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公开(公告)号：KR1020170092803A
公开(公告)日：2017-08-14
申请号：KR1020160013928
申请日：2016-02-04
Applicant: 전북대학교산학협력단
Inventor： 김대석
Abstract: 일체형편광간섭계및 이를적용한스냅샷분광편광계가제공된다. 본발명의실시예에따른일체형편광간섭계는, 입사되는복합파를분리하는편광빔 스플리터, 편광빔 스플리터의제1 면에부착되어편광빔 스플리터를투과한제1 편광을편광빔 스플리터로반사하는제1 미러및 편광빔 스플리터의제2 면에부착되어편광빔 스플리터에서반사된제2 편광을편광빔 스플리터로반사하는제2 미러를포함한다. 이에의해, 일체형편광간섭계를이용하여외부진동등에의한외란에강인한분광편광현상스냅샷측정이가능해져, 측정의반복도와정확도를향상시킬수 있게된다.
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公开(公告)号：KR1020170016006A
公开(公告)日：2017-02-10
申请号：KR1020177001173
申请日：2015-06-19
Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
Inventor： 싱아만데브 , 펠레만스헨리쿠스페트루스마리아 , 워나르페트릭
CPC classification number: G03F7/70491 , G01J3/2823 , G01J3/45 , G01N21/4788 , G01N2201/06113 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 검사장치(100)는기판상에서타겟의파라미터를측정하기위해이용된다. 가간섭성방사선은타겟(T)을조명하기위한조명경로(실선표시된광선)를따른다. 집광경로(파선표시된광선)는타겟으로부터회절방사선을집광하여록-인이미지검출기(112)에전달한다. 기준빔은기준경로(점선표시된광선)를따른다. 음향-광학변조기(108)는록-인검출기에서의방사선의세기가기준방사선의주파수와회절방사선의주파수사이의차이에대응하는특성주파수를갖는시변성분을포함하도록기준빔의광 주파수를시프트한다. 록-인이미지검출기는시변성분의진폭및 위상모두를나타내는 2차원이미지정보를기록한다. 상이한시프트(110)를갖는제2 기준빔은제2 기준경로(쇄선표시된광선)를따른다. 2개의기준빔들사이의간섭이세기정규화를위해이용될수 있다.
Abstract translation: 检查装置（100）用于测量基板上的目标的参数。 相干辐射遵循用于照射目标（T）的照明路径（固体光线）。 收集路径（虚线）从目标物体收集衍射辐射并将其传送到锁定图像检测器（112）。 参考光束遵循参考路径（虚线）。 声光调制器（108）移动参考光束的光频率，使得锁定检测器处的辐射强度包括具有与衍射辐射的频率之间的差异相对应的特征频率的时变分量，以及 参考辐射。 锁定图像检测器记录表示时变分量的幅度和相位的二维图像信息。 具有不同偏移（110）的第二参考光束遵循第二参考路径（点划线）。 两个参考光束之间的干涉可用于强度归一化。
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公开(公告)号：KR101683408B1
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020157008521
申请日：2013-10-02
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
Inventor： 이시마루이치로
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595
Abstract: 본발명의분광측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 광로길이의연속적인분포에상응하는간섭광의강도분포를검출하는복수의픽셀을포함하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속에공간적인주기변조를주는주기성부여수단을구비한다.
Abstract translation: 根据本发明的光谱特性测量装置包括：分割光学系统，用于将位于待测物体的测量区域内的多个测量点中的每一个发射的测量光束分成第一测量光束和第二测量 光束; 用于使第一测量光束和第二测量光束彼此干涉的成像光学系统; 光路长度差提供装置，用于提供第一测量光束和第二测量光束之间的光程长度差的连续分布; 用于检测干涉光的光强度分布的检测器; 基于由所述检测器检测出的干涉光的光强度分布获取被测量物体的测量点的干涉图并进行傅立叶变换以获得光谱的处理器; 位于被测量物体与分割光学系统之间的共轭平面成像光学系统，共轭平面成像光学系统具有与分割光学系统共享的共轭平面; 以及位于共轭平面上的周期性提供装置，用于在从多个测量点发射的测量光束之间提供周期性。
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公开(公告)号：KR101683407B1
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020157008187
申请日：2013-10-02
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
Inventor： 이시마루이치로
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595
Abstract: 본발명의분광측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 광로길이의연속적인분포에상응하는간섭광의강도분포를검출하는복수의픽셀을포함하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속에공간적인주기변조를주는주기성부여수단을구비한다.
