Abstract:
웨이퍼레벨 패키징 소자가 제공된다. 본 발명의 패키징 소자는, 센서가 형성되어 있는 하부 센서 기판; 상기 하부 센서 기판상에 제공되고, 상기 센서가 수용될 수 있도록 그 일면에 캐비티(cavity)가 형성되어 있는 상부 캡(Cap) 기판; 상기 하부 센서 기판과 상기 상부 캡 기판을 접착하는 금속솔더층;을 포함하고, 상기 하부 센서 기판상에는, 상기 센서와 상기 금속 솔더층과의 사이에 상하부 기판의 접합시 발생하는 용융 금속솔더층의 리플로우를 차단할 수 있는 제1 리플로우 차단막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명에 따른 MEMS 센서 패키징은, ROIC 회로가 형성된 제 1 웨이퍼와; 상기 제 1 웨이퍼와 대응하도록 배치되고, 일면에 오목부가 형성되어 MEMS 센서가 마련된 제 2 웨이퍼와; 상기 제 1 웨이퍼와 상기 제 2 웨이퍼를 접합하여 상기 MEMS 센서가 밀봉되도록 상기 MEMS 센서의 주위를 따라 형성된 접합 솔더와; 상기 제 1 웨이퍼의 ROIC 회로와 상기 제 2 웨이퍼의 MEMS 센서가 전기적으로 연결되도록 형성된 패드 솔더를 포함하는 점에 그 특징이 있다. 본 발명에 따르면, ROIC 회로가 형성된 웨이퍼와 MEMS 센서가 형성된 웨이퍼를 접합하여 패키징하는데 있어서, ROIC 회로와 MEMS 센서를 전기적으로 연결하기 위한 패드 솔더를 내부에 형성함으로써 패키지의 크기를 줄이고, 안정적으로 전기적 신호를 공급할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 복도나 현관 등에 설치되어 출입하거나 대기하는 사람을 감지하여 자동으로 점멸시키는 에너지 절약형 인체감지 조명등에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 감지영역 내로 출입하는 인체를 감지하여 자동으로 점멸되는 조명등에 있어서, 상기 감지영역 내로 출입하거나 감지영역 내에서 대기하는 인체에서 방사되는 열에너지에 의한 저항 변화에 따라 검출 및 증폭하여 감지신호를 지속적으로 출력하는 마이크로 볼로미터 모듈; 상기 마이크로 볼로미터에서 출력된 감지신호에 따라 조명등의 점멸을 제어하는 제어모듈;로 구성된다. 따라서, 본 발명은 감지영역 내로 출입하는 인체를 감지하여 조명등을 자동으로 점멸시킬 뿐만 아니라, 감지영역 내로 들어온 사람이 움직이거나 미동 없이 대기하고 있더라도 조명등의 점등을 유지하며, 이에 따라 사용자의 편리성 및 에너지 절감을 기대할 수 있는 장점이 있다. 감지영역, 자동 점멸, 조명등, 인체감지, 마이크로 볼로미터, 저항 변화.
Abstract:
웨이퍼레벨패키징소자의제조방법이제공된다. 본발명의제조방법은, 상부 SOI 기판의실리콘구조층하부소정의위치에캐비티를형성하는공정; 상기캐비티가형성된구조층하부소정의위치에적외선필터층을형성하는공정; 상기적외선필터층이형성된구조층하부소정의위치에금속솔더층을형성하고, 이어, 다이싱레인을형성하는공정; 상기와같이제조된상부 SOI 기판을하부센서기판에접착시키는공정; 상기상부 SOI 기판을이루는실리콘캐리어층을제거함으로써절연체층을노출시키는공정; 및상기상부기판과하부센서기판을다이싱하는공정;을포함한다.
Abstract:
PURPOSE: A smart system using an infrared sensor and a method thereof are provided to sense thermal energy inside a sensing domain using the infrared sensor and to process the same into thermal images, thereby automatically controlling lightings, air conditioning devices, external intrusion detection, and fire detection by analyzing the thermal images. CONSTITUTION: A smart system using an infrared sensor comprises an infrared sensor module(110), an optical module(120), a signal processing module(130), a control module(140), a driving module(150), and a communication module(160). The infrared sensor module senses changes in thermal energy radiated to inside a sensing domain. The optical module is arranged so that the sensing domain of the infrared sensor module is determined. The signal processing module processes the changes in the thermal energy sensed by the infrared sensor into thermal images and outputs a result by determining the processed images. The control module outputs control signals corresponding to the output image result. The driving module drives each driving unit by the control signals output by the control module. The communication module transmits data signals performed by the driving module to a preset receiving device. [Reference numerals] (110) Infrared sensor module; (120) Optical module; (130) Signal processing module; (131) Thermal image processing unit; (132) Image detecting unit; (140) Control module; (150) Driving module; (151) Lighting drive unit; (152) Cooling and heating drive unit; (153) Fire monitoring drive unit; (154) External intrusion monitoring drive unit; (160) Communication module
Abstract:
PURPOSE: A micro infrared sensor for detecting a human and a method for manufacturing the same are provided to reduce the entire size of a chip by performing a wafer level packaging process. CONSTITUTION: A micro infrared sensor(100) includes a lower substrate(111), a sensor device(113), an upper substrate, an infrared filter(125), a metal solder layer and an electrode pad. A signal process unit is integrated to the lower substrate through a complementary metal-oxide semiconductor process. The sensor device is formed on the lower substrate. The sensor device is electrically connected to the signal process unit. A cavity is formed on the one side of the upper substrate.