公开(公告)号：KR1020150139467A

公开(公告)日：2015-12-11

申请号：KR1020150078798

申请日：2015-06-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 자오지안핑 ,  노자와도시히사

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01J37/32238 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/32119 ,  H01J37/3222 ,  H01L21/67069

Abstract: 여기에개시된기법들은플라즈마프로세싱챔버내에발생된플라즈마를이용하여기판들을처리하는장치를포함한다. 일실시예에서, 플라즈마시스템의유전체판들은균일한플라즈마를발생시키는것을보조하도록구성된구조적피쳐들을포함할수 있다. 이러한구조적피쳐들은플라즈마를마주한표면에표면형상을정의한다. 이러한구조적피쳐들은거의비선형단면을갖는동심고리세트를포함할수 있고, 유전체판의표면으로부터돌출될수 있다. 이러한구조적피쳐들은피쳐깊이, 폭, 및동심고리에따라깊이및 폭이달라질수 있는주기적패턴들을포함할수 있다.

Abstract translation: 本文公开的技术包括用于在等离子体处理室内产生等离子体处理衬底的装置。 在一个实施例中，等离子体系统的电介质板可以包括被配置为有助于产生均匀等离子体的结构特征。 这种结构特征限定了面向等离子体的表面上的表面形状。 结构特征可以包括具有几乎非线性横截面的一组同心环，并且从电介质板的表面突出。 结构特征可以包括可以根据同心环改变深度和宽度的特征深度，宽度和周期性图案。

公开(公告)号：KR1020140030168A

公开(公告)日：2014-03-11

申请号：KR1020137028485

申请日：2012-03-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 첸리 ,  레인바톤 ,  펑크메릿 ,  자오지안핑 ,  선다라라잔래드하

IPC: H01J49/04

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01J49/488 ,  H05H1/0081 ,  Y10T29/49002

Abstract: 플라즈마의 이온 에너지 분포를 결정하는 이온 에너지 분석기(74, 122, 174)는 입구 그리드(80, 126, 160), 선택 그리드(82, 134, 134') 및 이온 컬렉터(84, 136, 136')를 구비한다. 입구 그리드(80, 126, 160)는, 플라즈마(66)의 드바이 길이보다 작은 치수의 복수의 제1 개구를 구비한다. 이온 컬렉터(84, 136, 136')는 제1 전압 소스(182)를 매개로 입구 그리드(80, 126, 160)에 결합된다. 선택 그리드(82, 134, 134')는 입구 그리드(80, 126, 160)와 이온 컬렉터(84, 136, 136') 사이에 위치 결정되고, 제2 전압 소스(180)를 매개로 입구 그리드(80, 126, 160)에 결합되어 있다. 이온 전류 미터(106)가 이온 컬렉터(84, 136, 136')에 결합되어 이온 컬렉터(84, 136, 136')에 대한 이온 플럭스를 측정하고 그에 관련한 신호를 전달한다.