一种改进的压力传感器结构

    公开(公告)号:CN105283745A

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201480031498.6

    申请日:2014-06-04

    Abstract: 一种微机电压力传感器结构,包括平面基座、侧壁、和隔膜板。侧壁层围绕地从平面基座延伸到侧壁层的上表面。平面基座、侧壁以及隔膜板彼此附接,以在基准压力下形成密封的闭合间隙,并且侧壁的内表面的上边缘形成隔膜的外围。隔膜板包括一个或更多个平面材料层,平面材料层的第一平面材料层跨隔膜的外围。侧壁的上表面包括至少一个不被第一平面材料层覆盖的隔离区域。

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