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公开(公告)号：KR1020160052347A
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：KR1020150149506
申请日：2015-10-27
Applicant: 팔로 알토 리서치 센터 인코포레이티드
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/0224 , G01J3/0256 , G01J3/0272 , G01J3/447 , G01J3/45 , G01J3/4531 , G01J3/4537 , G02F1/133528 , G02F1/137 , G02F1/141 , G02F2001/13355 , G09G2310/08 , H04N5/2254
Abstract: 초분광이미징시스템은, 초분광이미징파라미터를수신하고일련의지연시간에일련의지연으로획득되는일련의이미지를생성하는프로세서, 입사광빔을편광시키는입력편광자, 편광빔을수신하고파장-의존편광을생성하는액정가변리타더, 파장-의존편광을수신하고편광상태정보를광 강도로서검출가능한형태로변환시키는출력편광자, 액정가변리타더에전기적으로연결되는전압소스, 및지연컨트롤러를가지는초분광이미징요소를포함한다. 지연컨트롤러는일련의지연시간에일련의지연을수신하고액정가변리타더에인가되는일련의전압시간에일련의전압을생성한다. 지연컨트롤러와동기화되는초점면어레이는지연함수로광 강도로서검출가능한형태로광을수신하고광을일련의이미지로서변환한다.
Abstract translation: 高光谱图像系统包括处理器，其接收高光谱成像参数并产生通过一系列延迟时间的一系列延迟获得的一系列图像，以及具有使入射光束偏振的输入偏振器的高光谱图像元件，液体 接收偏振光束并产生波长相关偏振光的晶体延迟器，接收波长依赖偏振并将偏振状态信息转换为可检测形状作为光强度的输出偏振器，电连接到液晶延迟器的电压源，以及 延时控制器 延迟控制器在一系列延迟时间中接收一系列延迟，并产生一系列施加到液晶延迟器的电压倍数的电压。 与延迟控制器同步的面平面阵列通过使用延迟函数接收可分离为光强度的光并将光转换为一系列图像。 因此，可以降低系统的成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150003715A
公开(公告)日：2015-01-09
申请号：KR1020147020907
申请日：2012-04-25
Applicant: 휴렛 팩커드 엔터프라이즈 디벨롭먼트 엘피
IPC: G01J3/45
CPC classification number: G02B6/2813 , G01J3/0227 , G01J3/0259 , G01J3/1895 , G01J3/2823 , G01J3/4412 , G01J3/45 , G02B2006/12152 , G02F2001/217
Abstract: 모드 간섭에 의해 광을 분석하기 위한 장치 및 시스템이 제공된다. 모드 간섭에 의해 광을 분석하기 위한 장치의 예는 특정 편광의 광의 2개의 모드를 멀티모드 영역에서 지원하기 위한 다수의 도파로와, 다수의 도파로의 적어도 하나의 중심으로부터 오프셋된 복수의 산란 물체를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140022715A
公开(公告)日：2014-02-25
申请号：KR1020127028765
申请日：2012-04-26
Applicant: 포스 애널리터컬 에이/에스
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/4535
Abstract: 입사광선을 반사빔 경로를 따르는 반사빔 및 투과빙 경로를 따르는 투과빔으로 분할시키는 빔스플리터(40)를 구비한 주사 간섭계(40,42,44); 기준빔을 간섭계(40,42,44)에 발사시키되, 제1 전파경로(62)를 따라 빔스플리터(40)의 제1면(40′)에 초기 입사되도록 발사시키는 단파장 광방사원(52); 관측빔(64)을 간섭계(4,6,8)에 발사시키되, 제2 전파경로(66)을 따라 빔스플리터(40)의 제1면(40′)에 초기 입사되어 제1면(40′)에서 기준빔에 중첩되도록 발사시키는 관측 광방사원(46)을 포함하며, 상기 방사원들(52;46)은 공조하여, 두 빔이 제1면(40′)에 초기에 동시 입사할 때 각각의 제1 전파경로(62)와 제2 전파경로(66)와 평행한 상기 두 빔의 전파방향 사이에 관측빔(64)의 반(半)-발산각(α)보다 큰 제1 각도(θ)를 생성하는 것을 특징으로 하는 분광측정장치(38).
