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公开(公告)号：CN101990630A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200980112555.2
申请日：2009-02-19
Applicant: 布鲁克机械公司
Inventor： 葛拉多·A··布鲁克尔
Abstract: 一种用以测量压力和减少溅射产量的电离计包括产生电子的至少一个电子源。所述电离计还包括收集由所述电子与气体分子之间的碰撞所形成的离子的集极电极。所述电离计还包括阳极。相对于集极电极的偏置电压的阳极偏置电压经配置以在预定压力下切换以使溅射碰撞的产量减小。
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公开(公告)号：CN100592459C
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200480016510.2
申请日：2004-06-14
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/05 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J37/147 , H01J2237/057
Abstract: 披露一种用于离子束的磁性偏转器，所述磁性偏转器包含第一与第二线圈。分别将线圈定位于射束的上方与下方，并且沿着射束的宽度进行延伸。电流通过线圈，用以在其间产生沿着大体上射束整个宽度而大致垂直于射束行进方向的磁场。在本发明的另一个方面中，披露一种在注入工件之前用来偏转射束的方法。该方法包含判断与射束相关联的一个或者多个特性，并且基于判断而有所选择地致动磁性偏转模组与静电偏转模组中的一种。
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公开(公告)号：CN1791961A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200480013242.9
申请日：2004-05-14
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/05 , H01J37/153
Abstract: 本发明公开了一种用于带状离子束的质量分析器。该质量分析器包括一对线圈，其确定该分析器入口端及出口端。在该质量分析器的一或多个出入口端或其附近使用场钳制器。这些场钳制器工作以终止靠近该质量分析器出入口端的边缘场，从而降低这类边缘场对该带状射束的影响并改善射束的均匀度。
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公开(公告)号：CN1425186A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN01808240.8
申请日：2001-12-27
Applicant: 石川岛播磨重工业株式会社
Inventor： 桑原一
IPC: H01J37/05 , H01J37/317 , H01J49/30 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J49/26 , H01J49/32
Abstract: 利用空芯励磁电流路(21)而在离子偏转箱的内部于宽度方向形成均匀强度的磁场，该空芯励磁电流路(21)是由：在具有入口部及出口部并弯曲的离子偏转箱的外部、按照经过入口部以及出口部的弯曲形状而在宽度方向螺旋状卷绕导体(20)而形成，将离子束通过入口部的导体(20c)之间而导入空芯励磁电流路的内部，由于空芯励磁电流路的磁场的作用而使离子束根据离子的质量而弯曲，把所希望质量的离子束通过出口部的导体(20d)而取出，由此而能够均匀地离子质量分离大口径的离子束。
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公开(公告)号：CN1150700A
公开(公告)日：1997-05-28
申请号：CN96111409.6
申请日：1996-08-23
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G09G3/2011 , B82Y10/00 , G09G3/2014 , G09G3/22 , G09G2310/027 , G09G2310/0275 , G09G2320/0223 , H01J2201/30403 , H01J2201/3165 , H01J2329/00
Abstract: 一种电子产生器件，包括一个具有以简单矩阵形式通过多个数据布线条，和多个扫描布线条布线连接的多个电子发射器的多电子源，以及一个驱动电路，用于驱动所述的多电子源，所述的驱动电路包括：第一驱动装置，用于向连接有发射电子的扫描布线条施加第一电压，并向连接有不发射电子的扫描布线条施加第二电压；第二驱动装置，用于向连接有发射电子的数据布线条施加第三电压，并向连接有不发射电子的数据布线条施加第四电压；其中所述的第二电压大体等于第三电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1133484A
公开(公告)日：1996-10-16
申请号：CN95119911.0
申请日：1995-10-26
Applicant: 西门子公司
Inventor： E·普赖斯
CPC classification number: H01J37/1477 , H01J35/02 , H01J37/05 , H01J49/288 , H01J49/48
Abstract: 本发明的对象是一个垂直于电子束轴线(OA)定向的产生EXB场的偏转单元(韦氏滤波器)，它只将强大的横向力作用到带正电的气体离子上，但并不影响电子的运动。这个致偏单元主要包括两个处于固定电位(Vo)的管电极(RA，PE)，一个静电八极偏转器(ED)和两个环形包围着这个八极偏转器(ED)的马鞍形线圈对(SPI，SPA)。
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公开(公告)号：CN218241765U
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202221129152.8
申请日：2022-05-10
Applicant: 长江存储科技有限责任公司
Inventor： 张德培
IPC: H01J37/05 , H01J37/305 , H01L21/3065
Abstract: 本申请公开了一种等离子体刻蚀装置，包括反应室以及多个直流线圈，反应室包括支撑件，支撑件具有能够承载晶圆的承载面，直流线圈位于承载面的上方，且与电源电性连接直流线圈围成一圈沿晶圆的边缘依次排布，且直流线圈在水平面上的投影的一部分位于晶圆在该水平面上的投影的内部；该装置能够将对应于晶圆边缘位置的倾斜的等离子体偏移出晶圆边缘范围内；同时位于晶圆边缘位置且垂直晶圆表面的等离子体可以对晶圆边缘位置进行刻蚀，以保证沟道孔的延伸方向与等离子体的运动方向一致，进而提高晶圆刻蚀的有效性。
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公开(公告)号：CN222168319U
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202420668778.9
申请日：2024-04-02
Applicant: 无锡诚承电子科技有限公司
IPC: H01J37/09 , H01J37/05 , H01J37/317
Abstract: 本实用新型涉及一种离子注入技术领域，尤其涉及一种离子束能量均匀化纯化装置，包括用于筛选纯化离子束的离子筛选机构及用于动态控制离子筛选机构内电压差的电控机构，所述离子筛选机构包括绝缘屏蔽外壳、设于所述绝缘屏蔽外壳内的电极杆组件及固定至电极杆组件一端的第一接线环，所述绝缘屏蔽外壳上设有用于第一接线环与电控机构电连接的接线孔；本实用新型通过四极杆组件筛选掉能量分布较宽或能量不匹配的离子，将离子注入用的离子束进行纯化及聚焦；通过增设控制器动态调整内部电场分布，改变离子束在空间内的聚焦程度和能量分布，使离子束在出射端获得更均匀的能量密度分布，达到均匀化纯化。
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公开(公告)号：CN209029330U
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201821689947.8
申请日：2018-10-17
Applicant: 德淮半导体有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/05
Abstract: 本实用新型提供了一种离子束筛选器，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作；还提供了一种离子植入机，包括：离子源、离子束筛选器以及如离子束分离器。在本实用新型提供的离子束筛选器和离子植入机中，通过离子束筛选器筛选出不同电流的离子束，适用于不同的机台对不同电流的离子束的需求。并且本实用新型通过控制器自动控制遮挡板的移动，实现电子束通过第一孔或第二孔的切换，从而自动筛选出不同电流的离子束。
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