公开(公告)号：KR1019990023624A

公开(公告)日：1999-03-25

申请号：KR1019980033140

申请日：1998-08-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구리키야스유키 ,  다카모리히데유키 ,  하라고조

IPC: H01L21/00

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
기판처리장치
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
기판에 대한 일련의 처리를 기판반송거리를 길게 하지 않고 고효율로 행할 수 있으며, 기판에 대한 진공처리와, 그 전공정 및/또는 후공정에 해당하는 처리를 기판반송거리를 길게 하지 않고 고효율로 행할 수 있는 기판처리장치를 제공함.
3. 발명의 해결방법의 요지
피처리기판에 대하여 레지스트도포 및 노광후의 현상을 행함과 동시에, 현상후의 피처리기판을 에칭하기 위한 일련의 처리를 행하는 복수의 처리유니트를 반송로의 양측에 배치한 처리부와, 반송로에 따라 이동하고, 각 처리유니트와의 사이에서 기판의 주고받음을 행하는 주반송장치와, 주반송장치에 대하여 피처리기판을 주고받음하는 반송기구를 가지는 반출입부를 구비하며, 이들 처리부의 각 처리유니트 및 반송로 그리고 반출입부가 일체적으로 설치되어 있다.
4. 발명의 중요한 용도
LCD 유리기판, 반도체웨이퍼등의 기판에 대하여 레지스트도포 및 현상처리, 및 현상후의 에칭처리등을 행하는 기판처리장치에 사용됨.

公开(公告)号：KR100438249B1

公开(公告)日：2004-10-26

申请号：KR1019980017562

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다테야마기요히사 ,  다카모리히데유키

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/6838 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/141

Abstract: A substrate transfer apparatus capable of preventing contaminants from sticking to a substrate again when the substrate is unloaded, wherein a first support member and a second support member are provided on an arm, the first support member supporting the substrate when the substrate is loaded into a processing machine and the second support member supporting the substrate when the substrate is unloaded from the processing machine.

Abstract translation: 一种基板输送装置，其特征在于，在卸载基板时，能够防止污染物再次附着在基板上，其中，在臂上设置有第一支承部件和第二支承部件， 当基板从加工机器卸载时，加工机器和支撑基板的第二支撑构件。

公开(公告)号：KR100158211B1

公开(公告)日：1999-02-18

申请号：KR1019910015595

申请日：1991-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 코니시노부오 ,  다카모리히데유키 ,  아키모토마사미 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/67173 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6719

Abstract: 도포장치는 단일하우징내 배열설치되고, 웨이퍼를 지지하며 또한 회전시키는 2 개의 스핀척을 구비한다.
양 스핀척 사이에는, 상기 노즐내의 굳어진 상기 도포액을 배출하기 위한 대기 트렌치가 배열설치된다.
웨이퍼는 상기 하우징외에 배열설치된 단일의 반송기구에 의하여 상기 스핀척에 대하여 공급/배열된다.
도포액공곱기구는 상기 스핀척에 지지된 웨이퍼상에 도포액을 토출하기 위한 단일 노즐을 포함한다.
상기 노즐은 이동아암에 의하여 상기 스핀척 사이에서 이동시킨다.
상기 양스핀척에 있어서의 처리 사이클은 동일 처리시간이고 또한 서로 반사이클씩 어긋나게 하여 설정된다.
상기 노즐은 상기 스핀척에 지지된 웨이퍼상에 도포액을 토출하는때 이외에는 상기 대기 트렌치상에 배치된다.

公开(公告)号：KR1019980087108A

公开(公告)日：1998-12-05

申请号：KR1019980017562

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다테야마기요히사 ,  다카모리히데유키

IPC: H01L21/68

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
기판반송장치 및 기판반송방법
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
단순한 구성으로 기판에 오염물이 다시 부착되는 것을 신뢰성 있게 방지할 수 있는 기판반송장치 및 동일한 효과를 발휘할 수 있는 기판반송방법을 제공함.
3. 발명의 해결방법의 요지
기판이 반출될 때, 기판에 오염물질이 부착되는 것을 방지하는 기판반송장치로서, 제 1 및 제 2 지지수단이 아암에 마련되며, 제 1 지지수단은 기판이 처리장치내로 반입될 때 기판을 지지하고, 제 2 지지수단은 기판이 처리장치로부터 반출될 때 기판을 지지한다.
4. 발명의 중요한 용도
기판의 세정장치등과 같은 처리장치용 기판반송장치에 사용됨.

公开(公告)号：KR1019920007088A

公开(公告)日：1992-04-28

申请号：KR1019910015595

申请日：1991-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 코니시노부오 ,  다카모리히데유키 ,  아키모토마사미 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/20

Abstract: 내용 없음