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公开(公告)号：KR1020160086473A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：KR1020150003362
申请日：2015-01-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/12 , H01L27/11565 , H01L27/11582 , H01L22/34
Abstract: 본발명은반도체소자의계측방법및 이를이용한반도체소자의제조방법에관한것으로, 복수개의몰드개구부들을포함하는몰드막이형성된기판을제공하는것, 상기기판의상면에수직한방향에대하여일정각도로기울어진방향으로상기몰드막을밀링하여상기몰드막의경사진절단면을형성하는것, 상기절단면의이미지데이터를획득하는것, 및상기절단면의이미지데이터를이용하여상기몰드개구부들의 3차원형상정보를나타내는파라미터들을획득하는것을포함하는반도체소자의계측방법이제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及能够提高测量可靠性的半导体器件的测量方法以及使用该半导体器件的半导体器件的制造方法。 半导体器件的测量方法包括以下步骤：提供形成包括多个模具开口的模具层的基板; 通过相对于垂直于衬底的上表面的方向以一定角度倾斜的方式研磨模具层，从而形成模具层的倾斜切割表面; 获得切割表面的图像数据; 并且通过使用切割表面的图像数据获得用于表示模具开口的三维形状信息的参数。
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公开(公告)号：KR1020160074131A
公开(公告)日：2016-06-28
申请号：KR1020140182994
申请日：2014-12-18
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/31 , H01J2237/226 , H01J2237/2445 , H01J2237/2527 , H01J2237/2561 , H01L21/00 , G06T11/00 , H01L22/10
Abstract: 이미지생성방법에있어서, 시료의표면으로부터 2차원공간정보를갖는공간이미지를획득한다. 상기시료의표면을밀링하여상기밀링된표면으로부터물질정보를갖는물성이미지를획득한다. 상기공간이미지와상기물성이미지를합성하여 2차원공간적성분이미지를형성한다.
Abstract translation: 图像创建方法包括以下步骤：从样本的表面获得具有二维空间信息的空间图像; 研磨样品的表面以获得具有来自铣削表面的材料信息的材料属性图像; 以及通过添加空间图像和材料图像来形成二维空间元素图像。 根据本发明的实施例，可以获得具有高分辨率的三维空间元素图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160065618A
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：KR1020140169832
申请日：2014-12-01
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: H02P27/06 , F24F11/89 , F24F13/14 , F25B49/025 , H02P23/26 , H02P2201/07 , H02P2201/15 , F24F2013/1433
Abstract: 모터구동장치가개시된다. 본모터구동장치는, 교류전원을직류로정류하여입력전압을출력하는정류부, 입력전압을컨버팅하기위한복수의스위치를포함하고, 입력전압을강압(step-down)하는벅 모드, 승압(step-up)하는부스트모드를갖는제1 벅-부스트컨버터, 제1 벅-부스트컨버터로부터변압된직류링크전압을교류전압으로변환하여모터에전달하는인버터및 모터의구동과관련된모터정보를수신하여, 수신된모터정보에따른희망직류링크전압과입력전압의크기를비교하여기제1 벅-부스트컨버터를벅 모드또는부스트모드로동작하도록기복수의스위치중 어느하나만을스위칭하도록제어하는제어부를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种电动机驱动装置。 电动机驱动装置包括：整流部，通过将交流电整流成直流电力来输出输入电压; 第一降压 - 升压转换器包括多个开关以转换输入电压，并具有降压模式以降低输入电压和升压模式以升高输入电压; 将从第一降压 - 升压转换器变换的DC链路电压转换为AC电压以将电压传递到电动机的逆变器; 以及控制部分，通过根据接收到的电动机信息，通过接收电动机来比较输入电压和期望的直流母线电压的幅度，来控制多个开关之中的一个以在降压模式或升压模式下操作第一降压 - 升压转换器 与电机运行有关的信息。 因此，本发明能够提高宽负载区域的电力转换效率。
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公开(公告)号：KR101059815B1
公开(公告)日：2011-08-26
申请号：KR1020050010689
申请日：2005-02-04
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: D06F58/28 , D06F58/263 , D06F2058/289
Abstract: 온도센서의 설치위치 최적화를 통해 버너의 동작중단을 최소화함으로써 건조시간을 단축할 수 있도록 한 의류건조기를 개시한다.
개시한 의류건조기는 회전드럼으로 공기유입을 안내하는 흡기덕트와, 흡기덕트로 유입되는 공기를 가열하는 버너와, 버너의 동작제어를 위해 흡기덕트에 설치되는 온도센서를 포함하며, 온도센서는 흡기덕트의 입구로부터 소정거리(L) 이격된 위치에 설치되되, 흡기덕트 입구의 지름(D)에 대한 상기 거리(L)의 비가 0.9~1인 위치에 설치되는 것이다.-
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16.发明公开
公开(公告)号：KR1020150050651A
公开(公告)日：2015-05-11
申请号：KR1020130129556
申请日：2013-10-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N23/225 , G01Q30/02
CPC classification number: H01J37/28 , G01N23/203 , G01N23/22 , G01N23/2206 , G01N23/2251 , G03F7/70633 , H01J37/222 , H01J37/3178 , H01J2237/063 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2806 , H01J2237/2814
Abstract: SEM(scanning electron microscope) 장치는샘플내에형성되고서로적층된하부구조와상부구조를포함하는인-셀영역으로 1차전자빔을주사하는전자총과, 상기샘플을지지하는스테이지와, 상기인-셀영역으로부터방출된후방-산란전자들을검출하는적어도하나의제1검출기와, 상기후방-산란전자들을이용하여상기인-셀영역에대한이미지를생성하고, 생성된이미지를이용하여상기인-셀영역에포함된오버랩된패턴들에대한오버레이오프셋을측정하는이미지처리및 오버레이오프셋측정장치와, 상기인-셀영역에대한랜딩에너지가 10kV이상이되도록, 상기전자총으로공급되는가속전압과상기샘플로공급되는전압을제어하는전압제어기를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的扫描电子显微镜（SEM）装置包括：电子枪，其将一次电子束注入入室内，包括形成在样品中并相互层叠的下结构和上结构; 支持样本的阶段; 至少一个主检测器，用于检测从小区内排出的散射电子; 图像处理和重叠偏移测量装置，使用后向散射电子产生用于小区内区域的图像，并使用生成的图像测量包含在小区内区域中的重叠图案的叠加偏移; 以及电压控制装置，用于控制提供给电子枪的加速电压和提供给样品的电压，使得小区内区域的着陆能量可以为10kV以上。
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公开(公告)号：KR1020060089445A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：KR1020050010689
申请日：2005-02-04
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: D06F58/28 , D06F58/263 , D06F2058/289
Abstract: 온도센서의 설치위치 최적화를 통해 버너의 동작중단을 최소화함으로써 건조시간을 단축할 수 있도록 한 의류건조기를 개시한다.
개시한 의류건조기는 회전드럼으로 공기유입을 안내하는 흡기덕트와, 흡기덕트로 유입되는 공기를 가열하는 버너와, 버너의 동작제어를 위해 흡기덕트에 설치되는 온도센서를 포함하며, 온도센서는 흡기덕트의 입구로부터 소정거리(L) 이격된 위치에 설치되되, 흡기덕트 입구의 지름(D)에 대한 상기 거리(L)의 비가 0.9~1인 위치에 설치되는 것이다.Abstract translation: 本发明公开了一种能够通过优化温度传感器的安装位置来最小化燃烧器的操作中断来缩短干燥时间的干衣机。
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