之数量个止动设备(20),其紧固在该基板上,用于撞击该地震块体(10);其中-一第一弹性止动组件(21)、一第二弹性止动组件(23)及一固定止动组件(22)形成在该止动设备(20)上;-其中该等止动组件(21、22、23)系以使得该地震块体(10)可相继地撞击该第一弹性止动组件(21)、该第二弹性止动组件(23)及该固定止动组件(22)之一方式组态。
-
公开(公告)号:TWI607959B
公开(公告)日:2017-12-11
申请号:TW104132144
申请日:2015-09-30
Applicant: 伊凡聖斯股份有限公司 , INVENSENSE, INC.
Inventor: 李大成 , LEE, DAESUNG , 辛 宗祐 , SHIN, JONGWOO , 辛 正一 , SHIN, JONG II , 史密斯 彼得 , SMEYS, PETER , 林 馬汀 , LIM, MARTIN
CPC classification number: B81C1/0023 , B81B7/0038 , B81B7/0041 , B81B7/02 , B81B2201/0228 , B81B2207/017 , B81C1/00285 , B81C2203/019 , B81C2203/035 , B81C2203/0785
-
公开(公告)号:TW201722836A
公开(公告)日:2017-07-01
申请号:TW105126789
申请日:2016-08-22
Applicant: 通用電機股份有限公司 , GENERAL ELECTRIC COMPANY
Inventor: 布魯爾 喬琳 , BREWER, JOLEYN EILEEN , 凱摩 克里斯塔佛 , KEIMEL, CHRISTOPHER FRED , 艾米 馬可 , AIMI, MARCO FRANCESCO , 米尼克 安德魯 , MINNICK, ANDREW JAMES , 魯法洛 瑞納 , RUFFALO, RENNER STEPHEN
CPC classification number: B81B3/0027 , B81B3/0075 , B81B7/0003 , B81B7/008 , B81B2201/01 , B81B2201/014 , B81B2201/0228 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/053 , B81B2207/015 , B81B2207/115 , B81C1/00134 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , B81C1/00182 , B81C1/00373 , B81C2201/0107 , G01L9/0042 , G01L9/0044
Abstract: 一種用於微機電系統(MEMS)裝置的系統和方法,包括基板和形成在基板上的獨立和懸置的電鍍金屬MEMS結構。獨立和懸置的電鍍金屬MEMS結構包括機械耦接至基板的金屬機械元件和機械耦接至並電連接於機械元件的晶種層,晶種層包含耐火金屬和耐火金屬合金之至少一者,其中機械元件的厚度本質上大於晶種層的厚度,使得獨立和懸置的電鍍金屬MEMS結構之機械和電性質被機械元件的材料性質定義。
Abstract in simplified Chinese: 一种用于微机电系统(MEMS)设备的系统和方法,包括基板和形成在基板上的独立和悬置的电镀金属MEMS结构。独立和悬置的电镀金属MEMS结构包括机械耦接至基板的金属机械组件和机械耦接至并电连接于机械组件的晶种层,晶种层包含耐火金属和耐火金属合金之至少一者,其中机械组件的厚度本质上大于晶种层的厚度,使得独立和悬置的电镀金属MEMS结构之机械和电性质被机械组件的材料性质定义。
-
公开(公告)号:TWI615898B
公开(公告)日:2018-02-21
申请号:TW102147424
申请日:2013-12-20
Applicant: 羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
Inventor: 菲 安道 拉斯 , FEYH, ANDO LARS , 陳柏瑞 , CHEN, PO JUI , 烏姆 馬可仕 , ULM, MARKUS
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B2201/0221 , B81B2201/0228 , B81C1/00134 , B81C1/00246 , B81C2203/0771
-
公开(公告)号:TW201613819A
公开(公告)日:2016-04-16
申请号:TW104127870
申请日:2015-08-26
Applicant: 羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
Inventor: 雪林 克里斯多福 , SCHELLING, CHRISTOPH , 史湯伯 米夏埃爾 , STUMBER, MICHAEL , 史坦 班乃迪克 , STEIN, BENEDIKT
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/01 , B81B2201/0228 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/0136 , B81C1/00801
Abstract: 一種層材料,它特別適合用於在一MEMS構件(102)的層構造中做具有電極(7)的自由承載的構造元件(31),其至少部分地由一以碳氮化矽(Si1-x-yCxNy)為基礎的層構成。(圖1b)
Abstract in simplified Chinese: 一种层材料,它特别适合用于在一MEMS构件(102)的层构造中做具有电极(7)的自由承载的构造组件(31),其至少部分地由一以碳氮化硅(Si1-x-yCxNy)为基础的层构成。(图1b)
-
公开(公告)号:TWI500573B
公开(公告)日:2015-09-21
申请号:TW101140051
申请日:2012-10-30
Inventor: 張嘉誠 , CHANG, CHIA CHENG , 范成至 , FAN, CHEN CHIH , 周正三 , CHOU, BRUCE C. S.