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公开(公告)号：KR1020060054202A
公开(公告)日：2006-05-22
申请号：KR1020057024686
申请日：2004-06-14
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
CPC classification number: G01J3/02 , G01J1/4257 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45 , G01J9/00 , H01S3/1305 , H01S3/225
Abstract: An apparatus (10) and method for controlling a laser System (12) is disclosed with a spectrometer (24, 30) having an optical bandwidth measuring unit (24) such as an etalon. The optical bandwidth measuring unit (24) outputs a measured parameter (32) and a reported parameter (36) is calculated by: Reported Parameter (" RP") = A * (Measured Parameter ("MP")) + C where A and C are determined based upon calibration of the optical bandwidth measuring unit (24) MP response for light of known valued of RP.
Abstract translation: 公开了一种用于控制激光系统（12）的装置（10）和方法，具有具有诸如标准具的光学带宽测量单元（24）的光谱仪（24,30）。 光带宽测量单元（24）输出测量参数（32），报告参数（36）通过以下方式计算：报告参数（“RP”）= A *（测量参数（“MP”））+ C其中A和 C基于光学带宽测量单元（24）的校准确定了对已知值RP的光的MP响应。
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公开(公告)号：KR20180056402A
公开(公告)日：2018-05-28
申请号：KR20170153958
申请日：2017-11-17
Applicant: ESPROS PHOTONICS AG
Inventor： DE COI BEAT
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J2003/1221 , G01J2003/1239
Abstract: 특히 250nm 내지 1150nm의파장범위의스펙트럼을기록하기위한분광계(1)로서, 센서어레이(4) 및파장에따라방사선을필터링하기위한필터어레이(5)를포함하고, 제조비용을감소시키기위해, 필터어레이(5)에의해커버되는센서픽셀을식별하기위한디바이스(13)가제공되고, 이는비휘발성메모리(14)를가지며, 이비휘발성메모리에는센서어레이(4)에관한필터어레이(5)의좌표및/또는센서어레이(4)에관한필터어레이(5)의좌표변환이저장되어저장된좌표및/또는좌표변환에기초하여개별필터픽셀(7)에센서픽셀을할당하고및/또는어느센서픽셀이대응하는필터픽셀(7)에의해커버되는지에따라개별필터픽셀(7)을활성화한다.
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公开(公告)号：KR101768050B1
公开(公告)日：2017-08-14
申请号：KR1020167018868
申请日：2011-12-28
Applicant: 웨이브라이트 게엠베하
Inventor： 고르슈보트클라우디아 , 제글로즈토비아스 , 마쏘우올레 , 비스베헤닝 , 보글러클라우스
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/45 , G01B9/02091 , G01J3/2803
Abstract: 본발명의분광기기(38)는, 제1 광학요소(48)에입사되는다색광선을공간스펙트럼으로분할하는제1 광학요소(48)와, 분할광선(46a, 46b, 46c)의여러스펙트럼영역(B, B, B)을상이한공간영역(52a, 52b, 52c)으로보내도록구성된대물렌즈(50)와, 그리고대물렌즈(50)의하류에분할광선(46a, 46b, 46c)의광로내에위치하는, 복수의감광소자(54a, 54b, 54c)를갖는센서(54)를포함한다. 감광소자(54a, 54b, 54c)는, 각감광소자(54a, 54b, 54c)가광선(46)의스펙트럼부분(A, A, A)의강도를기록하도록분할광선(46a, 46b, 46c)의광로내에배치되며, 스펙트럼부분(A, A, A)들의중앙값(Mk, Mk, Mk)은 k 공간(k는파수를의미함) 내에서상호간에등거리에위치한다.
Abstract translation: 本发明的光谱装置38，第一光学元件和用于多色光分割到空间频谱的第一光学元件48入射在各种频谱区（48），分光束（46A，46B，46C） 在的光路（B，B，B），用于不同的空间区域（52A，52B，52C），从而被配置成与物镜50和分离光束发送的物镜50（46A，46B，46C）的下游 并且包括具有多个光敏元件54a，54b和54c的传感器54。 光敏元件（54A，54B，54C），每个光敏感元件（54A，54B，54C）被划分的光束（46A，46B，46C），以便记录该光束的光谱部分（A，A，A）的强度（46） 的中值（MK，MK，MK）被布置在光路中，所述频谱部分（一，一，一）在K空间中位于这样的距离彼此（k表示波数）。
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