CPC classification number: B81C1/00269 , B81B3/0018 , B81B3/0067 , B81B3/007 , B81B7/00 , B81B7/0006 , B81B7/0016 , B81B7/0029 , B81B7/0041 , B81B7/0051 , B81B7/0058 , B81B2201/0228 , B81B2201/0235 , B81B2201/025 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , B81C1/00 , B81C1/00293 , B81C1/00325 , B81C2203/0118
-
公开(公告)号:TW201706603A
公开(公告)日:2017-02-16
申请号:TW105122404
申请日:2016-07-15
Applicant: 羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
Inventor: 拉瑟 安德烈亞斯 , LASSL, ANDREAS , 庫曼 布克哈德 , KUHLMANN, BURKHARD , 哈塔斯 米爾科 , HATTASS, MIRKO , 霍普納 克里斯堤安 , HOEPPNER, CHRISTIAN , 施米德 班傑明 , SCHMIDT, BENJAMIN , 巴斯林克 托斯頓 , BALSLINK, THORSTEN
IPC: G01P15/00 , G01C19/574 , B81B7/02
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B3/0054 , B81B2201/0228 , G01C19/5712 , G01C19/5726 , G01C19/5762
Abstract: 本發明提出一種轉速感應器,包括具有主延伸平面的基板及至少一相對於該基板可動的第一結構及至少一相對於該基板及該第一結構可動的第二結構,其中該轉速感應器為使得該第一結構以一大體上平行於第一軸線的運動分量自該第一結構的死點位置偏轉而包括至少一第一驅動結構,其中該轉速感應器為使得該第二結構以一大體上平行於該第一軸線的運動分量自該第二結構的死點位置偏轉而包括至少一第二驅動結構,其中該第一結構及該第二結構可受到激勵以大體上平行於該第一軸線的運動分量發生大體上反相的振動,其中該第一驅動結構以某種方式具有至少一固定在該基板上的第一彈簧,使得該第一彈簧抑制該第一結構之大體上圍繞平行於垂直於該主延伸平面延伸的第二軸線延伸的軸線的翻轉,其中該第二驅動結構以某種方式具有至少一固定在該基板上的第二彈簧,使得該第二彈簧抑制該第二結構之大體上圍繞平行於該第二軸線延伸的另一軸線的翻轉。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提出一种转速感应器,包括具有主延伸平面的基板及至少一相对于该基板可动的第一结构及至少一相对于该基板及该第一结构可动的第二结构,其中该转速感应器为使得该第一结构以一大体上平行于第一轴线的运动分量自该第一结构的死点位置偏转而包括至少一第一驱动结构,其中该转速感应器为使得该第二结构以一大体上平行于该第一轴线的运动分量自该第二结构的死点位置偏转而包括至少一第二驱动结构,其中该第一结构及该第二结构可受到激励以大体上平行于该第一轴线的运动分量发生大体上反相的振动,其中该第一驱动结构以某种方式具有至少一固定在该基板上的第一弹簧,使得该第一弹簧抑制该第一结构之大体上围绕平行于垂直于该主延伸平面延伸的第二轴线延伸的轴线的翻转,其中该第二驱动结构以某种方式具有至少一固定在该基板上的第二弹簧,使得该第二弹簧抑制该第二结构之大体上围绕平行于该第二轴线延伸的另一轴线的翻转。
-
-
-
-
-
-
-
-
-